专利名称：石英传感器和感知装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用朗之万(Langevin)型石英振子的石英传感器(quartz sensor)和使用该石英传感器的感知装置(sensing device)，该朗之万型石英振子构成为石英片的一个面与测定气氛接触、另一个面面向气密空间，通过检测频率的变化，感知测定对象物。
背景技术：
为了对微量物质、例如二噁英等环境污染物质或C型肝炎病毒和C-反应性蛋白(CRP)等疾病标志进行感知，广泛知道有使用包括利用石英振子的石英传感器的感知装置的测定方法。
具体地说，上述测定方法为如下的测定方法在石英振子的一面侧的激励电极上预先形成吸附层，利用当测定对象物吸附时、石英片的共振频率根据其吸附的物质的质量而变动的性质，测定试样溶液中有无测定对象物或其成分的浓度。在专利文献1中记载有，为了使在该测定方法中使用的石英传感器中包含的石英振子在免疫乳胶(latex)溶液中稳定地振荡，优选石英振子的仅一面与测定气氛接触的结构。
这样的石英传感器通常被称为朗之万型石英振子。虽然专利文献1中没有记载，但是，通常作为朗之万型石英振子的基本结构，为图10所示的结构。图中10为圆形板状的石英片，在其两面的中央部分别形成有箔状的电极11、12。用于在外部取出电信号的支撑线部件13、14，例如线直径为0.5mm左右的引线，与这些电极11、12连接。在上述石英片10的另一面侧，设置有形成有凹部15的基体16，上述石英片10与基体16通过粘接剂17固着，由此，形成由石英片10和上述凹部15包围的气密空间。
近年来，从环境保护的观点出发，要求进一步取缔上述二噁英等对环境影响大的毒性物质，为了能够进行ppt水平的测定，在各方面正在进行努力。然而，在石英振子中，石英片的厚度越小，石英振子的共振频率越增大。从Sauerbrey式可知，该石英振子发出的频率越大，由测定物质的质量变化量引起的频率的变化量越大。即，石英片越薄层化，石英传感器的测定灵敏度越提高，从而能够测定极微量的物质。因此，要求石英片薄层化。
现在，使石英片薄层化的技术正在进展，能够做出厚度为几～几十μm左右的石英片。作为图10所示的石英传感器的制造方法，研究了如下的方法例如，利用具有一定形状的2个塑料的壳体夹住石英振子，使得在石英振子的一面与该塑料之间形成气密空间，利用超声波使该塑料的壳体彼此熔接，由此将石英振子固定在塑料壳体内。但是，在使用这样的方法的情况下，薄层化的石英片有可能因上述超声波引起的振动而破损。另外，也考虑使用模制成形，但有制造工序复杂的缺点。
另外，在专利文献2中记载有在方形的挠性基板的一边的中央部形成比石英振子稍小的矩形的切口，将石英振子安装在挠性基板上，使得该石英振子由该切口夹住，用螺钉将挠性基板、高分子弹性片和保持基板固定而使其一体化的结构。在形成这样的结构的情况下，即使不像上述的制造方法那样施加超声波，也能够制造石英传感器。
但是，从专利文献2的石英传感器的分解立体图来看，石英振子的周边部被夹在高分子弹性片与挠性基板之间，当为了确保气密性而将螺钉拧紧时，会向石英振子的周边部施加强大的力。因此，当石英振子薄层化时，在制造工序中破损的可能性大。
另外，石英传感器通过与进行信号处理的测定器本体连接，作为感知装置的检测部起作用，但是，在专利文献1和专利文献2的方法中，在将石英传感器与测定器本体连接的情况下，需要特殊的附件。而且，在测定时，由同一测定试样调制稀释倍率不同的例如8个检体，对各检体进行测定，以提高测定精度。此时，与各石英传感器对应的配线在测定时使用的作业台上蔓延，因此存在测定作业麻烦的问题。
专利文献1特开2001-83154(段落0009、段落0019和图1)专利文献2特开平11-183479(段落0024、图2和图9)
