专利名称：线栅波导的制作方法
技术领域：
本发明涉及在波？I导介质中传播偏振辐射波的方法的领域。
背景技术：
波导用于各种各样的目的。基本上，波导限制辐射基本上由波导引
导地行进，从而在存在辐射的位置获得有界区域。在"Fabrication of a new broadband waveguide polarizer with a double-layer 190 nm pe國riod metal-gratings using nanoimprint lithography"; Jian Wang; Schablitsky S; Zhaon-ing Yu; Yu Wei; Chou S Y, Journal of Vacuum Science & Technology B (Microelec画tronics and Nanometer Structures), VOL 17, NR 6, PG 2957- 2960, ISSN 0734-21IX中，提出了一种波导配置，其用于具 有波导核心以及上、下包覆层的波导。线栅附接到核心。包覆层由折射 率小于波导核心的介质构成，从而允许实现通过全内反射的常规的辐射 传播模式。
发明内容
存在提供一种波导的需要，其中本文还称为相邻介质的包覆层不限 于折射率小于波导核心以利用全内反射原理的材料，以便在流体介质中 提供波导以用于生物感测目的。相应地，在本发明的一个方面中，提供 了一种波导，其包括波引导介质，其限定要在所述波引导介质中引导 的波的衍射极限，具有一定折射率并且在第一和第二波反射平面结构之 间被提供，其中至少所述第一平面结构形成多个孔径，所述孔径具有小 于衍射极限的最小平面内孔径尺寸；并且其中所述第一平面结构设置在 所述波引导介质与具有等于或大于波引导介质的折射率的相邻介质之 间。
在本发明的另 一个方面中，提供了检测波导中发光体(lumin叩hore ) 的存在的方法，其包括在包括波引导介质的波导中传播激发辐射，所 述波引导介质限定要在所述波导中引导的激发辐射的衍射极限，具有一 定折射率并且在被构造和设置成反射所述波引导介质中的所述波的第一和第二反射式平面结构之间被提供；所述平面结构中的至少一个包括 限定小于衍射极限的最小平面内尺寸的孔径；在所述波引导介质中提供 发光体，该发光体可由所述激发辐射激发以发射发光辐射；以及通过检 测器检测所述发光辐射。
在本发明的一个方面中，提出了限制激发区域的波导，其中激发发 光体；基本上与波导的周围介质无关。优选地，该波导用在发光传感器 中，所述波导对于所述平面结构横向的介质馈送流是可渗透的；该介质 包括发光体；并且所述检测器被设置成从所述平面结构横向的方向接收 来自所述发光体的发光辐射。本发明的这些和其他方面根据以下描述的 实施例将是清楚明白的，并且将参照这些实施例进行阐述。
图1以截面图示出了依照本发明一个方面的波导的基本实施例； 图2示出了曲线图，该曲线图显示了对于由水包围的依照图1的波
导的反射强度和相移与入射角的关系；
图3示出了依照图1的波导的模态强度分布；
图4示出了基本模式的衰减长度与波导宽度的依赖关系；
图5图解说明了示出依照本发明一个方面的发光传感器的第一实施
例的示意图6图解说明了示出依照本发明一个方面的发光传感器的第二实施 例的示意图7图解说明了示出依照本发明一个方面的发光传感器的第三实施 例的示意图8图解说明了示出依照本发明一个方面的发光传感器的第四实施 例的示意图9示意性地分别示出了包括限制结构的波导实施例的顶视图和截 面视图10示出了用于波导实施例的支撑结构的示意性侧视图；以及 图11示出了包括图10的支撑结构的波导的顶视图。
