使用参数测量单元作为被测器件的电源的制作方法

专利名称：使用参数测量单元作为被测器件的电源的制作方法
技术领域：
本专利申请总的来说涉及测试器件，具体而言涉及使用参数测量单元作为器件的电源。
背景技术：
自动测试设备(Automatic test equipment，ATE)指的是自动化的、通常由计算机驱动的、靠近测试器件的、诸如半导体、电子电路和印刷电路板之类的组件。参数测量单元(parametric measurement unit，PMU)通常是ATE的一部分。在器件测试期间利用PMU来测量器件管脚中诸如电压和电流之类的参数以及校准那些参数。PMU尝试确保在测试期间将恰当的参数值施加到被测器件(device under test，DUT)上。
在大多数测试过程期间被测器件都需要电源。在此以前，把独立电源嵌入到ATE中。然而，独立电源的使用将增加ATE的成本和尺寸。

发明内容
本专利申请描述了利用PMU作为DUT的电源的设备和方法，包括计算机程序产品。
通常，在一个方面，本发明涉及一种提供电流至DUT的设备。所述设备包括被配置成提供电流至器件的第一PMU和被配置成提供电流至器件的第二PMU。来自第二PMU的电流增大在器件处的来自第一PMU的电流。利用来自PMU的电流为DUT供电消除了对独立电源的需要。因为其减少了ATE的成本和尺寸，所以这是有益的。
这方面可以包括一个或多个以下特征。所述设备可以包括一个或多个配置成提供电流到器件的附加PMU。来自一个或多个附加PMU的电流增大在器件处的来自第一和第二PMU的电流。第一和第二PMU可以具有基本上相同的结构，其包括用于输出电流的驱动器和用于调节驱动器的电流输出的反馈路径。所述设备可以包括第三PMU，其被配置以检测在DUT处的电压。该电压可以被用作到第一和第二PMU的输入。第三PMU可以被配置成通过禁用第三PMU输出电流到DUT的功能的方式来检测电压(例如，通过三态所述第三PMU)。所述设备可以是用于测试由DUT执行的功能的ATE的一部分；可以在作为ATE的一部分的单个芯片上实现第一、第二和第三PMU；以及ATE不需要包括除第一和第二PMU以外的电源。
通常，在另一个方面，本发明涉及一种提供电源到DUT的设备。所述设备包括多个PMU，每个PMU具有基本上相同的电路。多个PMU的每一个都被被配置成作为向DUT供电的电源或者作为检测器件。多个PMU包括配置以检测器件中电压的第一PMU，其中第一PMU包括分接DUT的电压的检测路径，以及至少一个附加PMU被配置成作为电源工作。至少一个附加PMU经由第一PMU接收电压并根据经由第一PMU接收的电压提供输出电流。当PMU利用电流向器件供电时，检测路径可被用于确保DUT中的恒定电压。
该方面可以包括一个或多个以下特征。所述至少一个附加PMU可以包括被配置成作为电源的第二PMU，其中第二PMU包括输出电流至DUT的第二驱动器，并且其中第二驱动器经由第一PMU接收电压；以及被配置成作为电源工作的第三PMU，其中第三PMU包括输出电流至DUT的第三驱动器，并且其中第三驱动器经由第一PMU接收电压；和/或配置成作为电源工作的第四PMU，其中第四PMU包括输出电流到DUT的第四驱动器，以及其中第四驱动器接收外部电压和经由第一PMU接收的电压这二者来作为输入。
第二、第三和第四PMU的每一个都可以包括反馈路径。第二PMU的反馈路径可以提供输入到第二驱动器；第三PMU的反馈路径可以提供输入到第三驱动器；以及第四PMU的反馈路径可以提供输入到第四驱动器。第二PMU的反馈路径可以分接在DUT和第二驱动器之间的电压，第三PMU的反馈路径可以分接在DUT和第三驱动器之间的电压。
第一PMU可以被配置成通过禁用第一PMU中使得PMU能够作为电源工作的功能的方式来检测器件中的电压。第一PMU中使得第一PMU能够作为电源工作的功能可以存在于驱动器中。驱动器可以通过三态驱动器的方式来禁用。所述设备可以是用于测试由DUT执行的功能的一部分的ATE；多个PMU可以在作为ATE的一部分的单个芯片上实现；并且ATE可以不包括除多个PMU以外的电源。
通常，在另一个方面，本发明涉及一种提供电流到DUT的方法。所述方法包括检测提供至DUT的输出电流，提供与输出电流对应的电压来作为到多个PMU的输入，输出来自多个PMU的每一个的电流，其中来自每一个PMU的电流基于电压，以及在DUT中结合来自多个PMU的电流。检测电流的步骤可以包括配置第一PMU来检测输出电流。第一PMU可以提供电压到多个PMU。
