气体流量计校准台的制作方法

专利名称：气体流量计校准台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气体流量试验台。
背景技术：
气体计量被用于多种应用中以测量和/或控制气体体积.多种制造 和生产作业中包括气体计量，其中一种或多种气体在进入制造工艺时 被计量或在排出生产工艺时被计量.质量流量计可用于测量和/或计量 出精确量的气体.质量流量计的精确度因此非常重要.
质量流量计的生产商通常在其计量表被运输给消费者之前对所述 计量表进行校准。校准可包括多种类型的校准过程和设备。 一种通常 的校准方法是将由进行测试的计量表产生的气体流量测量值与同样的 流动气体流的已知的经过高度校准的质量流量测量值进行比较。结果 是，进行测试的计量表可与已知的测量标准进行比较以实现校准的目 的。 一种这样的类型的校准设备是气体流量试验台.
图1示出了现有技术的气体流量试验台。现有技术的气体流量试 验台可包括气体源、入口阀、进行测试的计量表以及出口阀。现有技
术的气体源通常包括被连接至进行测试的计量表的加压罐或加压瓶。 现有技术中的气体源容器通常是单个大的气体容器。在现有技术中，
对气体源进行称重以获得初始重量值，气体源随后被连接至进行测试 的计量表并实施测试。随后，气体源与进行测试的计量表脱开连接且 对气体源进行再次称重以获得最终的重量值。随后利用该重量/质量差 以对通过进行测试的计量表测得的质量流量测量值进行校准。经过校
准的计量表随后可被运送给消费者。
现有技术的方法存在缺点。 一个缺点在于现有技术的方法仅对气 体源进行称重而不是对整个气体流量试验台进行称重。现有技术的方 法在气体源未被连接至气体流量试验台时对所述气体源进行称重。现 有技术的方法没有准确或完全地考虑气体流量试验台中剩余的气体。 例如，可测量的相当量的气体可能被保留在入口阀与出口阀之间的气 体流量试验台中。现有技术设法通过大致估计而对气体流量试验台中 的这种气体进行补偿。现有技术利用的是已知体积的气体流量试验台 设备并利用测得的气体温度和压力将该体积转化成质量。然而，这涉 及到了体积、温度和压力测量，且因此现有技术的方法引入了附加的 误差和附加的不确定性。现有技术并未对气体流量试验台部件中保持 的气体质量进行直接测量.
另一缺点在于，现有技术的方法并未对当气体源脱开连接时被释 放到大气中的气体进行直接测量或准确地考虑所述气体。现有技术假 设存在重量差别的所有气体都流动通过进行测试的计量表。由于仅测 量了气体源且忽略了气体流量试验台部件中的气体和被释放气体，因 此现有技术没有获得令人满意的精确度水平。

发明内容
通过提供一种气体流量试验台、 一种操作气体流量试验台的方法 以及一种形成气体流量试验台的方法而解决了上述及其它问题并且在 本领域中取得了进展。
根据本发明的实施例，提供了一种气体流量试验台，所述气体流 量试验台包括称重装置和被放置在所述称重装置上的进行测试的计量 表。所述气体流量试验台进一步包括被放置在所述称重装置上的气体 源.所述气体流量试验台进一步包括将所述气体源与所述进行测试的 计量表连接起来的导管。所述称重装置产生了所述进行测试的计量表、 所述气体源和所述导管的重量测量值。
根据本发明的实施例，提供了一种操作气体流量试验台的方法. 所述方法包括将气体源连接至所述气体流量试验台，且所述气体源被 放置在称重装置上.所述方法进一步包括将进行测试的计量表连接至 所述气体流量试验台，且所述进行测试的计量表被放置在所述称重装 置上。所述方法进一步包括在进行测试前对所述气体流量试验台和所 述气体源进行称重以便获得初始重量。所述方法进一步包括在进行所 述测试后对所述气体流量试验台和所述气体源进行称重以便获得最终 重量。
根据本发明的实施例，提供了 一种形成气体流量试验台的方法， 所述方法包括提供称重装置并提供被放置在所述称重装置上的进行测 试的计量表。所述方法进一步包括提供被放置在所述称重装置上的气
体源。所述方法进一步包括提供将所述气体源与所述进行测试的计量 表连接起来的导管。所述称重装置产生了所述进行测试的计量表、所 述气体源和所述导管的重量测量值。
在所述气体流量试验台的一方面中，所述进行测试的计量表包括
科里奥利(Coriolis)流量计。
在所述气体流量试验台的另一方面中，所述气体源包括一个或多 个气体容器.
