专利名称：驱动单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种驱动单元。例如，本发明涉及一种沿被测物体表面移动检测器的驱动单元，检测器测量诸如被测物体的表面粗糙度、表面起伏、轮廓等表面特性。
背景技术：
例如，作为沿着被测物体表面移动测量被测物体的表面粗糙度、表面起伏、轮廓等的检测器的驱动单元，已知的是JP-A-2001-133249的驱动单元，JP-A-2002-71346的表面特性测量仪等。
JP-A-2001-133249的驱动单元被配置成包括具有向下取向的基本上呈U形剖面的导轨，带有两个参考面，所述两个参考面被设置成平行于检测器的移动方向，其间的角度是90度；同样具有向下取向的基本上呈U形剖面的滑块，该滑块安装到导轨的外侧以便可以自由地摆动，并且将检测器保持在导轨上；用于沿导轨移动滑块的驱动装置。所述驱动装置被配置成包括马达；由马达旋转的进给丝杠；以及拧到进给丝杠并连接到滑块的进给件。其中，进给丝杠设置在滑块上方的位置上以平行于导轨。
JP-A-2002-71346的表面特性测量仪被配置成包括引导件；在剖面上形成为矩形框架以将所述引导件包括在其中的滑块，该滑块安装在引导件的外侧从而可以自由地滑动，并将检测器保持在底面上；以及用于沿导轨移动滑块的驱动装置。所述驱动装置被配置成包括马达；由马达旋转的滚珠丝杠(ball screw)；以及拧装于滚珠丝杠并连接到滑块的螺母。其中，所述滚珠丝杠设置在滑块上方的位置以平行于导轨。
发明内容
本发明所要解决的问题在上述JP-A-2001-133249的驱动单元和JP-A-2002-71346的表面特性测量仪中，用于移动滑块的进给丝杠和滚珠丝杠设置在滑块上方的位置，所述滑块由导轨(或引导件)支撑从而可以自由地滑动，即，进给丝杠和滚珠丝杠设置在偏离开滑块重心的位置处。因此，力矩施加于滑块，因此易于导致滑块相对于导轨(或引导件)改变姿态。一旦滑块的姿态改变了，就会在测量表面粗糙度、表面起伏、轮廓等时出现测量偏差。结果，会出现无法用高精度进行测量操作的缺点。
本发明的目的在于提供一种驱动单元，即使所述检测器移动，该驱动单元也能确保以高精度进行测量操作同时抑制检测器发生的任何可能的姿态改变。
根据本发明，提供了一种驱动单元，沿被测物体的表面移动检测器，其包括框架；设置于所述框架的导轨，所述导轨在外侧上设置有平行于检测器的移动方向、其间具有预定角度的两个导引面；设置成可沿所述导轨自由滑动并且托持所述检测器的滑块；用于朝向所述导轨的导引面偏压所述滑块的偏压装置；以及用于沿所述导轨移动所述滑块的驱动装置。其特征在于，所述滑块设置有与所述两个导引面相对的两个滑动面，并且形成得具有在其中纳放所述导轨的形状，以及所述驱动装置包括马达、由马达驱动的进给丝杠以及拧装于进给丝杠并连接于滑块的螺母件，且所述进给丝杠设置在所述导轨的内侧和所述滑块之内。
其中，滑块表述为形成得具有其中容纳导轨装置的形状，当导轨沿垂直于纵向的方向被切开时，其不仅包括围绕导轨剖面轮廓的形状，而且包括覆盖其大部分剖面轮廓的形状。而且，进给丝杠不限于滚珠丝杠，而是还包括通过沿着外缘表面设置标称螺纹而形成的螺杆。
以这种结构，当所述驱动装置的马达被驱动时，响应于进给丝杠的旋转，所述螺母件沿进给丝杠的轴向移动。因此，所述滑块沿导轨移动。即，连接到滑块的检测器沿被测物体表面移动，结果，被测物体的表面特性可以由检测器检测到。
根据这一发明，由于进给丝杠被设置在导轨的内侧和滑块的内部的结构，与传统相比产生于滑块的力矩可以被进一步抑制。因此，即使检测器被移动，检测器发生的任何可能的姿态改变可以被压制到尽可能的小，从而确保高精度测量操作。
还有，导轨形成有两个平行于检测器运动方向的导引面，这两个导引面被设置成在其间形成预定的角度。滑块形成有两个滑动面，它们对置于两个导引面。因此，在垂直于这两个导引面和滑动面的方向上，例如上和下以及左和右的四个方向，观察到的任何姿态改变可以被抑制到尽可能的小。因此，即使通过改变检测器的姿态进行测量，可以确保平直度精度同时滑块的姿态改变受到抑制，从而可以精确进行测量操作。