通常，在另一方面，本发明涉及一种提供电流到DUT的设备。所述设备包括配置成提供电流到器件的第一PMU，以及配置成提供电流到器件的第二PMU，其中来自第二PMU的电流增大在器件处的来自第一PMU的电流。第三PMU被配置成检测在器件处的电压。该电压被输入到第一PMU。
上述方面可以包括一个或多个以下特征。所述设备可以是用于测试由DUT执行的测试功能的ATE的一部分；第一、第二和第三PMU可以在作为ATE的一部分的单个芯片上实现，并且ATE可以不包括除多个PMU以外的电源。所述设备还可以包括配置成提供电流到器件的第四PMU。来自第四PMU的电流增大器件中来自第一和第二PMU的电流。
在下面的附图和说明书中阐述了一个或多个实例的细节。根据说明书、附图和权利要求书，本发明的其他特征、方面和优点将变得显而易见。


图1是ATE中的PMU的框图。
图2是显示图1的两个PMU的电路图。
图3是显示图1的对DUT供电的PMU的电路图。
图4是图3所示的电路图的替换配置。
图5是显示用于利用软件来实现ATE以控制电压的加载(forcing)和调节的处理的流程图。
不同附图中的相同附图标记表示相同的元件。
具体实施例方式
图1是用于测试DUT 11的ATE 10的框图。如图1所示，ATE 10包括四个PMU 14至17，其分别与四个测试通道相对应。PMU 14至17的一个功能是测试DUT中的直流(directcurrent，DC)参数，包括电压和电流。PMU 14至17还可以作为DUT 11的电源。也就是说，两个或更多PMU 14至17的电流输出可以被施加到DUT 11的电源管脚，借此在测试期间向DUT 11供电。
PMU 14至17具有基本上相同的结构，意味着他们基本上包括相同的电路元件，尽管那些电路元件可以不同地配置。因而，仅详细描述一个PMU。
图2是显示PMU 14和15的一个实施方式的电路图(在此指的是作为第一PMU 14和第二PMU 15)。如图2所示，第一PMU 14包括驱动器19、电阻20、到DUT 11的电路路径21，和反馈路径22。
驱动器19可以是运算放大器(op-amp)或者类似的器件，用于经由电阻20和电路路径21接收电压以及输出(或者“加载(force”)电压或者电流到DUT 11。在“加载电压”模式中，驱动器19调节第一PMU14的电压输出；在“加载电流”模式中，驱动器19调节第一PMU 14的电流输出。然而，在加载电压和加载电流这两种模式中，电流被从驱动器19中输出。
在该实施方式中，第一PMU 14是高电流器件，意味着驱动器19输出约为50mA量级的电流(尽管PMU 14也可以在弱电流下运行)。驱动器19包括两个输出端24和25。在该实例中，第一输入端24用于从外部源(未显示)接收输入电压Vin，第二输入端25用于接收检测电压(如下所述)。驱动器19根据在Vin和检测电压之间的差值调节它的输出电压和电流。
电阻20位于驱动器19的输出路径中，并用于同反馈路径22连接以测量驱动器19的输出电流。具体而言，经由反馈路径22中的差动放大器26测量电阻20两端的电压。在点27输出测量的电压。从那儿，开关29(如下所述)被配置成将电压输出到端口30。在PMU(未显示)外部的ATE中的电路知晓电阻20的阻值，并借助于差动放大器26知晓通过电阻20的电压降。根据该信息，外部电路能够确定驱动器19的输出电流。
反馈路径22还包括电压检测路径31。电压检测路径31用来检测在电路路径21之前的PMU14内的点32处的电压。也就是说，当开关29被适当配置时点32的电压被反馈到驱动器19的输入端25。通过输入端25，驱动器19能够考虑直到点32所发生的电压降并对于电压降补偿其输出，例如，增加其输出电压以补偿电压降。然而，因为点32在电路路径21之前，所以在电路路径21上发生的电压降不能够由反馈路径22补偿。下面将描述利用现有的PMU补偿该电压降的方法。