具体实施例方式
本发明提出了作为有吸引力的装置的波导，其用于发光体的局部化激发以及激发辐射和发射辐射之间的自然分离，后一种辐射也称为发 光。辐射典型地为电磁波语的可见或近红外区域中的光。作为一个实例，
在大约300-1000 nm的波长中提供激发辐射和发光(例如荧光)。在一 个实施例中，所述波导包括一对有切口的平面结构，其也称为线栅，间 隔典型地为100 nm直到数微米。因此，可以提供偏振选择波导概念。 该概念也适用于其他的应用，其中希望光被限制在具有比其环境低的折 射率的材料中，比如水。
这个扭无念的优点可以包^"如下
1) 在优选的实施例中，依照本发明的波导包括不透射激发辐射的 TE偏振分量的线栅，所述分量的取向平行于线栅的长度轴，在其余部 分简称为R偏振激发辐射。
2) 在一个实施例中，所产生的发光/发射的TM偏振部分(即与R 偏振部分正交的部分)，也称为T偏振发光，可以经由线栅从所述波导 逃逸，因为这些线栅对于这种偏振分量是基本上透明的激发和发射之 间的很好的空间分离。R偏振发光可以通过所述波导来进行检测。
3) 在一个实施例中，所述波导系统可以对于流经上下线栅的流体 是开放的，使得所述概念适用于竖直通流(flow through)方法。
4) 在一个实施例中，所述平面结构之间的间隔可以独自形成流体 通道，其将流体流限制在这些平面结构之间。
5) 在一个实施例中，所述波导可以堆叠在一对反射镜之间，这也 可以增强激发场。
6) 在一个实施例中，可以使用具有比流体低的折射率的层以便在 该介质与流体的界面处提供全内反射(例如具有比水低的折射率的 TEFLON AF或介孔二氧化娃(meso-porous silica ))并且通过这种方式 建立波导模式在平行于线栅的方向上的限制。
本发明原理的另外的优点可以包括
1. 相对于波导平面结构限定的平面看来，在向上和向下两个方向上 激发光和发光之间的自动分离；这可以导致对激发辐射产生的背景辐射 的抑制。
2. 可以局部化地提供发光体的激发；典型地，在波导结构内。
3. 可以提供开放式结构，其可以适用于通流应用以及添加用于特异 性结合的结构。在图1中，提供了波导结构1的截面视图，其示出具有取向基本上
沿着波导结构1的长度轴的TE分量的R偏振激发辐射101，提供了 "泄 漏"(在非常少量——典型地大约0.1%或更少——由反射平面结构l透 射这个意义下)光波导系统，其将激发辐射101限制在平面结构1之间。 优选地，波导结构l是用于流体的开放式结构(即适用于通过间隔的流 动)并且适用于向上和向下两个方向上的发光(参见图5-图8)。
特别地，波导结构1由波引导介质12包围，其限定要在所述波引 导介质12中引导的波101的衍射极限。波导结构1由顶部和底部波反 射平面结构14、 15提供，其形成导线11的栅格并且示意性地示出反射 光线102。在所示的实施例中，独立式提供导线ll,其长的方向进入纸 张平面。这些线栅具有周期A和厚度T。这些平行平面结构具有相同的 取向并且相互距离为W，所述距离也称为"波导宽度，，。
平面结构14、 15形成多个孔径。最小的平面内孔径尺寸定义为线 栅11之间的间距并且小于衍射极限。为了进行良好的反射，这些材料 部分之间的开口优选地低于衍射极限开口的80%。
虽然该实施例示出单个周围介质12在波导结构1的内夕卜，但是依
' 为了解释线栅波导1、的工作原理^首:考虑利用R偏振光照射的线 栅的反射。适当的操作要求除了零级衍射之外所有的级次对于所有入射 角都是易消逝的(evanescent)。这可以通过适当选择光栅周期(A)来 实现
