插座、模块基板及使用其的检查系统的制作方法

专利名称：插座、模块基板及使用其的检查系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及安装有LSI(Large Scale Integrated Circuit:大规模集成电路) 或IC(Integrated Circuit:集成电路)等电子部件的模块基板、容纳模块基板 的插座、以及检查电子部件的系统。
背景技术：
近年来，数字电视等数字家电在一般家庭中逐渐普及。对于该数字家 电的普及来说，产品的高性能化以及多功能化是最为关键的。
通过高速进行数字信号处理，能使数字家电的性能进一步提高。通过 提高系统LSI的时钟频率、扩展数据总线宽度、以及采用DDR(double data rate:双倍数率)存储器等高速存储器这样的方法等，能实现数字信号处理 的高速化。
另外，为了增加数字家电的功能，需要使电路高集成化。例如，能利 用MCM(Multi Chip Module:多芯片模块)或SIP(System In Package:系统 组装)或POP(Package On Package)等技术，通过在一个封装内安装多个电 子部件来实现电路的高集成化。
可是，虽然经过电路的高集成化后能将多个功能装载到产品内，但为 了对各功能进行操作，所需的接口信号数量也增加了。因此，在封装外部 设置的外部端子数量也增加了。另外，随着放置到封装内的电子部件的数 量增加，这些检査用的外部端子的数量也增加了。该封装经由外部端子与 外部基板电连接，但由于外部端子的数量增加，从而导致封装大型化。另 外，安装有封装的数字家电的基板随着封装的大型化而大型化，而且数字 家电本身也变得大型化。
因此，例如，在专利文献1的IC封装中，在具有二层构造的引线基 板的第1层上设有下引线端子，在第2层上设有构成试验用端子的上引线 端子。在该结构中，设置在引线基板第2层的上引线端子不与电路基板连接。即，通过在引线基板的第2层上设置试验用端子，来减少在连接电路 基板的区域(引线基板第1层)内设置的端子数量。由此，考虑能够使ic封 装小型化。
另一方面，在出厂前检查封装内的电子部件时， 一般是在封装的装配 完成后再进行检查。为此，需要使封装能够与检查装置能拆卸地连接。因
此，例如，在专利文献2的插座中，在插座主体上具有与BGA封装下部 的焊球对置了的管脚触点(pin contact)和与该管脚触点对置了的插座触 点。这样，能认为能够拆卸BGA封装和基板。
但是，在专利文献1的IC封装结构中，为了设置试验用端子而需要 将引线基板制成2层构造。此时，设置成在作为电子部件的功能上不需要 的基板，从而增加了制造成本以及制造工序。
另外，由于试验用端子形成在第2层的引线基板上，所以连接试验用 端子和IC芯片的导线长度变长。此时，难以进行试验用端子和IC芯片之 间的阻抗匹配。由此，在IC芯片的检查时，在试验用端子或导线的端部 产生反射波，在检查用信号中产生波形失真。其结果，难以正确地检査IC 心片。
另夕卜，在组合了专利文献2的插座和所述专利文献1的IC封装时， 无法使试验用端子和管脚触点电连接。由此，因为无法连接检查装置和试 验用端子，所以不能检査IC封装内部的电子部件。
专利文献1:日本特开2000-68440号公报
专利文献2:日本特开平8-31532号公报

发明内容
本发明提供能够确实地进行电子部件检查、且能够防止制造成本增加 的小型模块基板、插座以及模块基板和检査系统。
根据本发明，由于当在模块基板上表面设置试验用端子时，能够使试 验用端子与检查装置电连接，所以能检查模块基板内部的电子部件。
插座具备盖，该盖的里面具有第一突起、和与里面的第一突起电连 接的第一端子；以及主体，该主体的上表面具有第二端子、里面具有与第 二端子电连接的第三端子，主体中容纳有电子部件，在用盖夹住进行固定的期间，使第一端子和第二端子电连接。
模块基板具备多个电路基板，其以上下方向叠层并分别具有布线图 案；电子部件，其安装在多个电路基板中的至少一个电路基板上，并与布 线图案电连接；第六端子，其设置在多个电路基板中最下部的电路基板的 下表面，并与布线图案电连接；以及第七端子，其被设置成在多个电路基
板中最上部的电路基板的上表面露出，并与布线图案电连接，第七端子是 电子部件的检査用端子，并且兼作用于叠层第二模块基板的连接端子。
检查系统具有插座；检查电子部件的检査装置；以及评价基板，其 将插座的第三端子和第五端子与检查装置电连接，传输检查信号。
检查系统具有插座；模块基板；检查电子部件的检査装置；以及评 价电子部件的评价基板，将插座的第一突起与模块基板的第七端子电连 接，将插座的第四端子与模块基板的第六端子电连接，将插座的第三端子 和第五端子与检查装置电连接，评价基板传输检查信号。


图1是表示实施方式1的模块基板的外观透视图。
图2A是用于说明模块基板的内部构造的图。
图2B是用于说明模块基板的内部构造的剖面图。
图3是示意地表示了在第1基板上形成的布线图案的图。
图4是用于说明插座的内部构造的剖面图。
图5A是表示插座的盖的概观上表面图。
图5B是表示插座的盖的概观里面图。
图6A是表示插座主体的概观上表面图。
图6B是表示插座主体的概观里面图。
图7是将本发明实施方式1的模块基板安装到外部基板上并使电视接 收机产品化时的一部分分解安装图。
图8是在实施方式1的插座中容纳本发明实施方式1的模块基板、在 评价基板上安装插座并与检査装置连接时的检査系统的一部分分解安装 图。
图9是表示实施方式2的模块基板的外观透视图。图10A是用于说明模块基板的内部构造的图。
图10B是用于说明模块基板的内部构造的剖面图。
图11是示意地表示了在与模块基板叠层了的模块基板上形成的布线 图案的图。
图中11_第1电路基板，12 —第2电路基板，21—第1复合板
(composite sheet) ， 41、 42、 241、 242、 243、 244 —检查用端子，43、 343 —焊球，102、 233、 234—模块基板，111、 112、 113、 114、 115、 116 一布线图案，410 —第1检査部，411、 412、 421、 422 —通孔，420 —第2 检查部，500 —布线基板，501—插座，502 —盖，503、 517—雄端子，504、 506 —管脚触点，505、 507—布线，508 —支撑板，509、 520 —保持板，510 一主体，511、 515 —雌端子，512、 514、 516 —焊球，513 —接触端子，527 一成型部，518 —贯通孔，519 —孔部。