利用本发明的驱动单元，优选地，所述导轨在剖面上呈水平取向的大致U形。所述滑块在剖面上形成为其中容纳导轨的矩形框架的结构，端面呈矩形的所述框架的四个内表面被设置于导轨从而可以自由地滑动。进给丝杠被设置在导轨和滑块的四个滑动面的大致中心附近。
根据这一发明，导轨的端面矩形框架的四个内表面被设置成可以自由地滑动，以及进给丝杠设置在导轨和滑块的四个滑动面的大致中心附近。因此，产生于滑块的力矩可以被消除，结果，发生于检测器的任何姿态改变可以更肯定地被抑制。
利用本发明的驱动单元，优选地，所述偏压部件被配置成包括一端固定于滑块的片簧；由片簧另一端保持并且抵靠导轨的滑动件；以及设置在与滑动件相对一侧上的偏压力调整机构，其间有片簧，用于在滑动件抵靠导轨的方向上施加偏压，且可以调整偏压力，并设置在与滑块的两个滑动面的每个面相对的侧表面上。
根据这一发明，通过固定于滑块的片簧使滑动件抵靠导轨，所述滑块以这样一种方式被偏压，即滑块的两个滑动面顺随导轨的两个导引面，从而使得滑块以导轨的两个导引面为基准移动。因此，精确地保障两个导引面的平直度相应地保证了滑块的即检测器的平直度精度。
还有，所述结构包括可以调整偏压力的偏压力调整机构，该偏压力在抵靠导轨的方向上偏压滑动件。因此，通过偏压力的调整，滑动件抵靠导轨的的压力可以被任意地设置。这里，滑动件可以由诸如Teflon(商标)等低摩擦系数的材料制成。以这一情况，即使滑块由包括片簧和滑动件的偏压装置朝向导轨被偏压，产生在抵靠导轨的滑动件的表面和导轨之间的摩擦力不会太高。因此，可使滑块平稳地沿导轨滑动。
利用本发明的驱动单元，滑块和螺母件优选地经由万向接头连接在一起，该万向接头允许螺母件在进给丝杠的轴垂直方向上有小的位移。
根据这一发明，滑块和螺母件优选地经由万向接头连接在一起，该万向接头允许螺母件在进给丝杠的轴垂直方向上有小的位移。采用这种结构，进给丝杠摆转造成的影响可以由万向接头吸收而不传递到滑块。同样就此而言，可以确保滑块的平直度精度。
利用本发明的驱动单元，所述检测器优选地设置有检测器主体；由检测器主体支撑从而可以自由摆动的测头，从测头的端部以大致90度伸出探测针；以及检测该测头的任何摆动运动的检测部。还优选的是，包括围绕基本上平行于检测器移动方向的轴线旋转检测器的检测器旋转机构。
根据这一发明，检测器旋转机构被设置用于围绕基本上平行于检测器移动方向的轴线旋转检测器，从而使得探测针可以根据被测物体的测量部分改变取向。例如，所述探测针可以改变为向下取向，侧向取向，斜角向下取向等。因此，这使得在孔的内径表面的任意位置处的粗糙度测量、垂直端面的粗糙度测量、垂直面之间的尺寸测量等成为可能。
图1是本发明实施例的表面粗糙度测量仪的透视图；图2是所述实施例的检测器旋转单元的示意图；图3是所述实施例的X轴驱动单元的透视图；图4是所述实施例的X轴驱动单元的垂直剖面视图；图5是示出在所述实施例的X轴驱动单元中使用的偏压装置的视图；图6是示出所述实施例的控制单元的框图；图7是示出所述实施例中对孔的内表面进行测量的示例的视图；图8是示出实施例中对曲轴的两个凸缘之间的宽度尺寸进行测量的示例的视图；图9是导轨和滑块的示例性改进的剖视图；图10是检测器旋转单元的示例性改进的示意图；图11是检测器旋转单元的另一示例性改进的示意图。
附图标记的说明3…X轴驱动单元4…检测器旋转单元(检测器旋转机构)5…粗糙度检测器(检测器)5A…检测器主体5B…探测针
5C…测头5D…检测部21…框架22…导轨23A，23B…导引面24…滑块25A，25B…滑动面26A至26D…滑动件31…偏压装置32…片簧36…偏压力调整机构41…驱动装置42…马达47…滚珠丝杠(进给丝杠)48…螺母件51…万向接头具体实施方式