在PMU14中，每一个开关29可以由任何的电子和/或机械机构来实现，所述电子和/或机械机构能够在电路路径之间做出适当的连接。在该实施方式中，开关29包括开关29a、开关29b和开关29c。开关29a连接在电路路径34和35之间；开关29b连接在电路路径36和37之间；开关29c连接在电路路径50和31之间。当连接到路径34(第一PMU 14中所示的配置)时，开关29a将放大器26的输出(“电流反馈路径”)连接到端口30。这被称为电流检测配置，因为其是使得第一PMU 14能够提供用于测量驱动器19的输出电流的指示的开关配置。因为电流反馈路径的输出(也就是放大器26的电压输出)用来确定通过电阻20的电流，所以电流反馈路径因此得名。
开关29还可能被配置以定义电压检测配置。在第一电压检测配置中，开关29b同路径36相连接(第一PMU 14中所示的配置)，开关29c同路径31相连接，开关29a同路径35相连接。在该配置中，路径31(“电压反馈路径”)接近点32的电压，所述电压被传送至驱动器19的输入端25和端口30(经由开关29)这二者。如上所述，点32处的电压考虑了电阻20的电压降，但是未说明由电路路径21的阻抗产生的电压降。
如图2所示，电路路径21从点32延伸至DUT 11。在该实施方式中，电路路径21具有大约1Ω到4Ω的阻抗(在其他实施方式中，电路路径21的阻抗可能比这多或比这少)。该阻抗减少放大器19施加到DUT 11的电压。也就是说，来自驱动器19的电流通过电路路径21，所述电路路径21的阻抗引发电压降，这导致施加到DUT 11的电压的下降。对50mA的电流而言，电压降大约为50mV到200mV，其可能对DUT11的测试产生显著的不利影响。作为说明，因此补偿电路路径21的电压降，第二PMU 15被配置成作为检测路径。在该配置中，第二PMU 15的一些功能被禁用以便确保第二PMU 15不执行PMU功能。
具体而言，第二PMU 15的驱动器40是三态的以阻止驱动器40输出电流和/或电压至DUT 11。在这点上，除具有称作“使能”输入端的额外输入端41以外，诸如驱动器40之类的三态电路类似于普通电路。当使能输入是“1”时，三态电路的作用就像相应的普通(非三态)电路一样。当使能输入是“0”时，三态电路(在这种情况下，驱动器40)的输出同电路的其他部分断开。因此，在这里，当驱动器40是三态的时，其输出同电阻42断开，阻止驱动器40提供电流和/或电压到DUT 11。
当驱动器40是三态的时，第二PMU 15可以被配置成作为DUT 11的检测路径。电路(未显示的)经由施加到开关44的一个或多个控制信号配置第二PMU 15。当如此配置第二PMU 15时，开关44a和44b分别同电路路径46和47相连接，以便在放大器49的输出端产生开路。开关44c可以同电路路径50相连接(显示)，或者开关44c可以同电路路径50断开。电路路径50作为从DUT 11到第一PMU 14的直接检测路径。也就是说，电路路径50分接进DUT管脚的电压，所述DUT管脚接收来自第一PMU 14的加载电压。电路路径50具有比较高的阻抗，并且在其检测能力下不形成大的电流量。结果，沿电路路径50有比较小的电压降。沿着电路路径50的电压因此基本上与DUT 11处的电压相对应。
第一PMU 14经由开关29b和29c分接DUT检测路径(也就是，电路路径50)的电压。也就是说，开关29b和29c被配置成(如第一PMU14所示)将电路路径50同驱动器19的输入端25相连接(开关29a还可以被配置成连接到端口30，借此输出端口30的DUT电压)。以这种方法，来自DUT 11的电压被施加到驱动器19的输入端25。因此，驱动器19能够调整其输出以补偿在电路路径21中发生的电压降(在点32之前的任何电压降除外)。如图2所示，在电路路径50中可以提供电压放大器51以缓冲信号。
除上述之外，PMU 14至17还可以一起工作以作为电源在测试期间向DUT 11提供电源。图3是显示被配置成向DUT11供电的PMU 14至17的电路图。在该配置中，PMU 14处于加载电压模式，PMU 16和17处于加载电流方式。在该配置中，经由第一PMU 14的输出电路路径21、经由第三PMU 16的输出电路路径61以及经由第四PMU 17的输出电路路径62提供电流至DUT11。来自PMU的电流被提供给DUT11上的电源管脚，其中他们被结合并被用于向DUT 11供电。