具体实施例方式
以下，参照附图对用于实施本发明的最佳实施方式进行说明。 (实施方式1)
以下，参照附图对本发明的实施方式l进行说明。 图1是表示实施方式1的模块基板的外观透视图。另外，在图1中， 为了明确位置关系，而标注表示相互正交的X方向、Y方向及Z方向的箭 头。X方向和Y方向在水平面内相互正交，Z方向相当于垂直方向。另夕卜， 在后述的图2A、图2B、图4、图5A、图5B、图6A、图6B中也同样标 注表示X方向、Y方向及Z方向的箭头。
如图1所示，实施方式1的模块基板102具有顺次叠层着第1电路基 板ll(以下，简记为"第1基板11")、第1复合板21、第2电路基板12(以 下，简记为"第2基板12")的构造。在第2基板12的上表面上形成有密 封层即铸型部61。另外，第l基板ll、第2基板12能分别是多层基板， 也能分别是单层基板。另外，作为第1复合板21能采用包含环氧树脂的 粘合板。例如，能采用预浸料(prepreg)。第1复合板21具有绝缘层的 作用。
在沿着第2基板12上表面的Y方向两边的规定区域内设有第1检查
7部410以及第2检査部420。在第1检查部410和第2检查部420上分别 矩阵状地配置有多个检查用端子41和多个检査用端子42。
检査用端子41、 42如后所述经由布线图案与安装到第1基板11上的 LSI等电子部件电连接。作为检査用端子41、 42例如能采用焊接点(land) 或通孔(via)。检查用端子41、 42经由后述的插座501与检查装置603 连接。
在第1基板11的下表面上形成有多个焊球43。各焊球43与安装在第 l基板ll上的电子部件电连接。
模块基板102通过采用焊球43进行焊接来安装到后述的外部基板201 上。由此，外部基板201和安装到模块基板102上的电子部件电连接。模 块基板102例如通过回流焊接法来安装到外部基板202上。
此外，详细内容在下面进行叙述，不过检査用端子41、 42不限于与 外部基板202连接，所以不需要利用回流焊接法来进行焊接。因此，检查 用端子41、 42只要具有能够接触到后述的插座501的管脚触点504、 506 的大小即可。在此情况下，能尽量减小各检查用端子41、 42，并且能够尽 量减小检查用端子41之间的间距及检查用端子42之间的间距。
因此，检査用端子41、 42的大小能充分小于焊球43的大小。另外， 检查用端子41之间的间距以及检査用端子42之间的间距能充分小于焊球 43之间的间距。例如，焊球43的大小约为650wm，检查用端子41、 42 的大小约为100um。例如，焊球43之间的间距为lmm，检查用端子41 之间的间距约为150 um。
在此情况下，能防止第一电路基板11或第2电路基板12大型化，从 而能够使模块基板102小型化。 '
作为模块基板102的实现形态考虑了LSI、 IC、 MCM或SIP等。
以下，对模块基板102的内部构造进行详细说明。
图2A是表示安装到模块基板102上的多个电子部件的XY平面上的 位置关系的图。图2B是模块基板102的剖面图。
如图2B所示，在第1复合板21的中央部形成有上下贯通的空间部 51。在空间部51内，将LSI(Large Scale Integrated Circuit)32、存储器33 以及存储器34安装到第1基板11上。存储器33、 34是作为LSI32的操作区域发挥功能的工作存储器。作为存储器33、 34，例如能采用DDR(dou bledata rate)存储器。此时，在LSI32与存储器33、 34之间，能传输400MHz
以上的高频信号。
另外，如图2B所示，在第2基板12中央部的规定区域形成有孔部 53。如图1及图2B所示，为了密封空间部51内以及孔部53而形成密封 层即铸型部61。由此，能保护LSI32以及存储器33、 34免受外部的影响， 能防止损伤和老化。铸型部61例如由树脂材料组成。
LSI32及存储器33、 34例如经由厚度为数ixm的粘接板(未图示)粘 接在第1基板11上。另夕卜，LSI32及存储器33、 34例如通过导线接合方 法或倒装片(flip chip)方法与第1基板11电连接。
通过采用导线接合方法或倒装片方法，能抑制LSI32、存储器33及存 储器34在第1基板11上的高度。由此，能够减小第1复合板21的厚度， 使模块基板102薄型化。
在图2A及图2B中，LSI32、存储器33及存储器34通过导线接合方 法与第1基板11上的布线图案电连接。
另外，作为LSI32及存储器33、 34,例如能采用以规定大小进行研磨 及刻模了的裸芯片(bare die)、或CSP(Chip Size Package:芯片尺寸封装)。 第1复合板21的厚度优选大于所述裸芯片或CSP的厚度，例如为50u m 800 ti m。
另外，虽然在图l中没有示出，但如图2B所示，在第l基板ll的下 表面和第2基板12的上表面以及下表面形成接地导体层701(以下，称为 "E(X701")。
在第1基板11的下表面中，在除了形成焊球43的区域以外的区域内 形成ECL701。在第2基板12的上表面中，在除了形成检査用端子41、 42的区域以及形成布线图案(未图示)的区域以外的区域内形成ECL701。 在第2基板12的下表面中，在除了形成后述的通孔411、 412、 421、 422 的区域以外的区域内形成ECL701。另外，ECL701为了不与焊球43、检 查用端子41、 42、布线图案以及通孔4U、 412、 421、 422接触，而优选 形成在尽可能宽的区域内。下面，对ECL701的效果进行叙述。
以下，参照图3，对LSI32及存储器33、 34和检査用端子41、 42之间的布线进行说明。
图3是示意地表示形成在第1基板11上的布线图案111 116的图。 另外，在图2中逐个有代表地示出了各个布线图案111 116，不过在实际
中布线图案111 116分别形成有多个。同样，在图2A和图2B中逐个有 代表地示出了后述的各个通孔411、 412、 421、 422，不过在实际中，通孔 411、 412、 421、 422分别形成有多个。
如图3所示，多个布线图案111的一端分别经由多个接合焊盘322(参 照图2A)和多个导线321(参照图2A)与LSI32的多个端子电连接。多个布 线图案111的另一端分别与多个布线图案112的中央部连接。
多个布线图案112的一端分别经由接合焊盘332(参照图2A)和导线 331(参照图2A)与存储器33的多个端子电连接。多个布线图案112的另一 端分别经由接合焊盘342(参照图2A)和导线341(参照图2A)与存储器34 的多个端子电连接。