下面，参考附图详细叙述本发明的实施例。
图1(整体结构)的说明图1是本发明实施例的表面粗糙度测量仪的透视图。该表面粗糙度测量仪构作成包括基座1，设置成直立在基座1上的支柱2，设置在支柱2上、可在垂直方向上移动的X轴驱动单元3，作为检测器旋转机构、由X轴驱动单元3沿垂直于支柱2的方向(X轴方向)使之移动的检测器旋转单元4，由检测器旋转单元4使之绕X轴线旋转的粗糙度检测器5。
图2(检测器旋转单元)的说明图2是示出检测器旋转单元4的示意图。该检测器旋转单元4构作成包括由X轴驱动单元3使之沿X轴向移动的壳体10；固定在壳体10内的马达11；经由轴承12支承在壳体10内的转轴14，可在与马达11的输出轴11A相同的轴线上旋转并在其端部保持粗糙度检测器5；将转轴14和马达11的输出轴11A连接在一起的轴接头15；以及检测转轴14(粗糙度检测器5)的转角位置的角度检测传感器16。
上述角度检测传感器16构作成包括固定在转轴14上且沿外边缘具有以等间隔设置的透孔的转盘17，以及包括发光元件和光接收元件的检测头18，发光元件和光接收元件彼此相对设置，而转盘17设置在其间。
粗糙度检测器5构作成包括检测器主体5A；由检测器主体5A支承且可自由摆动的测头5C，探测针5B从测头5C端部以大致90度凸伸出；以及检测测头5C的任何摆动的检测部5D。
图3、4和5(X轴驱动单元)的说明图3是X轴驱动单元3的透视图。X轴驱动单元3构作成包括沿支柱2设置、可在垂直方向(参考图2)移动的壳体20；固定在壳体20内的框架21；两端均由框架21支承的导轨22；沿导轨22设置、可以自由摆动且保持检测器旋转单元4的滑块24；用于沿滑块24的滑动面抵靠导轨22的导引面的方向偏压滑块24的偏压装置31；以及用于沿导轨22移动滑块24的驱动装置41。
导轨22形成得在剖面上具有水平取向的U形，带有两个导引面，两个导引面被设置成其间形成预定的角度，且均平行于粗糙度检测器5的移动方向。具体而言，如图4所示，导轨形成得具有水平取向的U形截面，具有上壁22A、从上壁22A的端部与之一体地成90度向下延伸的侧壁22B、以及从侧壁22B的下端沿水平方向延伸的下壁22D，下壁22D平行于上壁22A并与其构成一体。上壁22A的外侧面形成第一导引面23A，而侧壁22B的外侧面形成第二导引面23B。第一导引面23A和第二导引面23B确保有平直度精度。
滑块24形成矩形框架的截面，其中包括导轨22。更具体地，如图4所示，滑块构造成在剖面上于垂直方向较长的矩形框架，包括上壁24A、侧壁24B和24C以及下壁24D。上壁24A和侧壁24B的内表面分别形成有两个与导轨22的两个导引面23A和23B相对的滑动面，即第一滑动面25A和第二滑动面25B。
在滑块24的内表面，即上壁24A、侧壁24B和24C以及下壁24D的内表面和导轨22的外表面，即上壁22A、侧壁22B以及下壁22D的外表面之间，分别设置有滑动件26A、26B、26C和26D。这里，在滑块24的上壁24A的内表面和导轨22的上壁22A的外表面之间，滑动件26A在宽度方向设置在中心处。在滑块24的下壁24D的内表面和导轨22的下壁22D的外表面之间，滑动件26D在宽度方向设置在中心处。在滑块24侧壁24B的内表面和导轨22侧壁22B的外表面之间，滑动件26B设置在另一个滑动件26B上方。在滑块24的侧壁24C的内表面和导轨22的上壁22A的端面之间，设置有滑动件26C，而在滑块24的侧壁24C的内表面和下壁22D的端面之间，设置有另一滑动件26C。
偏压装置31设置于与滑块24的两个滑动面26A和26B相对的表面，即下壁24D和侧壁24C。如图5所示，各偏压装置31构作成包括片簧32，片簧32的一端固定于滑块24，滑动件26C和26D经由摆动机构33设置于片簧32另一端；以及设置在与滑动件26C和26D相对的一侧上的偏压力调节机构36，片簧32位于偏压力调节机构36与滑动件26C和26D之间，偏压力调节机构36沿使滑动件26C和26D抵靠导轨22的方向偏压该片簧32，而且可以调节偏压力。
