专利名称：双热流计稳态法材料热导率测量方法
技术领域：
本发明属于材料导热性能测试技术领域，特别是涉及微电子塑封材料的热导 率测试。
背景技术：
材料的热传导行为在热能动力、冶金、化工、电子、建筑以及航空航天和生 物工程领域中都被广泛的关注，例如，在电子技术中的电子元器件和电子设备的 冷却、建筑工程中的釆暖通风、在化工工程中的温度控制等都需要知道材料的导 热性能，即需要测试材料的导热系数。目前材料导热性能测试方法有稳态法和瞬时法两种。具体根据不同的物理模 型又衍生出很多测试方法。稳态平板法是测量保温材料的导热系数的经典方法， 具有试样制作方便、原理清晰，可准确、直接地获得导热系数绝对值等优点，并 适于较宽温度范围，因而得到广泛的应用。然而经典稳态法存在测量时间长、热 流难于准确测试等问题，难以准确实现稳态过程。非稳态测量法是最近几十年内 开发出的导热系数测量方法，多用于研究高导热系数材料，或在高温条件下进行 测量。在瞬态法中，测量时样品的温度分布随时间变化， 一般通过测量这种温度 的变化来推算导热系数。动态法的特点是测量时间短、精确性高、对环境要求低， 但受测量方法的限制，多用于比热基本趋于常数的中、高温区导热系数的测量。中国专利93115076.0叙述了一种利用稳态法测试材料导热性能的实验装置， 该方法在测试样品侧面覆以已知面积和已知功率的加热盘作为热源，对加热盘进 行绝热处理以实现一维稳态热传导，样品另一侧面覆以受热盘，通过测量加热盘 和受热盘的温度，根据傅立叶热传导方程求得测试样品的热导率。该方法测试装 置简单，测试方便。但该方法以热源的全部已知功率作为测试样品接受热量，处 理方法过于粗略，没有考虑绝热材料的热损失。另外该方法未考虑加热盘和受热 盘与样品接触界面的热阻，这样又会使测得加热盘与受热盘之间的温度差变大。 中国专利86101542叙述了一种釆用双试样测量固体材料高温导热性能的方法，其 特点是位于双试样中间的主加热器和环状加热器作为热源，热流通过样品、均热 板、绝热层，最后通过水冷冷板散失，分别测量双试样上下表面的温度差，代入 傅立叶热传导方程计算求得材料的导热系数。该方法虽然采用水冷冷板强化热流 的一维传输，但仍然是釆用加热器的加热功率计量通过测试样品的热流量，没有 考虑样品侧面的热损失，同时也没有考虑加热器均热板与测试样品界面热阻。中国发明专利申请200310112520.3和200410015458.0分别叙述了采用新型氧 化铝/碳纳米管复合材料为绝热装置的测量材料导热性能的方法，它采用了热源、 第一热流计、待测样品、第二热流计、低温体按顺序排布并使其相互紧密贴合的 测试结构，即"三明治"型样品结构。该方法的核心是采用含有定向排布碳纳米 管的氧化铝复合材料作为绝热装置，提高了测试装置的绝热性能。通过位于样品 两侧的已知热导率的金属块计量通过测试样品的热流密度，并通过测量金属块内 不同位置的温度确定样品两侧的温度梯度，最后通过傅立叶公式计算获得待测材 料的热导率。然而，该方法在计算通过样品的热流密度时，假设测试装置已实现 一维稳态热传导，通过样品和位于样品上下表面的金属块的热流密度完全相等。 这样通过测量已知导热系数金属块中某一区段的温度梯度，利用傅立叶公式计算 获得通过样品的热流量。上述假设忽略了样品侧面的热流损失和样品与金属块之 间的接触热阻，由于铜的导热系数较大，在铜金属块内相邻位置测试的温度梯度 较小，因此所测得的通过样品的热流密度存在较大误差。另外，该方法中，热流 一维传导也缺乏定量判据，导热系数测试结果也为包含界面热阻在内的样品的有 效导热系数，并不是样品本身的导热系数
发明内容