如图3所示，多个布线图案113的一端分别经由在模块基板102(参照 图2B)的Y方向上的一边附近处形成的通孔411(参照图2B)与多个检査用 端子41电连接。另外，多个布线图案113的另一端分别与多个布线图案 112连接。这样，布线图案113是从布线图案112分支的短截线布线(stub wiring)。由此，将检査用端子41和布线图案111、 112电连接。
另外，多个布线图案114的一端分别经由在模块基板102(参照图2B) 的Y方向上的另一边附近处形成的通孔421(参照图2B)与多个检查用端子 42电连接。另外，多个布线图案114的另一端侧分别与多个布线图案112 连接。这样，布线图案114是从布线图案112分支的短截线布线。由此， 将检查用端子42和布线图案111、 112电连接。
多个布线图案115的一端分别经由接合焊盘322(参照图2A)和导线 321(图2A)与LSB2的多个端子电连接。多个布线图案115的另一端分别 经由接合焊盘332(参照图2A)和导线331(参照图2A)与存储器33的多个端 子电连接。
另夕卜，多个布线图案115分别经由在模块基板102(参照图2B)的Y方 向上的一边附近处形成的通孔412(参照图2B)与多个检查用端子41电连 接。由此，将检查用端子41和布线图案115电连接。
10多个布线图案116的一端分别经由接合焊盘322(参照图2A)和导线 321(参照图2A)与LSI32的多个端子电连接。多个布线图案116的另一端 分别经由接合焊盘342(图2A)和导线341(图2A)与存储器34的多个端子电 连接。
另外，多个布线图案116分别经由在模块基板102(参照图2B)的Y方 向上的另一边附近形成的通孔422(参照图2B)与多个检查用端子42电连 接。由此，将检查用端子42和布线图案116电连接。
通过所述结构，经由布线图案lll、 112从LSI32向存储器33、 34传 输地址信号及时钟信号。另外，经由布线图案115、 il6在LSI32和存储 器33、 34之间传输数据信号。
这里，布线图案lll、 112、 115、 116是在功能上除了连接LSI32和 存储器33、 34以外不再需要的布线。g卩，连接LSI32和存储器33、 34的 布线仅在传输各信号的布线图案111、 112、 115、 116中有充分的作用。 另外，布线图案111、 112、 115、 116通过第1复合板21、第2基板12 以及铸型部61与外部空气切断。即，LSI32、存储器33、 34和布线图案 111、 112、 115、 116被密封在模块基板102内。
但是，为了检查从LSI32向存储器33、 34传输的各个信号的波形和 图案，需要将后述的检查装置603与密封在模块基板102内的布线图案 111、 112、 115、 116连接。另外，为了检查LSI32及存储器33、 34的内 部电路，需要将检查信号从模块基板102外部的检查装置603向LSI32以 及存储器33、 34输入，并对照从LSI32及存储器33、 34输出的信号和期 待值。
因此，在实施方式1中如图2和图3所说明的，将检査用端子41和 布线图案lll、 112电连接。由此，能通过使检査装置603与检査用端子 41连接，来检査从LSI32向存储器33传输的地址信号以及时钟信号的波 形和图案。
另外，对检査用端子42和布线图案111、 112进行电连接。由此，能 通过使检查装置603与检査用端子42连接，来检查从LSI32向存储器34 传输的地址信号以及时钟信号的波形和图案。
另外，对检查用端子41和布线图案115进行电连接。由此，能通过
ii使检查装置603与检查用端子41连接，来检査在LSI32和存储器33之间 传输的数据信号的波形及图案。
另外，对检查用端子42和布线图案116进行电连接。由此，能通过 使检査装置603与检查用端子42连接，来检査在LSI32和存储器34之间 传输的数据信号的波形及图案。
另外，在检查LSI32及存储器33、 34的内部电路时，能通过连接检 查用端子41、 42和检查装置603，来对检查用端子41、 42输入检查信号， 并对照从检查用端子41、 42输出的信号和期待值。
另外，在实施方式l中，由LSI32输山的共用的地址信号及时钟信号 从布线图案111经过布线图案112以两个方向进行分支，并分别输入到存 储器33、 34。
在此情况下，例如在图3中，当从LSI32向存储器33、 34分别传输6 位的数据信号时，在各个存储器33、 34中分别向共用地址信号所指定的 存储区域存储6位的数据信号。因此，能针对存储器33、 34采用共用的 地址信号以及时钟信号来读写共计12位的数据信号。g卩，能将LSI32所 处理的数据信号的位数扩展至2倍。由此，能够采用低成本的存储器来提 高模块基板102的性能。
另外，在实施方式l中，与同一布线图案112连接的布线图案113和 布线图案114形成为相等的长度。另外，布线图案111与布线图案112的 中间位置连接。而且，通孔411和通孔421形成为相等的长度。因此，从 该连接位置到检査用端子41的布线长度与从该连接位置到检查用端子42 的布线长度相等。由此能防止在检查用端子41或检查用端子42上产生反 射波，能防止在布线图案的信号中产生波形失真。
针对连结的1组布线图案111、 112来说，原有的一个用于检査向各 布线图案111、 112传输的信号的检查用端子就足够了。但是，当从各布 线图案lll或各布线图案112中引出一个短截线布线、并将该短截线布线 与检査用端子连接时，在检査用端子上产生反射波，在信号中产生波形失 真。
因此，在实施方式l中，利用从各布线图案112分支的两个布线图案 113、 114，将两个检查用端子41、 42与连结的1组布线图案111、 112分别连接。另外，将从同一布线图案112分支的布线图案113的长度和布线 图案114的长度设定为相等。而且，布线图案111与布线图案112的中间 位置连接。由此，能防止在检査用端子41及检查用端子42上产生反射波。 其结果，能够防止在地址信号及时钟信号中产生波形失真。另外，布线图案113、 114也能不从布线图案112上分支，而从布线 图案lll分支。另外，与LSI32连接的存储器的数量不限于2个，也能并排连接3个 以上的存储器，也能是1个。在连接3个以上的存储器的情况下，能进一 步扩展由LSI32处理的数据信号的位数。在图3的结构中，与LSI32连接的布线图案以两个方向进行分支，不 过在存储器的数量为3个以上的情况下，能形成与LSI32连接的布线图案 以和存储器相同数量的方向进行分支这样的布线图案。