摆动机构33设置在片簧32和滑动件26C和26D之间，并包括两个在它们的彼此相对的内表面中间处形成有锥形槽的板34A和34B，以及容纳在两个板34A和34B的锥形槽内的钢珠35。
偏压力调节机构36包括固定到滑块24上的装接件37，拧到装接件37上的调节螺钉38和设置在调节螺钉38内的弹簧39。
驱动装置41包括固定于框架21、与导轨22平行的马达42；固定于框架21、平行于导轨22的滚珠丝杠47，滚珠丝杠47用作经由旋转传动机构43传动马达42旋转的进给滚珠丝杠；以及拧在滚珠丝杠47上且经由万向接头51和滑块24相连的螺母件48。
旋转传动机构43包括连接到马达42的输出轴42A上的滑轮44、固定到滚珠丝杠47一端上的滑轮45、以及由套绕在滑轮44和45之间的带46所构成的带传动机构。注意的是，这里的旋转传动机构43并不限于此种带传动机构，还可以是齿轮传动机构、链传动机构等。
滚珠丝杠47设置在滑块24和导轨22的四个滑动面(滑块24上壁24A的内表面，其下壁24D的内表面以及其侧壁24B和24C的内表面)的大致中心附近。具体地说，滚珠丝杠47设置在导轨22的水平取向的U形内部空间内的大致中心处。
万向接头51构造成允许螺母件48在滚珠丝杠47的轴垂直方向上产生小的位移，并包括接头主体和两个线性衬套(linear bush)。
线性衬套设置有主轴，以及可沿主轴自由平稳地滑动的滑动体。
首先，第一主轴在垂直于滚珠丝杠47的水平方向上固定于螺母件48，以及沿第一主轴滑动的第一滑动体固定于接头主体。采用这种结构，允许接头主体能够仅在水平方向上相对于螺母件48自由移动。
第二主轴在垂直于滚珠丝杠47的铅直向下方向上固定于接头主体，以及沿第二主轴滑动的第二滑动体固定于滑块24。采用这种结构，允许接头主体仅在铅垂直方向上相对于滑块24自由移动。
采用这种结构，相对于滑块24，螺母件48仅在垂直于滚珠丝杠47的铅直方向和水平方向上被赋予运动机动性。即，螺母件48变得在不围绕滚珠丝杠47旋转的情况下可以仅在滚珠丝杠47的轴垂直方向上自由地移位。因此，这使得能够沿导轨22移动滑块24，同时允许滚珠丝杠47轴向方向上的平直度所导致的螺母件48的摆转，因此使得滑块24高精度地直线移动。
需要指出的是，滑动件可以构作成除滚珠丝杠47的轴垂直表面(Y-Z平面)之外相对于主轴的轴向倾斜。这种结构可以吸收因螺母件48的摆转所导致的螺母件48在X-Y平面或X-Z平面中发生的任何姿态改变，因此允许滑块24高精度地直线移动。
图6(控制单元)的说明图6是控制单元的框图。控制单元61与在垂直方向上移动X轴驱动单元3的Z轴驱动单元6、X轴驱动单元3、检测器旋转单元4、粗糙度检测器5、输入单元7、显示单元8和存储单元9相连。
从输入单元7输入各种指令信息，包括测量项目选择指令、测量开始指令等。
显示单元8显示测量项目、测量结果等。
下面叙述本实施例的效果。
在测定被测物体的表面特性时，首先，被测物体利用工作台等放置在基座1上。在粗糙度检测器5的探测针5B接触被测物体表面之后，粗糙度检测器5沿着被测物体的表面移动。
具体而言，转动设置于X轴驱动单元3的马达42。响应于此，马达42的旋转力经由旋转传动机构43被传动到滚珠丝杠47。一旦滚珠丝杠47旋转，则拧装到滚珠丝杠47上的螺母件48向前或向后移动，从而使固定到螺母件48上的滑块24和粗糙度检测器5沿着导轨22向前或向后移动。一旦粗糙度检测器5沿着被测物体的表面移动，根据探测针5B(测头5C)观测的沿铅直方向上的任何位移，就可以检测被测物体的表面粗糙度等。