其中人为真空中的波长，nmed醒为线栅之前的介质的折射率。这里，Amin 定义为衍射极限，其典型地可以定义为二倍光栅周期的介质中的波长。
作为一个实例，图2A考虑了示出在依照图1的配置中针对由折射 率为nmedmm =1.3的水12包围的独立式线栅1的对应不同的入射角的反 射效率的图表
导线材料 铝(Al),折射率'.n~0.162-j*7.73
周期(A) 200 nm<Amin=250 nm
占空比 0.5 ( 100 nm的开口 )厚度(T) 100 nm
波长 650 nm
典型地，效率在对应0度入射的0.98与对应90度入射(相对于入 射平面的法向)的几乎为1之间变化。
此外，图2A和图2B示出了对于上述线栅上R偏振的反射的计算 的强度反射和相移。对于所有的入射角，都表现出R偏振光的高反射， 掠入射角越大，反射增加。据发现，对于R偏振光的透射低于0.002%。
图3示出了宽度为W=500 nm的线栅波导中的基本R偏振模式的模 态强度分布。在一种方法中，由于仅出现零级衍射，因而所述平面结构 可以由介电常数等于水和铝的介电常数之平均的均匀层代替(对于50% 的占空比)ncladding=0.117-j*5.39。对于因此包括5层的近似平板结 构，可以计算波导模式。所述模态强度分布类似于常规(通过全内反射) 光波导的模态分布。
图4示出了通过计算对于变化的波导宽度W的基本模式的衰减长 度(相应于输入功率的(l/e;T2)对于R偏振光可获得的传播长度的估计。 竖直线表示衍射极限波导宽度(250 nm)。在对数-对数标度上，衰减对 于衍射极限宽度以上的波导宽度大致线性地变化，并且对于衍射极限宽 度以下的波导宽度则迅速地下降。根据应用，需要例如100 pm的衰减 长度(例如荧光团的局部激发)以及多达1 cm的衰减长度的小波导宽 度，以便在芯片上传送光。图6表明，波导宽度的正确选择导致两种情 况的解决方案
1. 0.4微米的波导宽度导致100 pm的衰减长度。
2. 大于2微米的波导宽度导致超过1 cm的衰减长度。
图1描述了作为本发明实施例的具有两个线栅14、 15的波导1。尽 管本发明通常可以用于许多应用中，但是图5-图8中引用的实施例将作 为生物传感器应用中的另外的实施例而^f皮描述。因此，在发光传感器500 中提供了如图l所示的波导l。尽管若干可替换方案是可能的，但是在 优选的实施例中，这个传感器500被设置成具有从顶部流到底部以及从 底部流到顶部的流体(竖直通流方案)。
图5示出了包括用于荧光激发201、 202的线栅波导1的传感器装 置500。该传感器装置500嵌入到填充了流体12 (例如水)的容器/试管 (cuvette) (30)内。线栅波导1对于由平面结构14、 15限定的平面的横向的水流是可渗透的。检测器21、 22被设置成从平面结构14、 15 的对黄向方向从发光体10b接收发光辐射202。
所述流体也包含发光小珠(10a-c),其是例如DNA的表征 (evidence)。在这个实施例中，来自辐射源(未示出)的R偏振(相 对于所述平面结构)激发辐射(101)从试管(30)的左边耦合进来， 激发线栅波导的一种或多种模式(102) 。 R偏振激发辐射被限制在平 面结构(l)之间。线栅之上和之下的激发辐射的量非常低，因为每次 反射R偏振的透射约为0.002%。这意味着线栅波导之上(10a)和之下 (10c)的小珠基本上不被激发，并且因而基本上不对检测的发光产生 贡献。平面结构(1 )之间的小珠(10b)由波导模式(102)探测，其 导致发光信号。流体12中跃迁偶极矩小珠的取向通常在时间和空间上 是随机的，这意味这大约50%的发光信号是R偏振的(201 )并且50% 的发光信号是T偏振的(202 );对于具有随机跃迁偶极子并且没有消 偏振的小珠系综(an ensemble of beads )而言，可以证明，产生的荧光 的3/5具有与激发光相同的偏振，但是在本文的剩余部分，假设50%的 发光信号具有与激发光相同的偏振。R偏振光不能逃逸出线栅波导，并 且耦合到线栅波导的模式。使用线栅波导之上(21)和之下(22)的检 测器(PMT, APD, CCD阵列，......)，通过线栅结构14、 15的孔径