发明内容
本发明的课题是消除上述的现有技术的缺点，本发明的目的在于提供能够容易地进行装配作业、并能够抑制石英振子在该作业时的破损的朗之万(Langevin)型的石英传感器(quartz sensor)和感知装置(sensing device)。另外，本发明的另一个目的为提供测定容易的朗之万型的石英传感器和感知装置。
本发明的一种石英传感器，用于检测试样液中的测定对象物，其特征在于，包括配线基板，其包括与测定器本体连接的连接端子部和与该连接端子部电连接的电极；石英保持部件，其由具有用于形成气密空间的凹部的弹性材料制成，叠层在上述配线基板上；石英振子，其具有分别设置在石英片的一面侧和另一面侧上、与上述配线基板的电极电连接的激励电极，并且，在另一面侧的激励电极以面向上述凹部的方式塞住该凹部的状态下，被保持在上述石英保持部件上；吸附层，设置在上述一面侧的激励电极上，吸附试样溶液中的测定对象物；盖部，与上述石英保持部件的上述凹部的周围紧贴，并且包围石英振子的一面侧的上部空间而形成试样溶液的注入空间；和导电性粘接剂，粘接上述石英振子的激励电极和上述配线基板的电极，通过将测定对象物吸附在吸附层中，石英振子的固有振动频率变化。
可以形成如下结构上述石英保持部件在与上述振子电极对应的位置形成有导电性粘接剂用的孔部，激励电极与配线基板的电极通过该孔部由导电性粘接剂粘接。另外，可以形成如下结构在配线基板上形成有石英保持部件用的孔部，石英保持部件用的凹部的底面侧从配线基板的一面侧嵌入该孔部中。在上述石英传感器中，可以在上述盖部的边缘部设置有向内侧弯曲的爪部，在上述基板上设置有切口部，在切口部中，爪部利用向内侧的复原力而与基板的周边部卡止，由此将盖部安装在基板上。
另外，本发明的另一种石英传感器，用于检测试样液中的测定对象物，其特征在于，包括配线基板，其包括与测定器本体连接的连接端子部、与该连接端子部电连接的电极、和孔部；嵌入上述孔部中，由弹性材料制成的环状的石英保持部件；石英振子，其具有分别设置在石英片的一面侧和另一面侧上、与上述配线基板的电极电连接的激励电极，并且，在上述配线基板的一面侧，以塞住上述环状的石英保持部件的方式被保持在该石英保持部件上；吸附层，设置在上述一面侧的激励电极上，吸附试样溶液中的测定对象物；基台部，构成为在上述石英振子的另一面侧形成气密空间，覆盖配线基板的一面侧；盖部，构成为在上述配线基板的另一面侧与上述石英保持部件的环孔的周围紧贴，并且，包围石英振子的另一面侧的上部空间而形成试样溶液的注入空间，覆盖配线基板的另一面侧；和导电性粘接剂，粘接上述石英振子的激励电极和上述配线基板的电极，通过将测定对象物吸附在吸附层中，石英振子的固有振动频率变化。
对于上述的石英传感器，石英保持部件的材质优选使用橡胶。另外，在石英传感器中，可以在上述盖部的上面上设置有用于确认试样溶液被注入注入空间的注入口、和试样溶液的确认口，在盖部的内面侧，上述注入口与确认口连通。另外，配线基板可以构成为能够插入测定器本体中和从其中拔出，当插入时，连接端子部与测定器本体连接。
另外，本发明的一种感知装置，其特征在于，包括上述的本发明的石英传感器；和检测石英振子的固有振动频率的变化量，根据该检测结果，检测试样液中的测定对象物的测定器本体。
本发明的石英传感器，使石英振子保持在石英保持部件上，以塞住例如由橡胶制成的石英保持部件的凹部，从而形成气密空间，使用导电性粘接剂，进行石英振子的振子电极与配线基板的电极的电连接，利用盖部将石英保持部件中的包围石英振子的部位按压在配线基板侧上，形成试样溶液的注入空间。因此，根据本发明，装配作业容易，因为不会因在制造时直接按压石英振子而向该石英振子施加过度的力，所以能够抑制例如制造时的石英振子的破损。另外，因为石英振子不直接与配线基板接触，所以，即便使石英振子变薄，受到外部应力的程度也小，因此能够在高频率下高精度地进行测定。另外，如果形成为将与石英保持部件的凹部对应的部位嵌入配线基板的孔部中的结构，则即使通过减薄石英保持部件，形成与凹部对应而向下方侧突出的部分，该部位也收容在配线基板的凹部中，因此，结果能够减小石英保持部件的厚度。