这里，为了改变测头5C的探测针5B的取向，从输入单元7发出有关探测针5B取向的指令。如此，设置于检测器旋转单元4的马达11旋转。如果该马达旋转，则转轴14也旋转，结果粗糙度检测器5旋转。转角检测传感器16检测粗糙度检测器5的转角，且所得到的转角信息被提供给控制单元61。当转角检测传感器16所提供的转角信息和先前输入的转角相同时，控制单元61就停止驱动马达11。以这种方式，测头5C的探测针5B就可以设定在任何指定取向上。
图7和8(测量实例)的说明通过根据被测物体的测量部改变测头5C的探测针5B的取向，可以连同向下测量实现下列测量。
图7示出了测量被测物体100的孔101的内表面的表面粗糙度的实例。在探测针5B向下取向的姿态下，对孔101内表面的底侧表面进行测量。利用探测针5B侧向取向的姿态，对孔101内表面的侧表面进行测量，而利用探测针5B向上取向的姿态，对孔101内表面的顶侧表面进行测量。
图8示出测量形成于曲轴102的两个凸缘103和104之间宽度尺寸W的实例。首先，利用探测针5B侧向取向的姿态，测量凸缘103的外表面。此后，旋转探测针5B，使之处于相反的侧向姿态，并测量另一凸缘104的外表面。以这种方式，可以测量两个凸缘103、104之间的宽度尺寸W。
根据如上所述的实施例，可以获得下列效果。
(1)在检测器旋转单元4绕测头5C的轴线旋转粗糙度检测器5的情况下，可以根据被测物体的测量部位来改变探测针5B的取向。例如，可以将探测针5B的取向改变为向下指向、侧向指向、向上指向、斜角向上或向下指向等。因此就会增加测量面积，从而可以对孔的内径面上的任意位置进行粗糙度测量。
(2)由于滚珠丝杆47设置在导轨22内侧和滑块24之内，用于驱动保持粗糙度检测器5的滑块24，所以相比现有技术可以进一步抑制产生于滑块24的力矩。因此，当粗糙度检测器5移动时，就可以将粗糙度检测器5的姿态变化抑制到尽可能最小，从而能够保证以高精度进行测量。
更具体的，导轨22呈水平取向基本为U形的截面，滑块24形成在剖面上为矩形框架，而滚珠丝杠47设置在导轨22和滑块24的四个滑动面的大致中心附近，即带有摩擦力地取向设置。以这种结构，就可以消除滑块24上产生的力矩，可以肯定地抑制粗糙度检测器5的姿态变化。
(3)导轨22形成有两个导引面23A和23B，它们被设置成在其间形成预定的角度，两个导引面均平行于粗糙度检测器5的移动方向。滑块24形成有两个滑动面25A和25B，它们相对于两个导引面23A和23B。因此，在垂直于这两个导引面23A和23B以及滑动面25A和25B的方向上，例如上下左右四个方向上观察的任何姿态变化，都可以抑制得尽可能地最小。因此，即使通过改变检测器5的姿态进行测量，也可以保证平直度精度，同时又可以抑制滑块24的姿态变化，从而精确地进行测量操作。
(4)各偏压装置31被设置于相对于滑块24的两个滑动面25A和25B的表面上。以这种结构，滑块24以这样一种方式受到偏压，使得滑块24的两个滑动面25A和25B顺随导轨22的两个导引面23A和23B，从而使滑块24以导轨22的两个导引面23A和23B为基准而运动。因此，精确地保证两个导引面23A和23B的平直度相应地确保了滑块24即粗糙度检测器5的平直度精确。
(5)偏压装置31包括一端固定在滑块24上的片簧32，片簧32另一端保持滑动件26C和26D；以及设置在滑动件26C和26D相对一侧的偏压力调节机构36，片簧32设置在调节机构与滑动件26C和26D，偏压力调节机构36可以调节作用在导轨22上的偏压力。以这种结构，通过调节所述偏压力调节机构36的偏压力，就可以任意设定滑动件26C和26D抵靠导轨22的压力。这样，通过合适地调节滑动件26C和26D抵靠导轨22的压力，可以使滑块24平稳地沿着导轨22滑动。
(6)滑块24和螺母件48通过万向接头51连在一起，允许螺母件48在垂直于滚珠丝杠47轴线的方向上的小位移。以这种结构，就可以通过万向接头51吸收由滚珠丝杠47的摆动旋转所造成的任何影响，且不会传递到滑块24上。因此，就可以保证滑块24平直度精度。
注意的是，本发明并不限于所述的实施例，设计用来实现本发明目的的各种修改和变化也可以包含在本发明中。