在所述气体流量试验台的又一方面中，所述气体源包括两个或更 多个气体容器且所述气体流量试验台进一步包括被联接至所述两个或 更多个气体容器的歧管，其中所述歧管将来自所述两个或更多个气体 容器的气体流结合起来并使其进入所述导管内。
在所述气体流量试验台的又一方面中，所述气体流量试验台进一 步包括热交换器.
在所述气体流量试验台的又一方面中，所述气体流量试验台进一 步包括压力调节器。
在所述气体流量试验台的又一方面中，所述重量测量值包括初始 重量且包括最终重量，所述初始重量包括进行测试前所述气体流量试 验台中的初始气体量，所述最终重量包括进行所述测试后所述气体流 量试验台中的最终气体量。
在所述气体流量试验台的又一方面中，所述气体流量试验台进一 步包括被放置在所述称重装置上且被联接至所述进行测试的计量表的 入口的入口阀以及被放置在所述称重装置上且被联接至所述进行测试 的计量表的出口的出口阀，其中所述导管将所述气体源、所述入口阀、 所述进行测试的计量表和所述出口阀连接起来。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述进行
测试的计量表包括科里奥利流量计。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述气体 源包括一个或多个气体容器。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述气体 源包括两个或更多个气体容器且所述气体流量试验台进一步包括被联 接至所述两个或更多个气体容器的歧管，其中所述歧管将来自所述两 个或更多个气体容器的气体流结合起来并使其进入所述气体流量试验 台的导管内。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在所述测试过程中在所述气体流量试验台中实施热补偿.
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在所述气体流量试验台中实施压力调节。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述初始 重量包括进行所述测试前所述气体流量试验台中的初始气体量，且所 述最终重量包括进行所述测试后所述气体流量试验台中的最终气体 量.
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括由所述初始重量和所述最终重量确定校准因子。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在所述测试过程中在所述进行测试的计量表中实施质量流 量测量，且校准因子是由所述初始重量、所述最终重量和所述质量流 量测量值确定出来的。
在所述操作所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在进行所述测试前利用来自所述气体源的气体对所述流量 试验台进行加压。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，提供所述 进行测试的计量表进一步包括提供科里奥利流量计。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，提供所述 气体源进一步包括提供一个或多个气体容器.
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，提供所述
气体源进一步包括提供两个或更多个气体容器和提供被联接至所述两
个或更多个气体容器的歧管，其中所述歧管将来自所述两个或更多个 气体容器的气体流结合起来并使其进入所述导管内。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在所述导管中设置热交换器。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括在所述导管中设置压力调节器。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述重量
测量值包括初始重量且包括最终重量，所述初始重量包括进行测试前 所述气体流量试验台中的初始气体量，所述最终重量包括进行所述测 试后所述气体流量试验台中的最终气体量。
在所述形成所述气体流量试验台的方法的又一方面中，所述方法 进一步包括提供被放置在所述称重装置上且被联接至所述进行测试的 计量表的出口的出口阀以及提供被放置在所述称重装置上且被联接至 所述进行测试的计量表的入口的入口阀，其中所述导管将所述气体源、 所述入口阀、所述进行测试的计量表和所述出口阀连接起来，且其中 所述称重装置产生了所述进行测试的计量表、所述入口阀、所述出口 阀、所述气体源和所述导管的重量测量值。


在所有附图中，使用相同的附图标记表示相同的元件。
图1示出了一种现有技术的气体流量试验台； 图2示出了根据本发明的一个实施例的气体流量试验台； 图3示出了根据本发明的另一实施例的气体流量试验台；和 图4是根据本发明的一个实施例的操作气体流量试验台的方法的 流程图.