来自每个PMU的电流被以如上所述的方式提供给DUT 11。如上所述，在图3的实施方式中，第二PMU 15被配置成提供DUT 11的电压检测线路。执行此以将电源管脚中的电压维持在预定电平。如果实质上并不关心电源管脚中的电压稳定度，那么第二PMU 15还可以用来提供电流至DUT 11的电源管脚(也就是，第二PMU 15可以不被配置成作为电压检测路径)。
如上所述，在图3的实施方式中，电路路径50(DUT检测路径)将DUT 11中的电压反馈回驱动器19。PMU 14中的放大器26用来测量驱动器19输出端的电阻20中的电流，并将该电流转换为电压。所获得的输出电压还被经由电路路径66施加到PMU 16的输入端64和PMU 17的输入端65。因此，在主加载PMU 14中的电流被映射PMU 16和17中。可以沿电路路径66设置一个或多个放大器(未显示)，从而缓冲施加到输入端64和65的信号。如上所述，PMU 16和17的开关67和69被配置成断开检测路径70和71，并通过来自点72和74的反馈允许调节驱动电流。
控制电路(未显示)可以用来连接图3所示的配置中的PMU 14至17。例如，该控制电路可以控制PMU 16和17的开关63和68以连接到电路路径66而不是连接到电压输入端73和75，其与PMU 14中的Vin相对应。如上述的情况那样，开关63和68可以利用任何的电子和/或机械机构来实现，所述电子和/或机械机构可用于在电路路径之间建立适当的连接。
在图3的实施方式中，PMU 14、16和17的每一个都连接到DUT11上的单个电源管脚。来自每个PMU的电流因此扩大了提供给电源管脚的总电流。因此，例如，如果PMU 14、16和17的每一个都能够提供50mA，那么提供给电源管脚的总电流是150mA。提供给电源管脚的电流的量取决于许多因素，包括每个PMU能够提供的电流的量和能够提供电流的PMU数目。例如，如果PMU 15被配置成提供电流而不是作为检测路径，那么能够提供给DUT 11的总电流将为200mA。另一方面，PMU 14和15可能需要被用作DUT 11上的非电源管脚，那么仅余PMU 16和17来提供电源至电源管脚。
在PMU 16和17中，如图所示，开关67和69被配置成将其各自的电流反馈路径与驱动器87和88相连接。同样地，如所示，电路路径66同PMU 14的电流反馈路径相连接。该配置提供从PMU到DUT 11的输出电流的相对有效的调节。也就是说，PMU 14、16和17的每一个的电流输出值大约相同。
图4显示了图3的电路的替换配置。在该配置中，PMU 14、16和17全部均为加载电压模式。如所示，在图4的电路中，开关67和69将驱动器87和88的输入端连接到它们各自的电压反馈路径，开关29连接到电路路径50。电路路径66还连接到由电路路径50提供的电压反馈。在该配置中，每个PMU 14、16和17输出的电流量可以变化。
应该注意的是尽管图3中仅显示了四个PMU，但是在ATE中可以具有任意数量的PMU，并且可以用于向DUT供给电源。
在该实施方式中，在作为ATE的一部分的单个芯片上实现PMU 14到16，并且ATE不包括除PMU 14至17以外的电源。消除ATE上的独立电源将减少实现ATE所需的电路板的空间量以及减少生产ATE所需要的费用。
尽管图2至4显示了被用作第一PMU 14的检测路径的第二PMU15，但是ATE不限于此。也就是说，第二PMU 15可以被配置成加载电压至DUT 11，第一PMU 14可以被配置成作为第二PMU 15的检测路径。可以通过重新配置它们的开关29和44并将PMU 15的反馈路径从DUT 11连接到电路路径66的方式来改变第一和第二PMU 14和15的功能。参照图2，在该替换配置中，驱动器19是三态的，开关29a同电路路径35相连接，开关29b同电流路径36相连接。开关29c同电路路径31相连接以将电路路径50同第一PMU14断开。开关44c同电路路径54(DUT检测线路)相连接，连接开关44b以将其中的电压施加到驱动器40的输入端52。因此，驱动器40的输入端52接收来自DUT 11的电压，驱动器40根据该电压补偿沿着电路路径55的电压降。
代替利用第二PMU 15作为检测路径，第三PMU 16和/或第四PMU 17可以作为检测路径。可以用如上所述和第二PMU 15一样的方法来配置第三PMU 16和第四PMU 17。