在此情况下，当分支了的布线图案上分别连接有检査用端子时，与所述情况相同，优选形成 从分支点到各检查用端子的布线长相等的各布线图案。由此，能防止在各 检査用端子上产生反射波。另外，如上所述，在第l基板ll的下表面和第2基板12的上表面及 下表面中ECL701形成在尽可能宽的区域内。由此，能将LSI32、存储器 33、 34及与这些连接的布线图案111 116放置在ECL701之间。在此情 况下，能利用ECL701来防止从LSI32、存储器33、 34及布线图案111 116放射的高频噪音向模块基板102的外部泄露。另外，如上所述，能尽量减小各检查用端子41、 42的大小。在此情 况下，能防止从检查用端子41、 42向模块基板102的外部放射高频噪音。其结果是，能够防止高频噪音从模块基板102放射。由此，能防止电 子设备的误操作。图4是用于说明实施方式1的插座501内部构造的剖面图。图5A是 用于说明实施方式1的插座501的盖502的概观上表面图。图5B是用于 说明实施方式l的插座501的盖502的概观里面图。图6A是用于说明实 施方式1的插座501的主体510的概观上表面图。图6B是用于说明实施 方式l的插座501的主体510的概观里面图。如图4、图5A、图5B、图6A、图6B所示，实施方式1的插座501由盖502、主体510构成。模块基板102如图4所示被夹在盖502与主体 510之间的孔部519内以进行固定。盖502和主体510通过夹具(未图示) 来固定安装。盖502由布线基板500、多个雄端子503、 517、多个管脚触点504、 506、多个布线505、 507、保持板509、 520、支撑板508来构成。此外， 将雄端子503、 517统称为第一端子。雄端子503、 517是第一端子的一个 例子。另外，将管脚触点504、 506统称为第一突起。管脚触点504、 506 是第一突起的一个例子。主体5i0由成型部527、多个雌端子5U、 515、多个接触端子5B、 多个贯通孔518、多个焊球512、 514、 516、孔部519来构成。另外，将 雌端子511、 515统称为第二端子。雌端子511、 515是第二端子的一个例 子。将接触端子513统称为第四端子。接触端子513是第四端子的一个例 子。将贯通孔518统称为第三端子。贯通孔518是第三端子的一个例子。 将焊球512、 514、 516统称为第五端子。焊球512、 514、 516是第五端子 的一个例子。主体510由作为绝缘材料的成型部527形成。绝缘材料例如能考虑玻 璃环氧树脂等。多个接触端子513矩阵状地配置在主体510上表面侧的孔 部519的底面。多个接触端子513被配置为与模块基板102的全部焊球43 相对。由此，主体510的孔部519中容纳有模块基板102，在用盖502夹 住进行固定的期间，模块基板102的全部焊球43和接触端子513分别电 连接。从多个接触端子513的下侧向成型部527的里侧配置有多个贯通孔 518。全部的贯通孔518都配置为与全部的接触端子513相对。主体510 的孔部519中容纳有模块基板102，在用盖502夹住进行固定的期间，全 部的贯通孔518和全部的接触端子513分别电连接。多个焊球514被配置 在多个贯通孔518下侧的成型部527的里面。全部的焊球514被配置为与 全部的多个贯通孔518相对。全部的焊球514分别与全部的贯通孔518电 连接。多个焊球514矩阵状地配置在主体510的里面。此外，将焊球43 统称为第六端子。焊球43是第六端子的一个例子。因此，主体510的孔部519中容纳有模块基板102，在用盖502夹住 进行固定的期间，使模块基板102的全部焊球43和全部焊球514分别电连接。另外，在结果上，模块基板102的焊球43、多个接触端子513和焊 球514为相同的排列。盖502有由作为绝缘材料的布线基板500形成。绝缘材料能考虑是玻 璃环氧树脂等。另外，布线基板500具有导电性的布线层。布线层能考虑 在绝缘材料的表面上由铜薄膜等形成。在图4中示出了布线基板500具有 3层绝缘材料和3层布线层的例子。另外，布线层的数量不限于3层，1 层、2层或4层以上都可以。多个管脚触点504是矩阵状地配置在盖502里侧的突起。多个管脚触 点504被配置为与模块基板102的全部检查用端子42相对。由此，主体 510的孔部519中容纳有模块基板102，在用盖502夹住进行固定的期间， 模块基板102的全部检查用端子42和全部管脚触点504分别电连接。保 持板509由玻璃环氧树脂等绝缘材料形成。保持板509形成为包覆管脚触 点504仅剩其尖端。即，保持板509被管脚触点504贯穿且至少包覆盖502 的一部分。这样，能够防止在主体510的孔部519中容纳模块基板102并 用盖502夹住的状态下进行固定或拆卸时产生的应力所导致的管脚触点 504弯曲或折断这样的损害。另外，由于未包覆管脚触点504的尖端，所 以能保持与检査用端子42的电连接。多个雄端子503是矩阵状地配置在 盖502里侧的端子。多个雄端子503通过多个管脚触点504来配置在外侧。 多个雄端子503与全部的管脚触点504对应，来进行准备。另外，利用布 线505来电连接对应的全部雄端子503和全部管脚触点504。布线505采 用布线基板500的某个布线层来形成。在图5A和图5B中，代表性地示出了多个布线505中的3根，不过 实际上，在全部雄端子503和全部管脚触点504之间能分别通过布线505 来进行电连接。多个雌端子511是矩阵状地配置在主体510上表面侧的端子。多个雌 端子511被配置到成型部527的里侧。多个雌端子511被配置为与盖502 的全部多个雄端子503相对。主体510的全部雌端子511和盖502的全部 多个雄端子503被配置在主体510的孔部519的外侧。由此，主体510的 孔部519中容纳模块基板102，在用盖502夹住进行固定的期间，将主体 510的全部雌端子511和盖502的全部多个雄端子503分别电连接。多个焊球512是配置在多个雌端子511下侧的成型部527里面的端子。全部的 焊球512被配置为与全部的多个雌端子511相对。全部的焊球512分别与 全部的雌端子511电连接。因此，主体510的孔部519中容纳模块基板102，在用盖502夹住进 行固定的期间，模块基板102的全部检查用端子42和全部焊球512分别 电连接。即，通过采用本发明的插座501，能将在模块基板102上表面所 准备的检查用端子42的信号引出至模块基板102的里面。SP，在检查系 统中，能够将在模块基板102上表面所准备的检査用端子42的信号与焊 球43的信号同样地进行使用。