本发明的目的在于克服现有稳态法测试材料导热性能的不足，提供一种更加 准确的测量方法。一种双热流计稳态法材料热导率测量方法，包括以下步骤(1) 、将热源、第一热流计、待测样品、第二热流计、低温体按顺序排布并使其相互紧密贴合；(2) 、利用隔热材料紧密贴合热源、低温体内侧，及第一热流计、待测样品、第二热流计四周，使热量按照步骤(1)的顺序传递；(3) 、在第一热流计、第二热流计分别设置3-6个温度感测点； 其特征在于该方法还包括以下步骤AT1(4) 、根据温度感测点测量数据，利用傅立叶公式Q= !义，力S^计算通过第一热流计的平均热流量g热流计,，通过第二热流计的平均热流量《热流计2 , 并计算通过第一热流计和第二热流计的总平均热流量g ，其中(5 )、当导热过程中流过第一热流计和第二热流计的热流量满足可按以下步骤进行材料热导率测量； (6 )、利用公式E^^ +平计算材料热导率，其中Ar为考虑界面层温度降在内的样品总温度降，AX为样品的厚度经测量已知，义true为待求的样品真实热导率，m为系统中界面层的个数已知，/z为界面层的热导； (7 )、步骤(6 )的公式中由于Ar 是Ax的函数，斜率和截距分别为m/Z ，因此利用同种材料不同厚度样品的热流测试作Ar/《与Ar的函数曲^10%这一条件时，则认为接近实现一维稳态热传导,
线，根据A779与Ax的函数曲线的斜率和截距确定样品的Atrue和h,其中《通过步骤(4)计算，Ax经测量已知，m已知，AT通过多点测温温度线形拟 合获得。上述第一热流计和第二热流计量可釆用两个①30x40mm的304不锈钢金属 圆柱体，每个不锈钢圆柱在固定间隔10mm位置上设置四个温度测温点；测试 样品尺寸为直径为30mm、厚度为K5mm的不同厚度的圆片状样品；上述双热流计稳态法材料热导率测量方法，特别适用于于测试热导范围为 1 10W/mK的固体材料的室温导热系数。尤其是微电子塑封材料，比如环氧模塑 材料。本发明在分析多层平板壁一维热传导的基础上，提出采用双热流计和不同厚 度样品进行热传导测量的方法，给出一维热传导的定量判据。釆用热流计中多点 测温，利用多层平板壁一维热传导公式计算获得平均热流密度，克服了热流密度 测量不准确的困难，并利用不同厚度样品测试数据进行线形拟合计算得到材料的 真实热导率和界面热导。此外，本发明不仅可以测试固体材料的导热系数，而且 可以测量薄膜材料的热导系数。
图l双热流计稳态法导热测试结构示意图。图2具有两个界面时(m=2)穿过热流计和样品的温度梯度示意图。 图3实验装置示意图。图4石英坡璃测试样品A77g与Ax数据的关系曲线。图5热流通过热流计和不同厚度石英坡璃样品的温度梯度曲线。图6聚苯乙烯测试样品A77《与Ax数据的关系曲线。图7热流通过热流计和不同厚度聚苯乙烯样品的温度梯度曲线。图8 45钢测试样品A77g与Ax数据的关系曲线。 图9热流通过热流计和不同厚度45钢样品的温度梯度曲线。 图中标号名称1-第一热流计，2-测试样品，3-温度梯度曲线，4-第二热流 计，5-加热器，6-水冷盒，7-螺栓压紧装置，8-温度测试及数据采集。
具体实施方式
一、以下结合附图对本发明特别是涉及的计算公式推导作详细说明根据多层平板一维稳态导热的热流密度计算公式，选用双热流计和样品构成 "三明治"多层平板结构。控制热流传输方向实现多层平板的一维稳态热传导模 式，在每个热流计内等间距选取几个温度测量点(以下推导过程中假设选取4个)， 测量热流通过热流计的温度梯度，据此计量流过热流计的热流密度。双热流计结 构示意图如图l所示。在图l中，通过第一热流计和通过第二热流计的热流量用q表示。7Vr8是八个 温度传感器在热流计中的温度釆集点，；c,-;c8是各个釆集点到样品的距离。在图2所示双热流计结构中，Ar为总的温度降，Ax为样品的厚度，h为界面层 的热导(假定两个界面热导相等)，；和c分别指代界面与试样。在图3中，样品在两个热流计中间，侧面外层为隔热套简，内层是PS泡沫塑 料，外层是PVC塑料管。在实施例中，图4、图6和图8的AT/q与Ax的关系曲线为不同厚度样品测 试结果的拟合曲线，通过拟合曲线可以确定样品的导热系数和界面热导；图5、 图7和图9为本测试装置达到稳态时，热流通过热流计和不同厚度测试样品的温 度梯度曲线，通过该温度梯度曲线可以计算确定样品上下表面的温度差AT。对于第一热流计，设导热系数为、，各测量点的温度为r,，:T2,r3，r4，各测量点距试样的距离为A,", X3，X4,则通过不同测量点位置的热流密度分别为g,，g2, 《3,《4，《5,《6: <formula>formula see original document page 9</formula>在一维稳态导热情况下，通过热流计内各温度测量点位置处热流密度应相 等，因此，第一热流计总的平均热流密度为<formula>formula see original document page 9</formula> 即:<formula>formula see original document page 9</formula> 同理，可以求出通过第二热流计内的平均热流密度的表达式为<formula>formula see original document page 9</formula>