透射的T偏振荧光可以分别由检测器21、 22检测(202)。剩余的激发 辐射(103)在线栅波导的出口耦合出去(附加地或者可替换地，其也 可以被检测，参见图6)。
上面或下面的检测器21、 22可以用反射镜代替以便减少检测器的 数量。反射镜将发光反射回线栅波导。由于线栅波导对于T偏振光是透 明的，因而线栅穿过线栅波导并且到达其余的检测器。可替换地，可以 完全省略所述检测器之一，而不用反射镜替换它。
图6示出了一个实施例，其中除了检测的T偏振发光之外，检测器 24还#:测R偏振发光。
R偏振发光被限制在线栅波导的平面结构14、 15之间并且耦合到 线栅波导的模式。通过将检测器(24)和波长滤波器(25)(其抑制激 发辐射(103))放置在线栅波导的出口侧，可以检测耦合进波导的R 偏振发光(的至少一部分)(203 )。
可替换地，平面结构14、 15之一由2D子衍射极限孔径的阵列代替，所述阵列也称为针孔结构150。特别地，在这个实施例中，所述孔径限
定了最大的平面内孔径尺寸小于衍射极限，其将荧光202限制在两个平 面维度上。因此，可以用2D子衍射极限孔径的阵列替换所述平面结构 之一 (或二者)；这些阵列对于两种偏振都具有高的反射性(以及孔径 内的易消逝场)。在图6所示的实施例中，线栅15由2D子衍射极限孔 径的阵列替换在这种情况下，仅需要一个检测器21。在那种情况下， 波导1 (具有线栅14和作为反射镜的2D子衍射极限孔径阵列15 )仍然 仅限制R光201。 T偏振光202仍然可以通过线4册14从波导逃逸。这种 配置的优点在于，所述2D子衍射极限孔径的阵列充当用于R偏振荧光 202的反射镜，这意味着发光仅通过线栅14从波导1出射，结果， 一个 检测器21就足以检测R偏振发光。
可替换地，两个线栅都可以由2D子衍射极限孔径的阵列代替，从 而用作用于两种偏振的波导。在这种情况下，波导荧光201、 202现在 能够与实施例4的配置类似地进行检测。这种配置的优点在于，可以由 相同的^r测器纟企测R偏振和T偏振的发光辐射。
图7示出了一个实施例，其中衬底13上提供了平面结构14、 15。 特别地，将平面结构14和/或子衍射极限针孔的阵列15置于不再对流体 可渗透的(玻璃)衬底13上。在这个实施例中，由于在衬底中没有附 加的开口 ，竖直通流被阻止，因而这要求在与激发辐射相同的方向上(从 左到右和/或从右到左)泵浦流体。该实施例与具有独立式平面结构的实 施例相比表现出衬底上的平面结构的机械强度被改进。通过放置对于激 发辐射101具有低反射性并且对于荧光201具有高反射性的反射镜(未 示出)，可以阻止所述激发辐射101被检测，重定向朝着入口传播的R 偏振发光201并且通过检测器21或22进行检测。