具体实施例方式
图2-图4和下面的描述对特定实施例进行了说明以便为本领域技 术人员提供如何制造和利用本发明的最佳模式的教导。为了提供关于 本发明原理的教导起见， 一些惯常的方面已被简化或省略。本领域技 术人员将意识到这些实例的变型落入了本发明的范围内，本领域技术 人员将意识到，下面描迷的特征可以多种方式组合以形成本发明的多 种变型。结果是，本发明不限于下面所述的特定实例，而是仅由权利 要求书及其等效方式限定。
图2示出了根据本发明的一个实施例的气体流量试验台200.如图 所示的实施例中的气体流量试验台200包括气体源201、入口岡202、 进行测试的计量表203、出口阀204和导管205。导管205将各个部件 连接起来。气体源201、入口阀202、进行测试的计量表203、出口阀 204和导管205都^皮放置在称重装置210上。此外，称重装置210可被
放置在一些形式的支承结构如货盘、台架、托架等上。
气体流量试验台200可被用于对进行测试的计量表203进行校准。 在一个实施例中，气体流量试验台200包括初级气体流量试验台200。 气体流量试验台200使测试气体流动通过进行测试的计量表203，其中 进行测试的计量表203在测试过程中产生质量流量测量值且称重装置 210产生初始和最终的重量/质量测量值。初始重量可包括进行测试前 气体流量试验台200中的初始气体量且最终重量可包括进行该测试后 气体流量试验台200中的最终气体量。初始和最终质量测量值可被用 于确定质量差测量值。可将该质量差测量值与由进行测试的计量表203 产生的质量流量测量值进行比较.随后可由该初始重量、最终重量和 质量流量测量值确定校准因子.称重装置210因此可提供可被用于对 进行测试的计量表203进行校准的质量标准。结果是，可改进进行测 试的计量表203的精确度且可根据由称重装置210产生的质量测量值 对进行测试的计量表203进行校准。
气体流量试验台200与现有技术的不同之处在于，由称重装置210 测得的重量包括整个气体流量试验台的重量，所述整个气体流量试验 台的重量包括导管205以及各个气体流量试验台部件中的气体重量。 由于气体可被加压，因此气体质量可远高于装置中的自由空气。现有 技术并未对气体流量试验台部件内的气体进行称重。尽管系统中的这 种气体质量例如与例如气体源容器相比相对较小，但忽视该质量却将 使最终结果的精确度下降或降低.现有技术忽视了该系统中的气体质 量，且因此现有技术并不如原本可能地那样准确.
气体源201可包括可!^存任何形式的一种或多种气体的容器.所 述气体可被加压。气体源201可包括多个气体容器(参见图3)。气体 源201可包含特定气体，例如将在最终应用时被用于进行测试的计量 表203中的气体。例如，如果进行测试的计量表203将最终用于对氮 进行计量，则可利用来自气体源201的氮对进行测试的计量表203进 行校准。另一种可选方式是，可使多种不同气体流动通过气体流量试 验台200且因此可获得用于进行测试的计量表203的多个校准因子。 因此，在一个实施例中，可利用多个校准因子对进行测试的计量表203 进行编程以便适用于多个领域。
入口阀202可对气体进入进行测试的计量表203的进气量进行调节。入口阀202例如在停置-开始-结束(standing-start-finish)的 测试情况下(下面将要对所述情况进行讨论)可被打开以便利用来自 气体源201的气体对气体流量试验台200进行加压。另一种可选方式 是，入口阀202可被打开以便开始进行测试。应该理解，尽管如图所 示的入口阀202为独立部件，但入口阀202可与气体流量试验台200 的另一部件结合，即入口阀可包括例如气体源容器的阀。
进行测试的计量表203可包括测量气体的质量流量的任何形式的 流量计。在一个实施例中，进行测试的计量表203包括科里奥利流量 计。进行测试的计量表203可产生表示通过进行测试的计量表203的 质量流速的质量流量测量信号。
出口阀204可对气体排出进行测试的计量表203的排气过程进行 调节。出口阀204可打开和关闭以便开始和停止测试。在入口阀202 打开且出口阀204关闭的情况下，可利用来自气体源201的气体对气 体流量试验台200进行加压。
在一些实施例中，出口阀204可包括一个以上的阀。例如，出口 阀204可包括与截流阀串联的速率阀。在这种构型中，速率阀可控制 气体的流速，而截流阀可启动和停止气体流.