这里/j指热电偶位置，<formula>formula see original document page 10</formula>分别为第一热流计和第二热流计在r:温度时的热导率。所以通过第一热流计和第二热流计的平均热流量可以写为<formula>formula see original document page 10</formula>当导热过程中流过第 一 热流计和第二热流计的热流量满足下列条件时，认为接近实现一维稳态热传导，笔者将其称为一维稳态热传导判定系数<formula>formula see original document page 10</formula>在推导上述关系时，假设各平板侧面紧密贴合，故而接触面两侧温度相同。 但在实际情况下两个接触的表面总是凸凹不平，很难达到紧密贴合。这样的表面 接触情况，就会在导热过程中存在着附加热阻，称为接触热阻。图2所示为稳 态条件下穿过热流计和样品的温度梯度示意图。假定不考虑侧面热损失，则通过 试样和其界面层的热流相等，所以<formula>formula see original document page 10</formula>
这里Aeff为试样的有效热导率，Ar为总的温度降，Ax为样品的厚度，h为界面层的热导(假定两个界面热导相等)，A^e为样品真实热导率，/和C分别指代界面与试样。试验中，总的温度降Ar是指穿过试样和界面的温降<formula>formula see original document page 10</formula> 这里w为系统中界面层的个数，将式(M)、式(15)代入式(16),可以得到<formula>formula see original document page 10</formula>
由式(17)可知A77《是AX的函数，斜率和截距分别为l"true和m/A。 Aue和/2 可以作图(采用同一材料不同厚度的试样测试数据)求出。根据不同厚度样品的热流测试作A77《与Ax的函数曲线。根据A77《与丛的函 数曲线的斜率和截距确定样品的导热系数。为了减少侧面热流损失，热流计和样 品侧面的采用厚度为20mm聚苯乙烯泡沫进行热防护，最外层采用PVC塑料管 包封。二、以下结合附图对本发明的装置及方法做进一步说明1、图3为该装置原理示意图，它包括(1) . 一个程序控温加热装置5。采用程序控温的板式加热装置对双热流计 和样品构成的"三明治"结构进行加热，加热功率稳定，而且可以设定加热最高温 度。热源与传热铜板之间有热电偶进行温度控制，通过传热铜板给第一热流计4 加热；(2) .两个热流计。采用导热性适中的两个304不锈钢金属圆柱体作为热流 计量的热流计。试样2介于两热流计1，4之间，界面处涂上导热硅脂，减小界面热 阻。每个热流计内在固定间隔(10mm)位置上设置四个温度测温点(Ti至Ts, PtlOO型热敏电阻，灵敏度0.1。C),测量达到稳态时通过不锈钢圆柱热流计的热 流所形成的温度梯度。(3) .两层热防护套简9， 10。热流计和样品侧面的侧面采用厚度为20mm的 聚苯乙烯泡沬材料9作为隔热层，最外层还釆用PVC塑料管10套住，起到第二次 热防护作用，同时便于测温传感器的安置。(4) . 一个冷却装置6。最上方安装循环水冷装置6，经过加压螺栓7压紧， 与加热装置共同作用保证热量输入和传输速率保持恒定。另外，建立强制冷却散 热效应，助于"三明治"结构测量装置内温度梯度的建立，提高测试的准确性。(5) . —个测试监控系统8。利用多点巡回检测仪XMD-2000A (测试精度0.1°C) 7釆集温度读数，并传输到电脑上采用自主编制的监控系统监控。