图8示出了一个实施例，其中激发辐射被增强。为此目的，波导包 括将传播的波反射到波导1中的传播方向上的反射器(41, 42)。在一 个实施例中，反射器(41, 42)之一对于波长与所述传播的波不同的辐 射可选择性地透射。这可以用于通过反射镜检测发光。特别地，通过将 对于激发辐射101具有高反射性(典型地优于90%)的反射镜(41, 42) 置于波导系统的输入和输出小平面(facet)处，可以构造用于激发辐射 的Fabry-Perot腔体。这可以导致激发辐射的增强。可以使用宽带反射镜， 在这种情况下很可能激发光和发光都将被反射，其具有的缺点在于，R偏振荧光的检测受到腔体的损害。可替换地，可以考虑使用对于激发辐 射具有合理高的反射性并且对于发光具有低反射性的窄带反射镜(例如 多层反射镜)。另一种可能的配置是在入口上使用宽带反射镜并且在出 口侧使用对于激发辐射具有高反射性且对于发光没有反射的窄带反射 镜。结果，仍然具有增强并且将开始向左行进的R偏振发光重定向到波 导1的右侧。这种配置的优点在于，可以使用单个检测器(在出口侧， 这里没有示出检测器)以检测R偏振发光并且仍然增强激发场。另一种 可能的配置仅仅使用置于波导出口侧上的一个反射镜。这种配置的优点 在于，正常地从波导出射的激发辐射现在:R重定向到波导中，从而有效 地加倍了激发辐射的能量。这种配置没有两个反射镜那么高效，但是仍 然将实现改进，并且对准和使用起来容易得多。
图9示出了一个实施例，其中限制介质32包含在所述平面结构14、 15之间以便将所述传播的波101 (参见图8)限制在限于所述波导1中 的传播方向的横向方向上的区域中，使得光被限制在方向A-A上，如图 9所示。优选地，提供分隔器材料32并且随后将其图案化成两个平面结 构14、 15之间的通道31。当分隔器材料32的折射率低于流体12的折 射率时，那么光在流体12与分隔器材料3 2之间的界面处经历全内反射， 结果，光也被限制在方向A-A上。作为适当的分隔器材料的一个实例， 可以使用TEFLON。
图10示出了依照本发明实施例的独立式线栅设备的实施例，其表 现出由支撑结构51支撑的独立式导线11的压力相关行为。独立式线栅 设备的这种配置可以减小独立式线栅的条带(stripe) 11的挠度并且不 易破碎。
当流动的流体通过独立式线栅1 (参见图5)时或者当操作独立式 线栅结构时，压力差(和力)将施加到线栅1。该压力差导致线栅1的 条带11的弯曲。在图10中，考虑了层流通过孔直径为2R-100nm并且 深度为T400nm的圆柱形孔的情况。考虑剪切力和给定压力差(AP ) 得到速度分布(v)和通过单孔的流量(小)的表达式
对于上述孔，这导致每单位压力差的流量(对于粘度为"=0.008904泊(poise)的水)(|)/AP=2.76xlO-21 m3/(Paxs)。作为小珠在孔中保持l 秒的实例，())=7.9x10-22 m3/s的体积流量以及仅仅0.3 Pa的压力差就足 够了。对于lms的测量时间(每小珠)，优选地施加300Pa的压力差。
为了计算线栅的挠度，图10示出了针对均匀压力差并且以铝作为 条带11、弹性模量为E二7xlO"N/m2的材料的长度为L、深度T400nm 以及条带宽度为W=100 nm的线栅。
图11示出了一种配置，其中可以提供独立式线栅的机械稳定性， 同时仍然具有用于通流的可接受区域。特别地，线栅11限定了平面结 构51中的有切口孔径，线栅11支撑在衬底51上，其中提供了狭槽61。 狭槽61横向取向，优选地垂直于线栅ll。
因此，线栅11支撑在可渗透结构上，该结构本身可以承受流压。 狭槽61在支撑结构51中提供，该结构具有长而窄的开口。这些狭槽可 以是IOO微米或者更多并且典型地为数微米宽，提供于支撑结构(51) 中。
可替换地，这些狭槽在两个平面方向上为数微米长。通过紧密堆积 这些狭槽，提供了具有微米尺寸的小孔的薄膜结构。
尽管在附图和前面的描述中图示和描述了本发明，但是这种图示 和描述应当被理解为说明性或示例性的而不是限制性的；本发明并不限 于所公开的实施例。