另外，另一个发明的石英传感器，使环状的石英保持部件嵌合在配线基板的孔部中，以塞住环孔的方式将石英振子安装在石英保持部件上，从配线基板的两面按压盖部和基台部，以确保试样溶液的注入空间和气密空间。因此，在本发明中，装配作业容易，因为不会因在制造时直接按压石英振子而向该石英振子施加过度的力，所以能够得到与上述发明同样的效果。另外，在本发明中，在该石英传感器的基板上设置有直接与测定器本体侧的端子连接的连接端子部，因此不需要在将石英传感器与测定器本体连接时使用的附件等。因此，配线不会像上述那样在测定台上卷绕，所以测定作业容易进行。
图1为表示本发明的石英传感器的一个实施方式的立体图。
图2为表示上述石英传感器的各部件的上面的分解立体图。
图3为表示上述石英传感器的各部件的下面的分解立体图。
图4为上述石英传感器的纵截侧面图。
图5为表示与本发明的石英传感器连接的测定器本体的结构的一个例子的框图。
图6为表示作为上述测定器本体的一个例子的生物传感器的立体图。
图7为表示在另一个实施方式的石英传感器中使用的环状的石英保持部件的一个例子的说明图。
图8为使用上述石英保持部件的石英传感器的装配工序图。
图9为使用上述石英保持部件的石英传感器的装配工序图。
图10为表示以往使用的石英传感器的结构的一个例子的说明图。
具体实施例方式
(第一实施方式)使用图1～图4对本发明的石英传感器的第一实施方式进行说明。图1为表示本发明的石英传感器的一个例子的立体图。该石英传感器由配线基板4、石英保持部件3、石英振子2、盖部5各部件依次从下开始重合而构成。图2为表示该石英传感器的各部件的上面侧的分解立体图。
石英振子2由石英片21、激励电极22、23、和导出电极24、25构成。石英片21，例如等价厚度为1μm～300μm、优选为185μm，形成为周线的一部分被切成直线状的板状。在该石英片21的一面侧和另一面侧，分别贴附有箔状的一个激励电极22和另一个激励电极23，它们形成为直径比该石英片21小的圆形状。另外，在上述石英片21的一面侧，箔状的一个导出电极24的一端侧与上述一个激励电极22连接而形成，该导出电极24沿着石英片21的端面弯曲，转入石英片21的另一面侧。这些激励电极22、23和导出电极24、25构成振子电极。
另外，在石英片21的另一面侧，箔状的另一个导出电极25的一端侧，按照与先前的一个导出电极24同样的布局，与上述另一个激励电极22连接而形成，在石英片21的两面上，激励电极22(23)和导出电极24(25)的布局相同。
上述激励电极21、22和导出电极23、24的等价厚度例如为0.2μm，作为电极材料，金或银等合适，但从在流体中的频率稳定性高和在使用前在空气中保存下的电极表面的耐氧化性强考虑，优选金。另外，预先在该石英振子2的一面侧附着作为选择性地吸附欲使用该石英传感器进行感知的对象物质例如二噁英的吸附层的抗体等。
保持上述石英振子2的石英保持部件3例如由厚度为1mm的橡胶片构成，形成为与后述的配线基板4对应的形状。即，该石英保持部件3成为如下形状在长方形状体的前方侧的一边的中央形成有矩形状的切口3a，在后方侧的两角部，分别形成有矩形状的切口3b、3c。此外，作为该石英保持部件3的材料，优选为橡胶，但也可以使用其它的弹性材料。在石英保持部件3的一面侧形成有凹部31，其形状被形成为石英振子2的形状的相似形，使得能够容易地将石英振子2载置在凹部31中，其尺寸与上述石英振子2的尺寸大致相同，例如相同或比它稍大。另外，在上述凹部31的外侧部位，以隔着该凹部31相对的方式穿设有形成后述的导电性粘接剂的涂布空间的透孔34、35。其中，凹部31的深度被设定为比石英振子2的厚度稍大。在凹部31的底部中央，与激励电极23的尺寸对应，形成有用于形成与该激励电极23接触的气密气氛的圆形状的凹部32。