不但可 以监测到八个温度采集点的温度值，而且可以观察到各个温度测试点加热过程中 温度升高的曲线变化情况。通常，在加热一段时间以后，温度变化在10分钟内 ±0.5°C以内认为传导达到 一维稳态。(6). —个数据处理计算软件系统。将采集的八个温度数据值输入自主开发 的测试软件中，得到试样上下表面温度差值与上下基板平均热流的比值。多次测 量不同厚度的试样，重复上述步骤，得到实验数据，对不同厚度样品的测试数据进行线形拟合获得直线斜率，利用公式E-! +苎计算材料导热率，其中AT9 A， /z为考虑界面层温度降在内的样品总温度降，AX为样品的厚度经测量已知，义加6为 待求的样品真实热导率，m为系统中界面层的个数已知，A为界面层的热导；由 此得到测试样品的真实导热系数。2、本发明的测试方法，包括下列步骤(1 ).检査计算机监控系统与多点数据釆集仪表8的数据线连接是否完好， 检查加热热源系统5与传热铜板之间的热电偶接触是否完好，检查冷水装置6的水 泵、水管是否完好。(2) .确定上述情况良好后，可接通计算机、多点数据采集仪表8电源。并 打开计算机上的监控软件，査看多点数据采集仪表(8)八个温度输入信号是否完 整传输。当通道T广T8中的温度在士0.5。C内波动时，说明仪表连接正常，可以进 行测试。(3) .在传热铜板(直径35mm)中心处涂上一层均匀的导热硅脂，然后把第一 热流计(4)(304不锈钢)放置于铜板中心处，通过导热硅脂连接，得到良好接触。(4) .利用千分尺对抛光处理过的待测样品2进行厚度测量三次，取平均数
值，得到样品厚度Ax。接着，在试样表面涂上导热硅脂。可以使用毛刷、小刀 片作为辅助工具。注意用海绵或软布轻轻擦拭掉因搡作不谨慎而涂在试样侧面的 少量硅脂。涂好之后，将试样2(直径30mm)放置在第一热流计(4)的上表面上，对 准中心位置。轻轻加上试样的辅助保护绝缘套。由上向下套住样品，注意不要移 动试样的位置。(5).然后在样品上面加上第二热流计(l),注意对准中心处压住试样。左 手按住上基体，右手取来冷却水系统(铜盘)放在上基体上方压住。左手不要松开， 右手通过加压螺栓(7)施加适当压力压紧装置。此时，检查热电偶插孔是否发生 松动。若有松动，要重新插入到最里端，否则无法准确釆集温度数据。(6) .接通冷却装置电源，水流开始循环流动。接通加热热源系统，设定温 度参数；打开监控系统，设定信号采集周期(建议取10秒)，新建测试记录，就可 进行测试。(7) .多次测量不同厚度的试样，重复上述步骤，得到实验直线，进而得到 直线斜率，由此得到测试样品的真实热导率。在实验装置中，采用两个①30x40mm的304不锈钢金属圆柱体作为热流计量 的热流计，304不锈钢在333K时的热导率为14.92W/m.K。每个不锈钢圆柱在固 定间隔(10mm)位置上设置四个温度测温点，PtlOO型热敏电阻(温度灵敏度 0.1°C)测量达到稳态时通过不锈钢圆柱热流计的热流所形成的温度梯度。直径 为30mm、不同厚度的圆片状样品放入两个热流计之间进行导热热流的测试，根 据不同厚度样品的热流测试作AT/q与Ax的函数曲线。根据AT/q与Ax的函数曲 线的斜率和截距确定样品的导热系数。为了减少侧面热流损失，热流计和样品侧 面的采用厚度为20mm聚苯乙烯泡沫进行热防护，最外层采用PVC塑料管包封。 采用程序控制的板式加热装置对双热流计和样品构成的"三明治"结构进行 加热，热流通过加热装置传给不锈钢圆柱热流计和样品。热流通过第一热流计和1
样品向位于上方的第二热流计传输时，分别在上下两个不锈钢圆柱热流计内产生 温度梯度。为进一步强化热流的一维流动，在不锈钢圆柱第二热流计上面放置循 环水冷装置，实现一维导热模式。同时，为保证热量传输过程保持稳定，要求热 源和冷却水流动速率必须保持恒定。另外，为了减少界面热阻对导热性能测试的 影响，在不锈钢圆柱热流计和样品两界面处涂上导热硅脂，整个测量系统采用螺 栓压紧，进一步提高测试精度和重复性。