在一个实例中，使用了其他的相邻介质，特别是折射率小于介质12 的介质。
例如，有可能在其中荧光用作标记或者用作用于生物医疗目的的示 踪物的实施例中实施本发明。
上述实施例处理的是发光粒子。然而，也可以使用其他种类的粒子， 其与激发光相互作用，产生激发光的吸收和/或散射。特别地，可以测量 波导介质中的粒子的散射，所述粒子例如直径在1和100 nm之间的金 属纳米粒子。在这种情况下，粒子对波导中传播的R偏振激发光进行散 射。散射的辐射的T偏振分量例如可以通过平面结构14、 15的孔径进
功率的降低。这种功率的降低;以通过测量通过波导传播的光的功率来 确定。
本领域技术人员在实施要求保护的本发明时，根据对于所述附图、本公开以及所附权利要求的研究，应当能够理解并实现所公开实施例的 其他变型。在权利要求中，措词"包括"或"包含"并没有排除其他的 元件或步骤，并且不定冠词"一"并没有排除复数。单个处理器或其他 单元可以实现权利要求中陈述的若干项的功能。在相互不同的从属权利 要求中列举某些技术措施这一事实并不意味着这些技术措施的组合不 可以加以利用。计算机程序可以存储/分布在适当的介质上，例如光学存 储介质或者与其他硬件 一起提供或作为其他硬件的 一部分的固态介质， 计算机程序也可以以其他形式分发，例如通过因特网或者其他的有线或 无线电信系统。权利要求中的任何附图标记都不应当被视为对范围的限 制。
权利要求
1.一种波导(1)，包括波引导介质(12)，其限定要在所述波引导介质中引导的波的衍射极限，具有一定折射率并且在第一和第二波反射平面结构之间被提供，其中至少所述第一平面结构(14，15)形成多个孔径，所述孔径具有小于衍射极限的最小平面内孔径尺寸；并且其中所述第一平面结构(14)设置在所述波引导介质(12)与具有等于或大于波引导介质的折射率的相邻介质(12)之间。
2. 依照权利要求1的波导，其中所述孔径限定了最大的平面内孔径 尺寸；其中所述最大的平面内孔径尺寸小于衍射极限。
3. 依照权利要求1的波导，其中所述孔径限定了最大的平面内孔径 尺寸；其中所述最大的平面内孔径尺寸大于衍射极限。
4. 依照权利要求3的波导，其中所述第二平面结构形成多个第二孔 径，所述第二孔径限定了最小的第二平面内孔径尺寸；其中所述最小的 第二平面内孔径尺寸小于衍射极限。
5. 依照权利要求4的波导，其中所述第二孔径限定了最大的第二平 面内孔径尺寸；其中所述最大的第二平面内孔径尺寸大于衍射极限并且 与所述最大的第 一 平面内孔径尺寸平行地被提供。
6. 依照权利要求1的波导，其中形成所述孔径的所述平面结构包括 在衬底(13)上提供的不透明介质。
7. 依照权利要求6的波导，其中所述波引导介质(12)与所述相邻 介质等同以形成周围介质(12);并且其中所述衬底(13)对于所述周 围介质可渗透，以提供由所述衬底支撑的自由平面结构。
8. 依照权利要求7的波导，其中所述平面结构中的所述孔径限定了:了相对于最大的孔径尺寸横向取向的最大狭槽尺寸并且支撑所述平 面结构(14， 15 )。
9. 依照权利要求7的波导，其中介质馈送单元被设置成在相对于所 述平面结构的横向方向上馈送所述介质。
10. 依照权利要求1的波导，还包括限制介质(32),其将所述传 播的波(101)限制在限于所述波导中的传播方向的横向方向上的区域中。
11. 依照权利要求1的波导，还包括将所述传播的波(101 )反射到 波导1中的传播方向上的反射器(41, 42)。
12. 依照权利要求11的波导，其中所述反射器(41， 42)对于波长 与所述传播的波不同的辐射(201)可选择性地透射。