如果进行测试的计量表203包括科里奥利流量计，则测试可包括 停置-开始-结束测试。在停置-开始-结束测试情况下，首先利用来自 气体源201的气体对气体流量试验台200进行加压。气体源201已被 连接至气体流量试验台200。通过称重装置210对整个气体流量试验台 200进行称重以便获得初始重量.该重量测量值中包括了对整个气体流 量试验台200进行加压的所有气体。在这一点上，当气体开始流动时， 被测试的科里奥利计量表203可立即开始测量气体的质量流量.在开 始测试前无需使起动流或初始流流过，原因在于被测试的科里奥利流 量计203无需为了测量质量流量而产生交错上升。在完成测试后(即 当出口阀204被关闭时)，则通过称重装置210对整个气体流量试验 台200再次称重以便获得最终重量。该过程的实施是在测试结束后未 使气体源201与气体流量试验台200脱开连接且未允许任何气体溢出 系统的情况下进行的.初始重量与最终重量之间的差别包括质量差且 因此包括通过气体流量试验台200的气体的质量流量。
应该注意到，在进行最终的称重操作之前，气体源201未与气体
流量试验台200脱开连接.因此，最终的重量包括仍位于导管205和 各个气体流量试验台部件中的所有气体。因此有利地改进了校准的精 确度。
在一种测试情况下，出口阀204可首先被打开，随后打开入口阀 202。结果是，来自气体源201的气体自由地流动通过进行测试的计量 表203。随后，出口阀204被关闭，其中气体源201对气体流量试验台 200进行加压。通过这种方式，可从气体流量试验台200中吹扫出所有 的大气空气。气体流量试验台200可随后被称重以便获得初始重量且 可开始进行测试.
根据任何实施例的气体流量试验台能够对用于气流回路中的更小 的参考计量表(reference meter)进行校准。此外，根据任何实施例 的气体流量试验台能够对用于确定气流回路系统的不确定性特征的迁 移标准计量表(transfer standard meter)进行校准。
图3示出了根据本发明的另一实施例的气体流量试验台300。与其 它实施例一样的部件共用相同的附图标记.除了前述部件以外，该实 施例中的气体流量试验台300包括歧管302、热交换器303和压力调节 器304。此外，该图示出了包括气体源201的两个或更多个容器201a 和201b,
应该理解，可根据需要改变各个部件的次序。例如，气体流量试 验台300可包括为每个气体源201a、 201b等设置的热交换器，其中这 些多个热交换器可位于相应的气体源容器与歧管302之间。
歧管302被连接至每个气体源容器201a、 201b等且将流动气体流 结合起来使其进入导管205内，由于包括了歧管302而使得能够利用 多个气体源容器，使得气体流量试验台300可获得宽速率的质量流速 和流压力.
热交换器303可在测试过程中在气体流量试验台300中实施热补 偿。在气体被高度加压的情况下，这种热补偿可能是希望的(或甚至 是必要的)。热交换器303可被放置在产生最大压力变化的位置处， 即将要发生最大程度的气体冷却的位置处。可实施热补偿以便避免在 气体流量试验台300的各个部件上出现冷凝和结霜现象。附加的大量 湿气积聚在各个部件的外表面上是不希望出现的情况。另一种可选方 式是，可允许在进行测试后对气体流量试验台300进行加热，其中任
何积聚的霜/湿气将基本上被蒸发。因此，采取在获得最终重量之前允
许消耗一段时间的方式可实现与包括有热交换器303所实现的结果相 同的结果。在另一可选方式中，气体流量试验台300可包括防止和/或 去除积聚的湿气/霜的风机或加热器。
压力调节器304可调节导管205中的气体压力。例如，压力调节 器304可将进行测试的计量表203中的压力设定为低于可从气体源201 中获得的压力。此外，即使当气体源201中的压力随着气体流出气体 源201而产生变化，压力调节器304仍可在进行测试的计量表203中 提供大体上恒定的压力。
应该理解，上面的附加部件中的任何部件或所有部件还可被包括 在图2所示的实施例中。结合图3示出该附加部件的目的是为了进行 清楚的说明。
图4是根据本发明的一个实施例的一种操作气体流量试验台的方 法的流程图400。该方法包括停置-开始-结束测试过程，其中在测试开 始前利用测试气体对气体流量试验台设备进行加压.在步骤401中， 气体源201被连接至气体流量试验台。例如，气体源201可被连接至 入口阀202。另一种可选方式是，气体源201可被连接至另一部件如被 连接至歧管302，在所述情况下使用了多个气体源容器。
在步骤402中，进行测试的计量表203被连接至气体流量试验台.