利用多点温度检测仪采集Ptl00热敏电阻(灵敏度0.1°C )测量温度读数(T！ 到Ts)，并将测量温度数据传输到计算机上，采用自主编制的监控系统监控热流 计固定位置上温度传感器测量温度的变化。当10分钟内各测量点温度变化在 ±0.5°C以内，可以认为传导达到一维稳态。最后，将采集的八个温度数据值输 入自主开发的实验数据处理软件，便可计算出样品的导热系数。
三、以下结合具体实施方式
，对本发明的效果做进一步说明
该发明装置采用新型双热流计稳态法，基于多层平板一维稳态传导原理测量 材料导热性能，能够有效克服以往稳态法导热系数测量装置中存在的热流测量不 准确等不足。利用已知热物性数据的标准试样透明石英玻璃、45钢和聚苯乙烯 对装置进行检验，获得的导热系数数值与文献推荐值符合的很好。所发明的实验 装置能够准确地测得一定范围内(l Wm"K"<K0 Wm"K")固体试样的导热系 数，重复性好，可以满足实际工程材料导热系数测量的需要，对电子基板材料导 热性能研究提供一种重要手段。同时利用Visual C++6.0语言开发出能够运行于 Windows XP环境下的全自动测试和数据处理软件，提高了导热系数测试的自动 化程度装置，操作简单。
实施例一
用导热系数已知一组石英玻璃祥品，采用本发明导热性能测试装置测试样品 的导热性能。测试结果见表l。样品上下表面保持平行并经仔细研磨和抛光，同 时在样品上下表面分别涂以导热硅脂，减少界面热阻。测试样品放入上下两层热 流计量板之间，通过仪器顶部的加压螺栓施加压力(一般不大于0.7MPa)。表1测试样品和测试结果样品名称厚度 /mm(Km2kW")一维热传 导 判定系数^辨 /Wmf文献报道导热 率测试值1.1681.1149.4%2.2601.6965.2%石英坡璃3扁2.4723.6%1.471.424.1802.8841.0%5扁3.4697.1%6.1784.692.1%2.01511.98929.9%聚苯乙烯3.28217.77034.4%0.220.15~0.20(PS)4.26222.77564.1%5.74328.36268.1%1.9400.0418.7%.45钢3細0.0653.7%47.684.9980.1146.5%斗l . /7，0.1667.9%图4所示为石英坡璃测试样品A r/g与Ax数据的关系曲线，由图中曲线的斜 率求得石英玻璃的导热系数为1.47Wm"K—1,与文献报道测试数据1.42Wm"K—1 相比，实验测试值与文献报道值吻合的很好。图5到为本测试装置达到稳态时， 热流通过热流计和不同厚度测试样品的温度梯度曲线。由图可以看出，在位于样 品上下的第一热流计和第二热流计中的测温点测得的温度IVT4和T5-T8曲线近 乎于平行，两条直线的斜率基本相等。说明在第一热流计和第二热流计中的热流 密度基本相等，可以认为实验装置在测试工况条件下实现了一维稳态热传导模 式。实施例二用导热系数已知一组聚苯乙烯样品，采用本发明导热性能测试装置测试样品 的导热性能。测试结果见表l。图6所示为聚苯乙烯测试样品A77《与Ax数据的 关系曲线，由图中曲线的斜率求得聚苯乙烯的导热系数为(USWm^K-1,与文献 报道测试数据0.15 0.20Wm"K—!相比，实验测试值与文献报道值吻合的也很好。 图7到为本测试装置达到稳态时，热流通过热流计和不同厚度的测试样品的温度 梯度曲线。实施例三用导热系数已知一组含碳0.45%普通碳钢样品，采用本发明导热性能测试 装置测试样品的导热性能。测试结果见表L图8所示为45钢测试样品A77q与 Ax数据的关系曲线，由图中曲线的斜率求得45钢的导热系数为41.7Wm"K—1， 与文献报道测试数据47.68 Wm"K^相比，实验测试值与文献报道值吻合的也很 好。图7到为本测试装置达到稳态时，热流通过热流计和不同厚度的测试样品的 温度梯度曲线。惟以上所述，仅为本发明的一较佳实施例而已，并非用来限定本发明实施的 范围，但凡依本发明申请专利范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变 化与修饰，均应该包括于本发明的申请专利范围内。
权利要求