其结果是，焊球512被配置到焊球514的这里，优选雄端子503的排列与对应的管脚触点504的排列相同。通 过使排列相同，能縮短全部布线505的布线长度且近似相等。通过縮短布 线长度、且使该长度相等，能减小各个检查用端子42的感应负载和电容 负载且使其相等。其结果是，能尽量抑制检査用端子42的信号的波形失 真并减小偏差，从而能够提高检查的精度。另外，优选雄端子503及雌端 子511的直径或间距大于管脚触点504的直径。管脚触点504的直径或间 距需要与检查用端子42的直径相一致，不过雄端子503及雌端子511不 需要这样。从而，能通过使雄端子503及雌端子511尽可能大于直径或间 距，来增加接触面积，这样能够提高盖502和主体510的连接强度。另外， 优选管脚触点504的直径或间距充分小于接触端子513的直径或间距。这 是为了能够使检查用端子41、 42之间的间距及检查用端子41、 42的直径 充分小于焊球43之间的间距、焊球43的直径。这样，能通过充分减小管 脚触点504的直径或间距，来减小所需的面积。另外，优选采用支撑板508来调整各连接部的核对状态。调整支撑板 508的厚度，以使主体510的孔部519中容纳模块基板102，在用盖502 夹住进行固定的期间，全部焊球43和全部接触端子513和全部贯通孔518、 以及全部检査用端子42和全部管脚触点504、以及全部雌端子511和全部 多个雄端子503电连接。在图4中示出了支撑板508的厚度为增厚的例子， 不过也能为变薄，以使布线基板500变薄。因为多个雄端子517、多个管脚触点506、多个布线507、保持板520、多个雌端子515、多个焊球516、检查用端子43与多个雄端子503、多个 管脚触点504、多个布线505、保持板509、多个雌端子511、多个焊球512、 检查用端子42相同，所以省略说明。
图7是将本发明实施方式1的模块基板102安装到外部基板201、将 外部基板201安装到接收机壳体204内时的电视接收机的一部分分解安装 图。该图例示了安装实施方式1的模块基板102、并且配置例如液晶显示 器或等离子显示器等显示器204D来实现电视接收机产品化的情况。另外， 图7是背面图，在图7的里侧即表面安装有显示器204D。在此情况下， 模块基板102是实现电视接收功能的模块。即，LSI32是具有输入电视信 号并输出影像信号及声音信号的解码功能的系统LSI。此外，还能构成为 将其他电视接收机例如机顶盒(set-top box)、便携型终端及PC中的模块 基板102安装到电视接收机内。另外，不限于电视接收机，还能是其他数 字家电产品。
在图7中，模块基板102被安装于外部基板201中，该外部基板201 中安装有针对各国及各地区的调谐器202、用于连接每个市场的CA模块 的插座205、以及输出数字声音信号或模拟声音信号和数字影像信号(包含 声音及影像的内容信号)的显示器接口 206。显示器接口 206是用于将模块 基板102所输出的影像信号以及声音信号连接到例如液晶显示器、等离子 显示器、CRT显示器等连接的显示器上的接口。该显示器接口 206能通过 对应于显示器侧的连接规格而不同的电路来实现。另外，声音信号被输出 至在显示器内或显示器外设置的扬声器(未图示)。在外部基板201上形成 有与模块基板102的多个焊球43的配置对应的多个焯接点，外部基板201 和模块基板102利用回流工序来物理连接且电连接。连接有模块基板102 的外部基板201在由支撑台207所支撑的电视显像机204的壳体中与电源 单元203和显示器驱动单元208 —起被装入。另外，显示器接口 206经由 显示器驱动电路208与显示器204D连接。
在图7中，用于电视接收机的模块基板102被安装到由绝缘体基板构 成的外部基板201的位置11A上，该外部基板201被安装到接收机壳体 204的位置201A内。
通过准备具有与模块基板102的焊球43对应的焊接点的外部基板201，能与模块基板102连接后制成电视接收机。
检查用端子41和检查用端子42是模块基板102的检査用端子，该端 子是电视接收功能所不需要的端子。在外部基板201上不准备与检查用端 子41和检查用端子42对应的焊接点。S卩，外部基板201能使安装模块基 板102所需要的面积减少检查用端子41和检査用端子42的部分。因此，
能够使电视接收机小型化。
此外，检査用端子41和检査用端子42是打开(OPEN)状态。这样 能够消除由于检査用端子41和检查用端子42与外部基板201连接所产生 的多余感应负载及电容负载。即，能够抑制在LSI32和存储器33、 34之 间传输的地址信号、时钟信号及数据信号的波形失真，能高速地进行操作。 因此，能够使电视接收机高性能化。
图8是实施方式1的检查系统的一部分分解安装图。在该检查系统中， 将实施方式1的模块基板102容纳于实施方式1的插座501中，将插座501 安装到评价基板601上。这样，评价基板601与检査基板602连接，检查 基板602与检查装置603连接。另外，图8中的模块基板102、插座50K 评价基板601、检查基板602是上表面图，检查装置603是外观透视图。
检查装置603是用于在制造模块基板102时筛选合格品及不合格品的 装置，即所谓的半导体测试仪。在制造模块基板102的制造商于制造工场 中的检査工序内具有该检查装置。例如，是LSI测试仪或存储器测试仪等。
检查装置603能通过与模块基板102的检查用端子41、 42连接，来 检查在模块基板102内部的LSI32和存储器33、 34之间传输的数据信号 的波形及图案。另外，当检查LSI32及存储器33、 34的内部电路时，能 从检查用端子41、 42输入检查信号，并对照从检查用端子41、 42输出的 信号和期待值。
在评价基板601中形成有与插座501的多个焊球512、 514、 516的配 置对应的多个焊接点，评价基板601和插座501利用回流工序物理连接且 电连接。在评价基板601的位置1A上准备与焊球514的配置对应的焊接 点，在评价基板601的位置1A的外侧且位置1B的内侧准备与焊球512、 516的配置对应的焊接点。另外，评价基板601能安装有4个插座501。 这是为了能够使4个模块基板102同时进行检査。插座501的安装数量仅是一个例子，不限于4个。