接着，对配线基板4进行说明。该配线基板4例如由印刷基板构成，从前端侧向后端侧依次形成有电极44、孔部43和电极45。上述孔部43形成为与从上述石英保持部件3的背面侧突出的圆形的凸部33对应的圆形状。另外，在形成有电极45的位置的靠后端侧，形成有2个并行的线状的导电路图案，分别作为连接端子部41、42。一个连接端子部41通过图案48与电极44电连接，另一个连接端子部42通过图案49与电极45电连接。此外，孔46、47为与石英保持部件3的卡合突起36、37(参照图3)分别卡合的卡合孔。于是，通过使在上述石英保持部件3的背面侧突出的凸部33嵌入配线基板4的孔部43中、并且使石英保持部件3的卡合突起36、37与配线基板4的卡合孔46、47分别嵌合(卡合)，在基板4的表面与上述石英保持部件3的背面紧贴的状态下，将石英保持部件3固定在基板4上。另外，在此时，电极44和电极45的一部分或整体，通过石英保持部件3的孔34和孔35而向上面露出。
接着，说明盖部5的结构。盖部5，如图3所示，在下面侧形成有凹部50。如图3和图4所示，该凹部50包括包含石英保持部件3中的凹部32整体的宽度的第一区域51；和在该第一区域51的前后分别形成的第二区域54和第三区域55。第一区域51构成试样溶液与石英振子2的激励电极22接触的测定区域，在该第一区域51的上面上设置有与石英振子2的激励电极22相同尺寸或比它大的尺寸的相对面部57，激励电极22收纳在该相对面部57内的投影区域内。第二区域54和第三区域55分别覆盖在石英保持部件3的导电性粘接剂涂布用的孔34、35上，在其上面侧分别形成有试样溶液的注入口52和确认口(检测口)53。包含这些第一区域51、第二区域54和第三区域55的凹部50相当于注入空间，包围该凹部50的周围部分的下面、即盖部5的内面，与石英保持部件3的包围石英振子2的面紧密接触，具有作为对其进行按压的按压面(紧密接触面)的作用。另外，在盖部5的内面，以包围该按压面的方式设置有肋56。
另外，为了使测定试样容易注入，注入口52以其口径随着从盖部5的内部向盖部5的上面而依次增大的方式形成，即以该注入口52的内周成为倾斜状的方式形成。确认口53形成为从盖部5的内部向盖部5的上面的后端侧具有倾斜部分，该倾斜部分具有比上述确认口53的倾斜缓和的倾斜，使得容易观察在该确认口53呈现的水位。此外，在从上面观察盖部5的情况下，确认口53以该倾斜部分被露出的方式形成。
这样的结构的石英传感器按以下方式进行装配。首先，如上述那样使石英保持部件3与基板4嵌合，再将石英振子2载置在石英保持部件3的凹部31上，使其与该凹部31嵌合。接着，利用分配器(dispenser)从石英保持部件3上通过孔34(35)供给导电性粘接剂100，使得石英振子2的导出电极24(25)与基板4的电极44(45)电连接。利用该导电性粘接剂100将石英振子2固定在石英保持部件3上。这样，在石英振子2的下面侧形成气密空间(凹部31内的空间)，构成朗之万型石英传感器。
接着，从上述基板4和石英保持部件3的装配体的上面，盖上盖部5并将其向基板按压，使得其的各爪部5a、5b、5c与各切口部4a、4b、4c嵌合。由此，在盖部5上形成的各爪部5a、5b、5c向基板4的外侧弯曲，另外，各爪部5a、5b、5c通过各切口部4a、4b、4c转入基板4的周边部的下面，同时，各爪部5a、5b、5c利用向内侧的复原力而成为原来的形状，基板4被各爪部5a、5b、5c夹住并互相卡止。另外，盖部5的内侧的上述按压面与石英保持部件3的上面紧密接触，形成试样溶液的注入空间。另外，为了防止在测定前从注入口52和确认口53侵入的杂质附着在石英振子2上，用薄膜片状的保护片(未图示)覆盖注入口52和确认口53。