在步骤403中，利用来自气体源201的气体对气体流量试验台进 行加压。该步骤并不是必要的，且另一种可选方式是，可在不用首先 对气体流量试验台部件进行加压的情况下启动测试。
在步骤404中，例如通过称重装置210对整个气体流量试验台进 行称重。该称重步骤被实施以便获得初始重量.如果步骤403已被实 施，则在该称重步骤中将对各个气体流量试验台部件中的气体进行称 重，即初始重量将包括进行测试前气体流量试验台中的初始气体量。
在步骤405中实施测试.来自气体源201的气体流动通过气体流 量试验台且该流动过程持续预定时期(或直至气体源被耗尽)。当气 体流动通过气体流量试验台时，进行测试的计量表203可产生所述气 体的质量流量测量值。
在步骤406中，气体流量试验台被再次称重以便获得最终重量。 最终重量将包括进行测试后气体流量试验台中的最终气体量。初始重 量值与最终重量值的质量差包括通过气体流量试验台(和通过进行测
试的计量表203 )的质量流量。
在步骤407中，被确定的质量流量可被用于对进行测试的计量表 203进行校准.因此可将被确定的质量流量与来自进行测试的计量表203 的质量流量测量值进行比较，且可利用所述被确定的质量流量产生适 当的校准因子.校准因子是通过初始重量、最终重量和质量流量测量 值确定出来的。此外，如前所述，(具有不同成分的)多种气体可流 动通过进行测试的计量表203且可获得用于进行测试的计量表203的 多个校准因子。
权利要求
1、一种气体流量试验台(200)，所述气体流量试验台包括称重装置(210)；被放置在所述称重装置(210)上的进行测试的计量表(203)；被放置在所述称重装置(210)上的气体源(201)；和将所述气体源(201)与所述进行测试的计量表(203)连接起来的导管(205)；其中所述称重装置(210)产生了所述进行测试的计量表(203)、所述气体源(201)和所述导管(205)的重量测量值。
2、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200)，其中所述进 行测试的计量表(203 )包括科里奥利流量计。
3、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200 )，其中所述气 体源(201)包括一个或多个气体容器。
4、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200 )，其中所述气 体源(201)包括两个或更多个气体容器且所述气体流量试验台(200 ) 进一步包括被联接至所述两个或更多个气体容器的歧管(302 )，其中 所述歧管(302 )将来自所述两个或更多个气体容器的气体流结合起来 并使其进入所述导管(205 )内。
5、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200)，其中所述气 体流量试验台(200)进一步包括热交换器(303 )。
6、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200 )，其中所述气 体流量试验台(200)进一步包括压力调节器(304 )。
7、 根据权利要求1所述的气体流量试验台(200 ),其中所述重 量测量值包括初始重量且包括最终重量，所述初始重量包括进行测试 前所述气体流量试验台(200)中的初始气体量，所述最终重量包括进 行所述测试后所述气体流量试验台(200)中的最终气体量。
8、 根据权利要求l所述的气体流量试验台(200 )，进一步包括 被放置在所述称重装置(210)上且被联接至所述进行测试的计量表(203 )的入口的入口阀(202 );和被放置在所述称重装置(210)上且被联接至所述进行测试的计量 表(203 )的出口的出口阀(204 );其中所述导管(205 )将所述气体源(201)、所述入口阀(202 )、 所述进行测试的计量表(203 )和所述出口阀(204 )连接起来。
9、 一种操作气体流量试验台的方法，所述方法包括 将气体源连接至所述气体流量试验台，且所述气体源被放置在称重装置上；将进行测试的计量表连接至所述气体流量试验台，且所述进行测 试的计量表被放置在所述称重装置上；在进行测试前对所述气体流量试验台和所述气体源进行称重以便 获得初始重量；在进行所述测试后对所述气体流量试验台和所述气体源进行称重 以便获得最终重量。
10、 根据权利要求9所述的方法，其中所述进行测试的计量表包 括科里奥利流量计。
11、 根据权利要求9所述的方法，其中所述气体源包括一个或多 个气体容器.