在图8中，用于电视接收机的模块基板102容纳于插座501内，该插 座501被安装到由绝缘体基板构成的评价基板601的位置1B上，该评价 基板601与检查基板602连接，且连接在检査装置603的位置1C上。评 价基板601是印制基板，在绝缘体上具有铜等导电体的布线层，能有采用 了布线层的布线。检查模块基板102所需的信号被布线成从和焊球512、 514、 516的配置对应的焊接点与安装到评价基板601里面的连接器(未图 示)进行电连接。评价基板601、检査基板602和检査装置603经由这些连 接器进行电连接。省略了关于连接器的说明是因为在实际的检查系统中评 价基板601和检查基板602与检查装置603是一体的且能够通过连接器来 进行拆卸。
通过设置由插座501、评价基板601、检查基板602、检查装置603 构成的检查系统，能将检査装置603与模块基板102连接，并对模块基板 102进行检查。
检查用端子41和检查用端子42是模块基板102的检査用端子，是检 査模块基板102所需的端子。但是，在模块基板102里面的焊球43上没 有准备检查用端子41和检查用端子42。在无需采用实施方式1的插座501 就能够将模块基板102安装到评价基板601上时，将模块基板102安装到 评价基板601的位置1A上。此时，因为检查用端子41和检査用端子42 已打开(OPEN)，所以无法与检查装置603电连接。另一方面，当采用 实施方式1的插座501、并将模块基板102容纳于插座501中时，检查用 端子41和检查用端子42经由插座501的管脚触点504、 506、布线505、 507、雄端子503、 517、雌端子511、 515与插座501里面的焊球512、 516 电连接。从而，将插座501安装到评价基板601的位置1B上，并容纳模 块基板102，由此不仅模块基板102的焊球43，检查用端子41、 42也能 够与检查装置603电连接。其结果是，能够使在模块基板102内部的LSI32 和存储器33、 34之间传输的数据信号的波形及图案的检查信号传输到检 查装置603以进行检査。另外，当检査LSI32及存储器33、 34的内部电 路时，能由检査装置603传输检查信号，从检査用端子41、 42输入检查 信号，并对照检查用端子41、 42所输出的信号和期待值。在实施方式1的模块基板102中，在第2基板12上设置有检査用端
子41、 42。
因为实施方式1的电视接收机的外部基板201不需要设置与检查用端 子41、 42对应的焊接点，所以能够使安装模块基板102所需要的面积减 少检查用端子41、 42的面积部分。另外，不需要为了形成检查用端子而 分别具有基板。因此，能够使模块基板102小型化。结果，能使电视接收 机小型化。
而且，检查用端子41和检査用端子42不与外部基板201连接、且处 于打开(OPEN)状态。从而能够消除由于与外部基板201连接而产生的 附加的多余感应负载及电容负载。即，能够抑制在LSI32与存储器33、 34 之间传输的地址信号、时钟信号及数据信号的波形失真，并能够高速地进 行操作。结果，能使电视接收机高性能化。
另外，在使用实施方式1的插座501的检查系统中，当将模块基板102 容纳于插座501内时，能使模块基板102的检查用端子41和检査用端子 42与检查装置603电连接。其结果，能够检查在模块基板102内部的LSI32 和存储器33、 34之间传输的数据信号的波形及图案。其结果是，能够确 实地检测出模块基板102内的电子部件的不合格。另外，当检査LSI32及 存储器33、 34的内部电路时，能从检査用端子41、 42输入检查信号，并 对照检查用端子41、 42所输出的信号和期待值。
如以上所述，与模块基板102的检査用端子41、 42对应的焊接点需 要设置在制造模块基板102的制造商于制造工场内生产的评价基板601 中，不需要设置在使用模块基板102的产品的外部基板201中。由此，实 施方式1的模块基板102在从制造商的制造工场出厂后，就能够减少基板 所需的焊接点数量，所以能削减安装所需的面积。即，本实施方式的模块 基板102通过使用具有本实施方式的插座501的检査系统，来取得与从制 造商的制造工场出厂后就能够实现小型化的情况同等的效果。另外，因为 既能够实现小型化又能够提供充分的检査，所以能取得以下并存的效果， 即能降低成本、防止制造成本增加，和能够提高品质、确实地检查电子部 件。
如上所述，多个雄端子503、 517相当于第一端子，多个管脚触点504、506相当于第一突起，保持板509、 520相当于保持板，多个雌端子511、 515相当于第二端子，多个接触端子513相当于第四端子，多个焊球512、 516相当于第三端子，多个焊球514相当于第五端子，多个焊球43相当于 第六端子，孔部519相当于孔部，评价基板601相当于评价基板。但是， 本发明不限于所述例子。 (实施方式2)
以下，参照附图对本发明的实施方式2进行说明。另外，对与实施方 式1相同的构成要素标注相同的标记并省略详细说明。
图9是表示实施方式2的模块基板的外观透视图。另外，在图9中， 为了使位置关系明确，而标注表示相互正交的X方向、Y方向及Z方向的 箭头。X方向及Y方向在水平面内相互正交，Z方向相当于垂直方向。另 外，在后述的图IOA和图10B中也同样地标注表示X方向、Y方向及Z 方向的箭头。
如图9所示，实施方式2的模块基板232具备顺次叠层有第1电路基 板ll、第1复合板21、第2电路基板12的构造。在第2基板12的上表 面，形成有作为密封层的铸型部61 。模块基板232具有实施方式1的LSI32。
在模块基板232中，在第2基板12上表面的4个边上，分别沿着模 块基板232的4个边矩阵状地配置有多个检查用端子241、多个检査用端 子242、多个检查用端子243以及多个检査用端子244。另外，将检查用 端子241、 242、 243、 244统称为第七端子。检査用端子241、 242、 243、 244是第七端子的一个例子。
各检査用端子241、 242、 243、 244如后所述，经由在第l基板ll上 安装的LSI等电子部件和布线图案来电连接。S卩，各检查用端子241、 242、 243、 244与LSI32电连接。作为检查用端子241、 242、 243、 244例如能 使用焊接点。检査用端子241、 242、 243、 244与实施方式1同样地经由 插座501和检査装置603连接。在此情况下的插座501由与检査用端子 241、 242、 243、 244对应的多个管脚触点504、 506、多个雄端子503、 517、 多个布线505、 507、多个雌端子511、 515和多个焊球512、 514、 516来 构成。
另外，检査用端子241、 242、 243、 244与第二模块基板即模块基板233连接。