在使用本实施方式的石英传感器时，当作业者利用注入器使试样溶液通过盖部5的注入口52向第二区域54内流入规定量时，试样溶液进一步流入第一区域51，由此，石英振子2的一面与测定气氛接触。此时，由于被盖部5的嵌入石英保持部件3中的肋56阻止，能更可靠地防止试样溶液从盖部5与石英保持部件3之间向该石英传感器外泄漏。
如上所述，本实施方式的石英传感器容易装配，另外，因为不向石英振子2施加大的应力，所以能够防止石英片21在该石英传感器的制造时或使用时破损。如上所述，当为了提高测定灵敏度而要提高测定频率时，石英片21变薄，即使极小的应力也会对测定产生大的影响，但石英振子2安装在橡胶制的石英保持部件3上，不与配线基板4直接接触，因此，施加在石英片21上的应力小，从而，能够进行高灵敏度、高精度的测定。此外，在上述的实施方式中，在配线基板4上设置孔部43，使在石英保持部件3的凹部3的背侧突出的凸部33嵌合在该孔中，因此，能够利用基板4的厚度吸收与石英振子2的激励电极接触的气密空间(凹部32形成的空间)的高度，因此，能够减小石英保持部件3的厚度，但是，也可以形成在配线基板4上不设置孔部43、使石英保持部件3的背面与基板4的表面重合的结构，利用石英保持部件3的厚度形成上述气密空间。在该情况下，气密空间的底部相当于基板4的表面。
另外，从注入口55注入的试样溶液，通过第二注入区域54和第一注入区域51流入第三注入区域55内，第三注入区域55中的试样溶液的水位上升。然后，试样溶液的液面到达确认口53，直接在形成于确认口53中的倾斜部分上升。由此，可容易地从该石英传感器外部判别出已将试样溶液注入该石英传感器中。当试样溶液少时，石英振子2受到液体的表面张力的影响，因此，这样的结构是有效的。另外，因为能够抑制试样溶液的注入量过剩，所以能够使测定方便。另外，如果观察该液面增加的情况，则能够防止试样溶液的供给量过剩。另外，在测定结束后，该石英传感器可以直接废弃，但也可以使盖部5的各爪部向石英传感器的外侧方向弯曲，使盖部5与基板4分离，将各部件洗净而再利用。
在此，石英传感器通过与具有例如作为框图的图5所示的结构的测定器本体6连接，作为感知装置的检测部使用。图中62为使石英传感器的石英片21振荡的振荡电路，63为产生基准频率信号的基准时钟发生部，64为例如由外差检波器构成的频率差检测单元，根据来自振荡电路62的频率信号和来自基准时钟发生部63的时钟信号，取出与两者的频率差对应的频率信号。65为放大部，66为对来自放大部65的输出信号的频率进行计数的计数器，67为数据处理部。
作为石英传感器的频率，例如选择9MHz，另外，作为基准时钟发生部53的频率，例如选择10MHz。当作为感知对象物质的例如二噁英没有吸附在该石英传感器中包含的石英振子2上时，频率差检测单元64输出作为来自石英传感器侧的频率与基准时钟的频率的差的1MHz的频率信号(频率差信号)，但当试样溶液中包含的测定对象物质(例如二噁英)吸附在石英振子2上时，固有振动频率变化，因此，频率差信号也变化，因此，计数器66中的计数值变化。通过预先制作出例如频率的变化量(计数值的变化量)与试样溶液中的测定对象物例如二噁英的浓度的检量线，能够检测出测定对象物质的浓度或有无。
图6为表示上述的测定器本体6的一个例子的图。如图6(a)所示，该测定器本体6由本体部71和在本体部71的前面形成的开闭自由的盖部72构成。当打开盖部72时，如图5(b)所示，本体部71的前面显露出来。在该本体部71的前面形成有多个该石英传感器的插入口73，该插入口73例如呈直线状、以一定间隔形成有8个。