上述的实施方式描述了仅利用硬件实现的PMU。在其他实施方式中，每个PMU的至少一部分可以利用软件来实现。例如，驱动器19和40可以受基于软件的控制过程的控制。在该实例中，软件可被用于调节输出到DUT11的电压。也就是说，软件可以接收检测电压，并根据该接收的检测电压控制由第一PMU 14输出到电路路径21的电压。因此，如果在DUT 11中要求40V，并且检测电压指示80mV的电压降，那么软件可以控制第一PMU 14增加电压输出到40V加80mV以补偿通过电路路径21的电压降。
图5是显示利用软件实现ATE以控制电压的加载和调节的处理80的流程图。处理80从向器件施加(81)第一电压开始。这是通过加载电压到DUT 11的方式执行的。通过施加控制信号至电压电源，或者由任何其他的机制可以加载电压。软件知晓电路路径21的阻抗，例如，软件可以被编程为能预先知晓阻抗。处理80利用来自PMU 14的电流反馈路径检测(82)PMU 14的电流输出。处理40调整(84)施加到驱动器19的输入电压以补偿通过电路路径21的电压降。也就是说，处理40根据驱动器19的电流输出和电路路径21的阻抗来确定电压降，并因此调整驱动器的输入电压。
在此描述的ATE不局限于利用如上所述的硬件和软件。ATE能够以数字电子电路实现，或者以计算机硬件、固件、软件或者其组合实现。
ATE的至少一部分可以经由计算机程序产品来实现，也就是在信息载体中(例如在机器可读存储器件中或者在传送信号中)具体表现的计算机程序，用于由数据处理设备执行或者控制数据处理设备的操作，所述数据处理设备例如是可编程处理机、计算机或者多个计算机。计算机程序可以以任何形式的程序设计语言来撰写，包括编译或者解释语言，并且其能够以任何形式来推广应用，包括作为独立程序或者作为模块、组件、子程序或者适合在计算环境中使用的其他单元。计算机程序可以被推广为在一个计算机上或者多个计算机上执行，所述多个计算机可以位于一个地点的或者被分配在多个站点中并由通信网络互连。
与实现ATE有关的方法步骤可以由一个或多个可编程处理器执行，所述一个或多个可编程处理器执行一个或多个计算机程序从而实现ATE的功能。ATE的全部或者部分可以以特殊用途的逻辑电路实现，例如，FPGA(现场可编程门阵列)和/或ASIC(专用集成电路)。
举例来说，适合于执行计算机程序的处理器包括通用微处理器和专用微处理器，以及任何种类数字计算机的任意一个或多个处理器。通常，处理器将接收来自只读存储器或者随机存取存储器或者这两者的指令和数据。计算机元件包括用于执行指令的处理器和用于存储指令和数据的一个或多个存储器件。
在如上所述的实施方式中，用于实现驱动器和缓冲器的放大器可以具有一的增益，不过其他增益也可以使用。
在此描述的不同实施方式的元件可以合并成在上文中没有特别阐述的其他实施方式。在此没有特别描述的其他实施方式也在以下权利要求的范围内。
权利要求
1.一种用于提供电流至被测器件的设备，包括第一参数测量单元，其被配置以提供电流至器件；以及第二参数测量单元，其被配置以提供电流到器件，来自第二参数测量单元的电流增大了在器件处的来自第一参数测量单元的电流。
2.根据权利要求1所述的设备，还包括一个或多个附加参数测量单元，其被配置以提供电流到器件，来自一个或多个附加参数测量单元的电流增大了在器件处的来自第一参数测量单元和第二参数测量单元的电流。
3.根据权利要求1所述的设备，其中，该第一和第二参数测量单元具有基本上相同的结构，所述结构包括驱动器，其用于输出电流；以及反馈路径，其用于调节驱动器的电流输出。
4.根据权利要求1所述的设备，还包括第三参数测量单元，所述第三参数测量单元被配置以检测在被测器件处的电压，所述电压被用作第一和第二参数测量单元的输入。
5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述第三参数测量单元被配置以通过禁用第三参数测量单元输出电流至被测器件的功能的方式检测电压。
6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述设备包括用于测试由被测器件执行的功能的自动测试设备；其中第一和第二参数测量单元被在作为自动测试设备的一部分的单个芯片上实现；以及其中所述自动测试设备不包括除第一和第二参数测量单元以外的电源。