在模块基板233中，与模块基板232同样地具备顺次叠层有第1电路 基板11、第1复合板21、第2电路基板12的构造。在第1基板11的上 表面具有实施方式1的存储器33、 34。对于存储器33、 34考虑利用回流 工序来在第1基板12上表面的未图示的焊接点上进行焊接。
通过将模块基板232和模块基板233经由检査用端子241、 242、 243、 244来连接，能实现模块基板101的功能。即，检査用端子241、 242、 243、 244是模块基板232的检查用端子，并且兼作模块基板232和模块基板233 的连接用端子。在模块基板233的底面上形成有多个焊球343。各焊球343 与在模块基板233上安装的电子部件电连接。即，存储器33、 34和焊球 343电连接。模块基板233通过采用焊球343在检査用端子241 、 242、 243、 244上进行焊接来安装到模块基板232上。由此，模块基板233和在模块 基板232上安装的电子部件进行电连接。即，将LSI32和存储器33、 34 电连接。
模块基板232、 233的实现形态能考虑LSI、 IC、 MCM或SIP等。另 外，连接模块基板232和模块基板233的实现形态能考虑POP(Packege On
以下，对模块基板232的内部构造进行详细说明。
图10A是表示安装到模块基板232内的多个电子部件的XY平面上的 位置关系的图，图10B是模块基板232的剖面图。
如图IOB所示，在第1复合板21的中央部形成有上下贯通的空间部 51。在空间部51内的第1基板11上安装有LSI32。
另外如图10B所示，在第2基板12中央部的规定区域上形成有孔部 53。如图9、图IOA及图IOB所示，形成有作为密封层的铸型部61，以 密封空间部51内及孔部53。
在图IOA及图10B中，LSI32通过导线接合方法与第1基板11上的 布线图案电连接。
以下，还参照图11对LSI32、存储器33、 34及检查用端子241、 242、 243、 244之间的布线进行说明。
图11是示意地表示从模块基板232的第1基板11经由检査用端子241、 242、 243、 244、焊球343形成到模块基板233的第2基板的布线图 案111 116的图。另外，在实施方式2中没有布线图案113、 114。在图 IOA中，逐个有代表地示出了各个布线图案111 116，但在实际中分别形 成有多个布线图案111 116。
如图ll所示，多个布线图案lll的一端分别经由多个接合焊盘322(参 照图IOA)及多个导线321(参照图IOA)与LSI32的多个端子电连接。多个 布线图案111的另一端分别与多个布线图案112的中央部连接。
多个布线图案112的一端分别经由检査端子242与存储器33的多个 端子电连接。多个布线图案112的另一端分别经由检查端子241及检查用 端子242与存储器34的多个端子电连接。
多个布线图案115的一端分别经由接合焊盘322(参照图IOA)及导线 321(参照图IOA)与LSI32的多个端子电连接。多个布线图案115的另一端 分别经由检查用端子243与存储器33的多个端子电连接。
多个布线图案116的一端分别经由接合焊盘322(参照图IOA)及导线 321(参照图IOA)与LSB2的多个端子电连接。多个布线图案116的另一端 分别经由检査用端子244与存储器34的多个端子电连接。
另外，虽然未图示，但存储器33、 34的操作所需的电源信号也从模 块基板232的第1基板11经由检查用端子241、 242、 243、 244、焊球343 与模块基板233的第2基板连接。
通过所述结构，将地址信号及时钟信号经由布线图案lll、 112、检査 用端子241、 242从LSI32向存储器33、 34传输。另夕卜，将数据信号经由 布线图案115、 116及检查用端子243、 244在LSB2和存储器33、 34之 间传输。
这里，布线图案lll、 112、 115、 116是在功能上除了连接LSI32和 存储器33、 34以外不再需要的布线。即，连接LSI32和存储器33、 34的 布线仅在传输各信号的布线图案111、 112、 115、 116中有充分的作用。 另外，布线图案lll、 112、 115、 116不与焊球43连接。S卩，LSI32、存 储器33、 34以及布线图案111、 112、 115、 116没有多余的布线，封闭在 模块基板232和模块基板233内。
但是，在实施方式2的P0P的情况下，考虑了分别检查模块基板232
23和模块基板233，在连接了模块基板232和模块基板233之后再进行检查。 通过在连接前分别检查双方，能使合格品彼此间进行连接，所以能够降低 连接后的完成品的不合格率。
但是，在模块基板232的分别检査中，为了检査从LSI32向存储器33、 34传输的全部信号的波形及图案，需要在模块基板232的全部布线图案 111、 112、 115、 116上连接后述的检査装置603。为了检査从LSI32向存 储器33、 34传输的全部信号的波形及图案，需要能实现存储器33、 34的 功能的单元。但在此情况下，能在检查装置603中具有存储器33、 34的 功能，也能在评价基板601、检查基板602或插座501上具有存储器33、 34的功能。即，能考虑在检査装置603中安装仿真存储器33、 34的软件; 和在检查装置603、评价基板601、检査基板602或插座501上安装存储 器33、34的方法。这样，能连接这些存储器功能和模块基板232且从LSI32 向存储器33、 34传输信号，并且能够检查传输的各信号的波形及图案。
为了检查用于与模块基板232中的LSI32的存储器33、 34连接的内 部电路，需要从模块基板232外部的检查装置603向LSI32输入检查信号， 并对照LSI32所输出的信号和期待值。
因此，在实施方式2中，如图IOA、图IOB及图11所说明的那样， 检查用端子241、 242和布线图案111、 112电连接。由此，能通过在检査 用端子241或242上连接检査装置603，来检査从LSI32向存储器33传输 的地址信号和时钟信号的波形及图案。
另外，将检査用端子243和布线图案115电连接。由此，能通过在检 査用端子243上连接检査装置603，来检査在LSI32和存储器33之间传输 的数据信号的波形及图案。
另外，将检查用端子244和布线图案116电连接。由此，能通过在检 査用端子244上连接检查装置603，来检查在LSI32和存储器34之间传输 的数据信号的波形及图案。
另外，当检査用于与LSI32的存储器33、 34连接的内部电路时，将 检查用端子241、 242、 243、 244和检查装置603连接。由此，能向检查 用端子241、 242、 243、 244输入检查信号，并对照从检查用端子241、 242、 243、 244输出的信号和期待值。在实施方式2的模块基板232中，在第2基板12上设置有检查用端 子241、 242、 243、 244。