通过将各石英传感器的基板40的后端侧，水平地插入测定器本体6的各插入口73中至一定的深度，基板4的连接端子部41、42与在插入口73的内部形成的电极电连接，同时，插入口73的内部夹持基板4，由此，石英传感器在保持水平状态下被固定在测定器本体6上。如果形成这样的结构，则能够直接与测定器本体6连接而不需要特殊的附件等，因此，配线不会在测定台上卷绕，因此容易进行测定作业。
接着，对本发明的另一个实施方式进行说明。图7表示在本实施方式的石英传感器中使用的环状的石英保持部件8。该石英保持部件8由具有弹性的材质例如橡胶制成，一面侧构成为载置石英振子的载置部81，另一面侧构成为向基板9嵌入的嵌入部82。载置部81在中心部形成有与石英振子2的激励电极22相同尺寸或稍大尺寸的透孔84，并且包括外形与石英振子2尺寸大致相同的环状的载置面部84a、和包围该84a的周围的周壁部80。在周壁部80的上面部，在相互相对的部位上形成有切口84b、85，并且，在该上面部中的84b、85之间，形成有突片88，该突片88与载置面部84a之间隔着与石英片21的厚度相当的间隙而向内侧突出。另外，周壁部80的与突片88相对的内面，与石英片21的外周的一部分的直线部位一致而形成为直线状。嵌入部82设置在载置部81的载置面部84的相反侧的中央，其外形被形成为可嵌入作为后述的配线基板(例如印刷基板)9的孔部的透孔93(参照图8)中的大小。另外，嵌入部82包括长度与配线基板9的厚度相当的环部86、和在该环部86的前端周边形成的法兰87，环部86的内部空间与上述透孔84连通。
图8表示在该实施方式中使用的配线基板9和装配工序。配线基板9在一端侧形成由印刷配线构成的连接端子部91、92，这些连接端子部91、92与先前的实施方式同样，能够相对于测定器本体6安装和拆卸。在配线基板9的中央，穿设有与上述石英保持部件8的环部86的外形对应的大小的圆形的透孔93，通过使环部86从配线基板9的一面侧嵌入透孔93中，法兰87与配线基板9的另一面侧卡止，由此，将石英保持部件8固定在配线基板9上。然后，将载置部81的突片82稍微抬起，将石英振子2嵌入该载置部81中。图7(c)和图8(c)为表示石英振子2已被嵌入载置部81中的状态的平面图。
另外，分别通过切口84、85，利用导电性粘接剂90，将石英振子2的电极(在该例子中为导出电极24、25)与配线基板9侧的电极94、95连接。此外，电极94、95分别与连接端子部91、92电连接。接着，如图9(a)所示，使弹性片、例如橡胶片9A与配线基板9的另一面侧重合，使得在其中央部形成的透孔93与石英振子2重合，再使作为盖部的上壳体9C与该片9A重合，使上壳体9C的周边与配线基板9的周边部卡合(图9(c))。上壳体9C，如先前的实施方式那样，形成有注入空间C1以及与该注入空间连通的注入口C2和确认口C3。另外，在配线基板9的一面侧上安装有构成基台部的下壳体9B(图9(b))。此外，如图9(d)所示，在下壳体9B的与载置部81对应的位置形成有凹部B1，该凹部B1内的空间构成与石英振子2的一面侧接触的气密空间。因此，在该例子中，也构成朗之万型的石英传感器。
这样装配的石英传感器中，石英振子2的一面侧通过石英保持部件8的环孔84，与试样溶液的注入空间接触，能够与先前的实施方式同样地进行测定。在该例子中，因为通过具有弹性的石英保持部件，将石英振子安装在印刷基板上，所以装配作业简单，并且石英振子2破损的可能性降低。
权利要求