7.一种用于施加电源至被测器件的设备，包括多个参数测量单元，所述多个参数测量单元包括基本上相同的电路，所述多个参数测量单元的每一个可被配置以作为电源工作以对被测器件供电或者作为检测器件工作，所述多个参数测量单元包括第一参数测量单元，其被配置以检测器件的电压，第一参数测量单元包括分接被测器件的电压的检测路径；以及至少一个附加参数测量单元，其被配置以作为电流源，至少一个附加参数测量单元经由第一参数测量单元接收电压，并根据经由第一参数测量单元接收的电压提供输出电流。
8.根据权利要求7所述的设备，其中，所述至少一个附加参数测量单元包括第二参数测量单元，其被配置成作为电流源，第二参数测量单元包括输出电流至被测器件的第二驱动器，第二驱动器经由第一参数测量单元接收电压；以及第三参数测量单元，被配置成作为电流源，第三参数测量单元包括输出电流至被测器件的第三驱动器，第三驱动器经由第一参数测量单元接收电压。
9.根据权利要求8所述的设备，其中，该第一参数测量单元的检测路径通向第二和第三驱动器的输入端。
10.根据权利要求8所述的设备，其中，所述至少一个附加参数测量单元包括第四参数测量单元，其被配置以作为电流源，第四参数测量单元包括输出电流至被测器件的第四驱动器，第四驱动器接收外部电压和经由第一参数测量单元接收的电压作为输入。
11.根据权利要求8所述的设备，其中，该第二参数测量单元和第三参数测量单元的每一个都包括反馈路径，以及其中第二参数测量单元的反馈路径提供输入至第二驱动器，第三参数测量单元的反馈路径提供输入至第三驱动器。
12.根据权利要求11所述的设备，其中，该第二参数测量单元的反馈路径分接在被测器件和第二驱动器之间的电压；以及其中第三参数测量单元的反馈路径分接在被测器件和第三驱动器之间的电压。
13.根据权利要求7所述的设备，其中，该第一参数测量单元被配置成通过禁用第一参数测量单元中使得第一参数测量单元能够作为电流源工作的功能的方式来检测在器件处的电压。
14.根据权利要求13所述的设备，其中，该第一参数测量单元中使得第一参数测量单元能够作为电流源工作的功能包括驱动器；以及其中，禁用驱动器包括三态操作驱动器。
15.根据权利要求7所述的设备，其中，所述设备包括用于测试由被测器件执行的功能的自动测试设备；其中所述多个参数测量单元是在作为自动测试设备的一部分的单个芯片上实现的；以及其中所述自动测试设备不包括除多个参数测量单元以外的电源。
16.一种提供电流至被测器件的方法，包括检测提供至被测器件的输出电流；提供与输出电流对应的电压来作为到多个参数测量单元的输入；输出来自多个参数测量单元的每一个的电流，来自每一个参数测量单元的电流基于电压；以及在被测器件组合来自多个参数测量单元的电流。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，该检测步骤包括配置第一参数测量单元来检测输出电流，该第一参数测量单元提供电压到多个参数测量单元。
18.一种提供电流到被测器件的设备，包括第一参数测量单元，其被配置成提供电流到器件；第二参数测量单元，其被配置成提供电流到器件，来自第二参数测量单元的电流增大在器件处的来自第一参数测量单元的电流；以及第三参数测量单元，其被配置以检测在器件处的电压，所述电压被输入到第一参数测量单元。
19.根据权利要求18所述的设备，其中，所述设备包括用于测试由被测器件执行的功能的自动测试设备；其中，该第一、第二和第三参数测量单元被在作为自动测试设备的一部分的单个芯片上实现；以及其中所述自动测试设备不包括除第一、第二和第三参数测量单元以外的电源。
20.根据权利要求18所述的设备，还包括第四参数测量单元，其被配置以提供电流到器件，来自第四参数测量单元的电流增大在器件处的来自第一参数测量单元和第二参数测量单元的电流。
全文摘要
用于提供电流至被测器件的设备包括被配置成提供电流至器件的第一参数测量单元和被配置成提供电流至器件的第二参数测量单元。来自第二参数测量单元的电流增大了在器件处的来自第一参数测量单元的电流。
文档编号G01R31/28GK101080640SQ200580043108
公开日2007年11月28日 申请日期2005年12月16日 优先权日2004年12月17日
发明者欧内斯特·P·沃克, 罗纳德·A·萨特斯奇夫 申请人:泰拉丁公司