13. —种传感器(500),包括依照权利要求1的波导(1),并且 还包括辐射源，其被设置成提供通过所述波导传播的激发辐射(101);以及检测器(21, 22),其被配置成从与所述波导(1)中的所述激发 辐射(101 )相互作用的粒子(10b)接收辐射(201， 202 )。
14 . 一种依照权利要求13的发光传感器(500)。
15. 依照权利要求14的发光传感器，所述波导对于所述平面结构 (14, 15)横向的介质馈送流(12)是可渗透的；该介质包括发光体(10a,10b, 10c);并且所述检测器(21， 22)被设置成从所述平面结构横向 的方向接收来自所述发光体的发光辐射。
16. 依照权利要求14的发光传感器，被设置成提供与所述平面结构 (14, 15)平行的介质馈送流；所述介质(12)包括发光体U0b);并且所述检测器(24)被设置成在平行于所述平面结构的方向接收来自 所述发光体的发光辐射(201)。
17. 依照权利要求16的发光传感器，所述传感器设有激发辐射阻挡 器(25)。
18. 检测波导中发光体的存在的方法，包括在包括波引导介质(12)的波导(1)中传播激发辐射(101),所 述波引导介质限定要在所述波导(1)中引导的激发辐射的衍射极限， 具有一定折射率并且在被构造和设置成反射所述波引导介质(12)中的 所述波(101)的第一和第二反射式平面结构(14, 15)之间被提供； 所述平面结构中的至少一个包括限定小于衍射极限的最小平面内尺寸 的孔径；在所述波引导介质(12)中提供发光体，该发光体(10a, 10b, 10c) 可由所述激发辐射(101 )激发以发射发光辐射(202);以及 通过检测器(21)检测所述发光辐射(202 )。
19. 依照权利要求18的方法，其中通过所述平面结构(14, 15)的 所述孔径检测所述发光辐射(202 )。
20. 依照权利要求18的方法，其中所述孔径限定了最大的平面内孔 径尺寸；其中所述最大的平面内孔径尺寸大于衍射极限。
21. 依照权利要求18的方法，还包括阻止所述激发辐射(101 )被 检测。
22. 依照权利要求18的方法，其中在流体介质中提供所述发光体； 所述平面结构(14, 15)可由所述流体介质(12)渗透，并且所述方法 还包括在通过所述平面结构的流中馈送所述流体介质；并且从所述平面 结构(21 )横向的方向检测来自所述发光体(10b)的发光辐射(202 )。
23. 依照权利要求18的方法，其中在流体介质(12)中提供所述发 光体；所述平面结构可由所述流体介质渗透，并且所述方法还包括在与 所述平面结构平行的流中馈送所述流体介质；并且从平行于所述平面结 构的方向检测来自所述发光体的发光辐射(202 )。
24. 依照权利要求18的方法，其中所述发光体被设置成与生物分子 结合在一起。
全文摘要
提供了一种波导，其包括波引导介质，具有一定折射率并且在第一和第二波传播平面结构之间被提供，至少所述第一平面结构包括多个有切口的孔径，其限定了所述第一反射结构的长度轴；这些有切口的孔径被构造和设置成反射取向平行于所述长度轴的所述辐射的R偏振分量；并且其中所述第一平面结构设置在所述波引导介质与具有等于或大于波引导介质的折射率的相邻介质之间。在本发明的一个方面中，提出了限制激发区域的波导，其中激发发光体；基本上与波导的周围介质无关。优选地，该波导用在发光传感器中。
文档编号G01N21/64GK101583864SQ200780047702
公开日2009年11月18日 申请日期2007年12月17日 优先权日2006年12月21日
发明者D·J·W·克伦德, M·A·弗舒伦, M·M·J·W·范赫彭 申请人:皇家飞利浦电子股份有限公司