1.一种石英传感器，用于检测试样液中的测定对象物，其特征在于，包括配线基板，其包括与测定器本体连接的连接端子部和与该连接端子部电连接的电极；石英保持部件，其由具有用于形成气密空间的凹部的弹性材料制成，叠层在所述配线基板上；石英振子，其具有分别设置在石英片的一面侧和另一面侧上、与所述配线基板的电极电连接的激励电极，并且，在另一面侧的激励电极以面向所述凹部的方式塞住该凹部的状态下，被保持在所述石英保持部件上；吸附层，设置在所述一面侧的激励电极上，吸附试样溶液中的测定对象物；盖部，与所述石英保持部件的所述凹部的周围紧贴，并且包围石英振子的一面侧的上部空间而形成试样溶液的注入空间；和导电性粘接剂，粘接所述石英振子的激励电极和所述配线基板的电极，通过将测定对象物吸附在吸附层中，石英振子的固有振动频率变化。
2.如权利要求1所述的石英传感器，其特征在于所述石英保持部件在与所述激励电极对应的位置形成有导电性粘接剂用的孔部，激励电极与配线基板的电极通过该孔部由导电性粘接剂粘接。
3.如权利要求1所述的石英传感器，其特征在于在配线基板上形成有石英保持部件用的孔部，石英保持部件的凹部的底面侧从配线基板的一面侧嵌入该孔部中。
4.如权利要求1所述的石英传感器，其特征在于在所述盖部的边缘部设置有向内侧弯曲的爪部，在所述基板上设置有切口部，在所述切口部中，所述爪部利用向内侧的复原力而与基板的周边部卡止，由此将盖部安装在基板上。
5.一种石英传感器，用于检测试样液中的测定对象物，其特征在于，包括配线基板，其包括与测定器本体连接的连接端子部、与该连接端子部电连接的电极、和孔部；嵌入所述孔部中，由弹性材料制成的环状的石英保持部件；石英振子，其具有分别设置在石英片的一面侧和另一面侧上、与所述配线基板的电极电连接的激励电极，并且，在所述配线基板的一面侧，以塞住所述环状的石英保持部件的方式被保持在所述石英保持部件上；吸附层，设置在所述一面侧的激励电极上，吸附试样溶液中的测定对象物；基台部，构成为在所述石英振子的另一面侧形成气密空间，覆盖配线基板的一面侧；盖部，构成为在所述配线基板的另一面侧与所述石英保持部件的环孔的周围紧贴，并且，包围石英振子的另一面侧的上部空间而形成试样溶液的注入空间，覆盖配线基板的另一面侧；和导电性粘接剂，粘接所述石英振子的激励电极和所述配线基板的电极，通过将测定对象物吸附在吸附层中，石英振子的固有振动频率变化。
6.如权利要求1或2所述的石英传感器，其特征在于石英保持部件由橡胶形成。
7.如权利要求1或2所述的石英传感器，其特征在于在所述盖部的上面上设置有试样溶液的注入口、和确认试样溶液被注入注入空间的确认口，在盖部的内面侧，所述注入口与确认口连通。
8.如权利要求1或2所述的石英传感器，其特征在于配线基板构成为能够插入测定器本体中和从其中拔出，当插入时，连接端子部与测定器本体连接。
9.一种感知装置，其特征在于，包括权利要求1～8中任一项所述的石英传感器；和检测石英振子的固有振动频率的变化量，根据该检测结果，检测试样液中的测定对象物的测定器本体。
全文摘要
本发明的目的在于提供能够容易地进行装配作业、能够抑制石英振子在该作业时的破损、测定容易的高灵敏度的朗之万型石英传感器和感知装置。作为具体的解决手段，在由橡胶制成的石英保持部件上形成凹部，以塞住该凹部的方式使石英振子保持在石英保持部件上，从而形成气密空间。在一个配线基板上设置孔部，使在石英保持部件的凹部的背侧突出的凸部嵌合在该孔部中。使用导电性粘接剂进行石英振子的振子电极与配线基板的电极的电连接，利用盖部将石英保持部件中的包围石英振子的部位按压在配线基板侧上，形成试样溶液的注入空间，这样构成石英传感器。这样的石英传感器不会因在制造时直接按压石英振子而向该石英振子施加过度的力，石英振子不直接与配线基板接触，因此能够抑制石英振子的破损。
文档编号G01N5/02GK101080624SQ20058004333
公开日2007年11月28日 申请日期2005年12月14日 优先权日2004年12月15日
发明者若松俊一, 小山光明 申请人:日本电波工业株式会社