实施方式2的电视接收机的外部基板201不需要设置与检查用端子
241、 242、 243、 244对应的焊接点，所以能够使连接有模块基板232及模 块基板233的完成品的安装所需要的面积减少检查用端子241、 242、 243、 244的面积部分。其结果，能够使电视接收机小型化。
此外，检查用端子241、 242、 243、 244能兼作用于连接模块基板232 及模块基板233的连接端子。由此，能消除附加的多余感应负载和电容负 载，该多余的感应负载和电容负载是由与外部基板201连接、或向多余的 检查端子及检查端子引出的布线所产生的。即，能够抑制在LSI32和存储 器33、 34之间传输的地址信号、时钟信号以及数据信号的波形失真，并 能高速地进行操作。结果，能够使电视接收机高性能化。
另外，在使用实施方式2的插座501的检查系统中，当将模块基板232 容纳至插座501中时，能防止在模块基板232的检査用端子241或检查用 端子242上产生反射波。这样，能够防止在布线图案的信号中产生波形失 真。
能将检查用端子241、 242、 243、 244与检查装置603电连接。另外， 还能在检查装置603中安装仿真存储器33、 34的软件；或者在检查装置 603、评价基板601、检查基板602或插座501上安装存储器33、 34。其 结果，能够检查在模块基板232内部的LSI32和存储器33、 34之间传输 的全部数据信号的波形及图案。另外，当检查LSI32的内部电路时，能从 检査用端子241、 242、 243、 244输入检查信号，并对照检查用端子241、
242、 243、 244所输出的信号和期待值。其结果，由于能够检査在模块基 板232内部的LSI32和存储器33、 34之间传输的全部数据信号的波形及 图案，并与期待值进行对照，所以能够提高模块基板232的品质。
如以上所述，与模块基板232的检査用端子241、 242、 243、 244对 应的焊接点需要设置在制造模块基板232的制造商于制造工场内生产的评 价基板601中，不需要设置在采用完成品的产品的外部基板201中，该完 成品连接着模块基板232和模块基板233。由此，模块基板232在从制造 商的制造工场出厂后，由于能够减少基板所需的焊接点数量，所以能削减安装所需的面积。即，模块基板232通过使用具有实施方式2的插座501
的检査系统，来取得与从制造商的制造工场出厂后就能够实现小型化的情 况同等的效果。另外，因为既能够实现小型化又能够提供充分的检査，所 以能取得以下并存的效果，即能够降低成本、防止制造成本增加，和能够 提高品质、确实地检査电子部件。 产业上的可利用性
本发明的模块基板、插座以及使用这些的检査系统，具有与从制造商 的制造工场检査出厂后就能够实现小型化的情况同样的效果。本发明的模 块基板、插座以及使用这些的检查系统，作为安装有电子部件的模块基板、 容纳模块基板的插座、检查电子部件的系统等是有用的。
权利要求
1.一种插座，其特征在于，具备盖，该盖的里面具有第一突起、和与所述第一突起电连接的第一端子；以及主体，该主体的上表面具有第二端子、里面具有与所述第二端子电连接的第三端子，所述主体中容纳有电子部件，在用所述盖夹住进行固定的期间，使所述第一端子和所述第二端子电连接。
2. 根据权利要求1所述的插座，其特征在于，所述第一端子和所述第二端子相对配置。
3. 根据权利要求2所述的插座，其特征在于， 在所述主体的上表面具有容纳所述电子部件的孔部， 所述第一突起配置在所述孔部的内侧， 所述第一端子和所述第二端子配置在所述孔部的外侧。
4. 根据权利要求3所述的插座，其特征在于， 所述孔部具有第四端子，在所述孔部的底面； 第五端子，位于所述主体里面且与所述第四端子电连接。
5. 根据权利要求2所述的插座，其特征在于， 所述第一突起的排列和所述第一端子的排列相同。
6. 根据权利要求4所述的插座，其特征在于， 所述第一突起的直径或间距小于所述第四端子的直径或间距。
7. 根据权利要求2所述的插座，其特征在于， 所述第一端子的直径大于所述第一突起的直径。
8. 根据权利要求2所述的插座，其特征在于，具有保持板，该保持板形成为被所述第一突起贯穿且至少覆盖所述盖 的一部分。
9. 一种模块基板，其特征在于，具备多个电路基板，其沿上下方向叠层并分别具有布线图案； 电子部件，其安装在所述多个电路基板中的至少一个电路基板上，并与所述布线图案电连接；第六端子，其设置在所述多个电路基板中最下部的电路基板的下表 面，并与所述布线图案电连接；以及第七端子，其被设置成在所述多个电路基板中最上部的电路基板的上 表面露出，并与所述布线图案电连接，所述第七端子是所述电子部件的检查用端子，并且兼作用于叠层第二 模块基板的连接端子。
10. 根据权利要求9所述的模块基板，其特征在于，所述电子部件中的至少一个电子部件被密封。
11. 根据权利要求9或10所述的模块基板，其特征在于， 在所述多个电路基板内形成空间部，将所述电子部件中的至少一个电子部件配置到所述空间部内，并且所述空间部被密封。
12. —种检査系统，其特征在于，具有 权利要求4至8中任意一项所述的插座； 检査所述电子部件的检査装置；以及评价基板，其将所述插座的所述第三端子和所述第五端子与所述检查 装置电连接，传输检查信号。
13. —种检査系统，其特征在于，具备权利要求4至8中任意一项所述的插座； 权利要求9至11中任意一项所述的模块基板； 检査所述电子部件的检査装置；以及 评价所述电子部件的评价基板，所述插座的第一突起与所述模块基板的所述第七端子电连接， 所述插座的所述第四端子与所述模块基板的所述第六端子电连接， 所述插座的所述第三端子和所述第五端子与所述检查装置电连接， 所述评价基板传输检査信号。
全文摘要
本发明的插座具备盖，该盖的里面具有第一突起、和与里面的第一突起电连接的第一端子；以及主体，该主体的上表面具有第二端子、里面具有与第二端子电连接了的第三端子，主体中容纳有电子部件，在用盖夹住进行固定的期间，使第一端子和第二端子电连接。本发明的检查系统具备本发明的插座和将插座的第三端子与电子部件的检查装置电连接以传输检查信号的评价基板。
文档编号G01R31/26GK101517845SQ20078003478
公开日2009年8月26日 申请日期2007年9月18日 优先权日2006年9月19日
发明者高鸟正博 申请人:松下电器产业株式会社