1、一种双热流计稳态法材料热导率测量方法，包括以下步骤(1)、将热源、第一热流计、待测样品、第二热流计、低温体按顺序排布并使其相互紧密贴合；(2)、利用隔热材料紧密贴合热源、低温体内侧，及第一热流计、待测样品、第二热流计四周，使热量按照步骤(1)的顺序传递；(3)、在第一热流计、第二热流计分别设置3-6个温度感测点；其特征在于该方法还包括以下步骤(4)、根据温度感测点测量数据，利用傅立叶公式<math-cwu><![CDATA[<math> <mrow><mi>Q</mi><mo>=</mo><mfrac> <mi>ΔT</mi> <mi>Δx</mi></mfrac><mi>λ</mi><mo>,</mo> </mrow></math>]]></math-cwu><!--img id="icf0001" file="A2007101326470002C1.gif" wi="78" he="38" img-content="drawing" img-format="tif"/-->分别计算通过第一热流计的平均热流量q热流计1，通过第二热流计的平均热流量q热流计2，并计算通过第一热流计和第二热流计的总平均热流量q，其中(5)、当导热过程中流过第一热流计和第二热流计的热流量满足这一条件时，则认为接近实现一维稳态热传导，可按以下步骤进行材料热导率测量；(6)、利用公式<math-cwu><![CDATA[<math> <mrow><mfrac> <mi>ΔT</mi> <mi>q</mi></mfrac><mo>=</mo><mfrac> <mi>Δx</mi> <msub><mi>λ</mi><mi>true</mi> </msub></mfrac><mo>+</mo><mfrac> <mi>m</mi> <mi>h</mi></mfrac> </mrow></math>]]></math-cwu><!--img id="icf0004" file="A2007101326470002C4.gif" wi="109" he="42" img-content="drawing" img-format="tif"/-->计算材料热导率，其中ΔT为考虑界面层温度降在内的样品总温度降，Δx为样品的厚度经测量已知，λtrue为待求的样品真实热导率，m为系统中界面层的个数已知，h为界面层的热导；(7)、步骤(6)的公式中由于ΔT/q是Δx的函数，斜率和截距分别为l/λtrue和m/h，因此利用同种材料不同厚度样品的热流测试作ΔT/q与Δx的函数曲线，根据ΔT/q与Δx的函数曲线的斜率和截距确定样品的λtrue和h，其中q通过步骤(4)计算，Δx经测量已知，m已知，ΔT通过多点测温温度线形拟合获得。
2、 根据权利要求1所述双热流计稳态法材料热导率测量方法，其特征在于所 述第一热流计和第二热流计量采用两个①30x40mm的304不锈钢金属圆柱体， 每个不锈钢圆柱在固定间隔10mm位置上设置四个温度测温点；测试样品尺寸 为直径为30mm、厚度为l一mm的不同厚度的圆片状样品。
3、 根据权利要求1或2所述双热流计稳态法材料热导率测量方法，其特征在于 该方法应用于测试热导范围为1 10W/mK的固体材料的室温导热系数。
4、 根据权利要求3所述双热流计稳态法材料热导率测量方法，其特征在于所 迷的面体材料指微电子塑封材料。
5、 根据权利要求4所述双热流计稳态法材料热导率测量方法，其特征在于所 述的微电子塑封材料指环氧树脂基陶瓷颗粒增强材料。
全文摘要
一种双热流计稳态法材料热导率测量方法，属于材料导热性能测试技术领域。本发明在分析多层平板壁一维热传导的基础上，提出采用双热流计和不同厚度样品进行热传导测量的方法，给出一维热传导的定量判据。采用热流计中多点测温，利用多层平板壁一维热传导公式计算获得平均热流密度，克服了热流密度测量不准确的困难，并利用不同厚度样品测试数据进行线形拟合计算得到材料的真实热导率和界面热阻。此外，本发明不仅可以测试固体材料的导热系数，而且可以测量薄膜材料的热导系数。
文档编号G01N25/18GK101126729SQ20071013264
公开日2008年2月20日 申请日期2007年9月18日 优先权日2007年9月18日
发明者洪 何, 傅仁利, 宋秀峰, 克 李, 源 沈, 鞠生宏 申请人:南京航空航天大学