12、 根据权利要求9所述的方法，其中所述气体源包括两个或更 多个气体容器且所述气体流量试验台进一步包括被联接至所述两个或 更多个气体容器的歧管，其中所述歧管将来自所述两个或更多个气体 容器的气体流结合起来并使其进入所述气体流量试验台的导管内，
13、 根据权利要求9所述的方法，进一步包括在所述测试过程中 在所述气体流量试验台中实施热补偿。
14、 根据权利要求9所述的方法，进一步包括在所述气体流量试 验台中实施压力调节。
15、 根据权利要求9所述的方法，其中所述初始重量包括进行所 述测试前所述气体流量试验台中的初始气体量，且所述最终重量包括 进行所述测试后所述气体流量试验台中的最终气体量。
16、 根据权利要求9所述的方法，进一步包括由所述初始重量和 所述最终重量确定校准因子。
17、 根据权利要求16所述的方法，进一步包括在所述测试过程中 在所述进行测试的计量表中实施质量流量测量，且校准因子是由所述 初始重量、所述最终重量和所述质量流量测量值确定出来的。
18、 根据权利要求9所述的方法，进一步包括在进行所述测试前 利用来自所述气体源的气体对所述流量试验台进行加压。
19、 一种形成气体流量试验台的方法，所述方法包括 提供称重装置；提供被放置在所述称重装置上的进行测试的计量表； 提供被放置在所述称重装置上的气体源；并且 提供将所述气体源与所述进行测试的计量表连接起来的导管； 其中所述称重装置产生了所述进行测试的计量表、所述气体源和 所述导管的重量测量值。
20、 根据权利要求19所述的方法，其中提供所述进行测试的计量 表进一 步包括提供科里奥利流量计.
21、 根据权利要求19所述的方法，其中提供所述气体源进一步包 括提供一个或多个气体容器.
22、 根据权利要求19所述的方法，其中提供所述气体源进一步包 括提供两个或更多个气体容器和提供被联接至所述两个或更多个气体 容器的歧管，其中所述歧管将来自所述两个或更多个气体容器的气体 流结合起来并使其进入所述导管内.
23、 根据权利要求19所述的方法，进一步包括在所述导管中设置 热交换器。
24、 根据权利要求19所述的方法，进一步包括在所述导管中设置 压力调节器。
25、 根据权利要求19所述的方法，其中所述重量测量值包括初始 重量且包括最终重量，所述初始重量包括进行测试前所述气体流量试 验台中的初始气体量，所述最终重量包括进行所述测试后所述气体流 量试验台中的最终气体量。
26、 根据权利要求19所述的方法，进一步包括 提供被放置在所述称重装置上且被联接至所述进行测试的计量表的出口的出口阀；提供被放置在所述称重装置上且被联接至所述进行测试的计量表 的入口的入口阀；其中所述导管将所述气体源、所述入口阀、所述进行测试的计量 表和所述出口阀连接起来，且其中所述称重装置产生了所述进行测试 的计量表、所述入口阀、所述出口阀、所述气体源和所述导管的重量 测量值。
全文摘要
根据本发明的实施例，提供了一种气体流量试验台(200)。所述气体流量试验台(200)包括称重装置(210)和被放置在所述称重装置(210)上的进行测试的计量表(203)。所述气体流量试验台(200)进一步包括被放置在所述称重装置(210)上的气体源(201)和将所述气体源(201)与所述进行测试的计量表(203)连接起来的导管(205)。所述称重装置(210)产生了所述进行测试的计量表(203)、所述气体源(201)和所述导管(205)的重量测量值。
文档编号G01F25/00GK101099078SQ200580046379
公开日2008年1月2日 申请日期2005年1月12日 优先权日2005年1月12日
发明者D·M·斯坦迪福德 申请人:微动公司