例如，在上述实施例中，导轨22形成得具有水平取向的大致U形的截面，而滑块24形成得剖面呈矩形的框架以在其中容纳导轨22。这肯定不是限制性的，下面的形状也是可行的。
图9(导轨和滑块形状)的说明图9示出导轨22形成得在剖面上具有L形，而滑块24形成得在剖面上具有向下取向的U形。
这种形状也带来与上述实施例相同的效果。
检测器旋转单元4的结构不限于参考图2所述的结构，而可以具有以下结构。
图10和11(检测器旋转单元的改进)的说明与图2的检测器旋转单元4相比，图10的检测器旋转单元4的不同之处仅在于，马达11的旋转经由两个传动齿轮13A和13B传递到旋转轴14。
与图10的检测器旋转单元4相比，图11的检测器旋转单元4的不同之处仅在于提供手柄19作为马达11的替代物。
在上述实施例的X轴驱动单元3中，滚珠丝杠47与马达42的轴线并列设置。这肯定不是限制性的，而是滚珠丝杠47和马达42的轴线可以串联设置。此外，驱动装置41可设置有减速器等以便调整粗糙度检测器5的移动速度。
工业实用性本发明可以应用于测量被测物体表面粗糙度的表面粗糙度测量仪、以及测量被测物体的表面起伏、轮廓等的轮廓测量仪，沿被测物体表面移动此种检测器的驱动单元。
权利要求
1.一种沿被测物体的表面移动检测器的驱动单元，包括框架；设置于所述框架的导轨，所述导轨在外侧上设置有平行于检测器的移动方向、其间具有预定角度的两个导引面；设置成可沿所述导轨自由滑动并且托持所述检测器的滑块；用于朝向所述导轨的导引面偏压所述滑块的偏压装置；以及用于沿所述导轨移动所述滑块的驱动装置，其特征在于，所述滑块设置有与所述两个导引面相对的两个滑动面，并且形成得具有在其中纳放所述导轨的形状，以及所述驱动装置包括马达、由马达驱动的进给丝杠以及拧装于进给丝杠并连接于滑块的螺母件，且所述进给丝杠设置在所述导轨的内侧和所述滑块之内。
2.根据权利要求1所述的驱动单元，其特征在于，所述导轨形成得在剖面上具有水平取向的基本呈U形的形状，所述滑块形成为在剖面上呈其中容放导轨的矩形框架，并且设置有形成端面矩形框架的四个内表面，以便能够相对于导轨自由地滑动，以及所述进给丝杠设置在导轨和滑块之间的四个滑动表面的大致中心附近。
3.根据权利要求2所述的驱动单元，其特征在于，所述偏压装置包括一端固定于所述滑块的片簧；由片簧另一端保持并抵靠导轨的滑动件；以及设置在滑动件相对侧上的偏压力调节机构，片簧设置在偏压力调节机构与滑动件，偏压力调节机构在滑动件抵靠导轨的方向上施加偏压，且可以调节偏压力，并且设置在与滑块的两个滑动表面中的每个滑动表面相对的侧表面上。
4.根据权利要求1至3中任何一项所述的驱动单元，其特征在于，所述滑块和螺母件经由万向接头连接在一起，万向接头允许螺母在垂直于进给丝杠轴线的方向上发生小的位移。
5.根据权利要求1至4中任何一项所述的驱动单元，其特征在于，所述检测器包括检测器主体；由检测器主体支撑以便可以自由摆动的测头，探测针在测头端部处以大致90度伸出；以及检测该测头的摆动运动的检测部，以及包括围绕基本上平行于检测器运动方向的轴线旋转检测器的检测器旋转机构。
全文摘要
本发明公开了一种即使在检测器移动时也能够确保高精度测量操作同时将检测器的姿态改变抑制到尽可能最小的驱动单元，包括设置于框架的、剖面呈水平取向的U形并且外侧平行于粗糙度检测器移动方向的导轨；可以沿导轨自由滑动的滑块，滑块构作成剖面上呈矩形从而在其中包括检测器的框架；将滑块偏压抵靠在导轨的偏压部件；以及沿导轨移动滑块的驱动装置。所述驱动单元被配置成包括马达、由马达驱动的滚珠丝杠以及拧到所述滚珠丝杠上并且连接到滑块的螺母件。滚珠丝杠设置在滑块的滑动表面即滑块的四个内表面的大致中心附近。
文档编号G01B21/20GK1841016SQ200610051468
公开日2006年10月4日 申请日期2006年2月28日 优先权日2005年3月4日
发明者滨伸行 申请人:三丰株式会社