专利名称：电容式加速度计的制作方法
技术领域：
本发明属于微机电系统(MEMS)惯性传感器领域。涉及一种电容式加速度计，具体 涉及的是一个能够同时测量纵向加速度及纵向角加速度的电容式加速度计。
背景技术：
随着科学技术的发展，对物体运动状态的测量及控制越来越受到重视，特别在一 些大的、精密的高科技装置中，微小的运动，可能会导致非常巨大的影响。而加速度计正是 测量物体运动状态的一种非常常用且有效的工具，因此，受到了科研人员广泛的关注。由于 电容式加速度计灵敏度高，温漂小，结构简单紧凑，更是备受关注，发展迅速。
顾名思义，电容式传感器的原理都是通过改变电容来实现的。改变电容器的电容 有两个方法，一种是改变极板的间距，另一种是改变极板的有效面积。目前，两种方式的传 感器都有，如中国专利公开号为CN101089625A、名称为"金属电容式微加速度计"的专利，则 是利用电容极板间距变化的原理，中国专利公开号为CN101187674A、名称为"一种差动电容 式微机械加速度计"，利用的则是极板面积的变化。 经对现有技术文献的检索发现，目前的电容式加速度计，只有单一的加速度计或 者角加速度计，尚为发现既能测量加速度又能测量角加速度的电容式传感器。即现有的电 容式加速度计，要么只能测量1维、2维或者3维的加速度，要么只能测量角加速度，还没有 方法能够同时测量加速度和角加速度运动。然而，物体的运动，既包括平动，也包括转动。特 别是在一些大型结构当中，转动比平动更重要。因此，能够同时测量加速度及角加速度计的 仪器非常欠缺。
发明内容
本发明的目的在于弥补目前电容加速度传感器技术的空白，提出 一种电容式加速
度计，它既能测量纵向加速度，又能测量纵向角加速度，以满足所需的测量要求。 本发明通过以下技术方案实现 —种电容式加速度计，其特点在于包括 上端盖，在上端盖的内表面绝缘地贴设上端盖极板，且在上端盖的内表面的中心 具有一块突出的绝缘的止动块； 下端盖，在下端盖的内表面绝缘地贴设下端盖极板，且在下端盖的内表面的中心 具有一块突出的绝缘的止动块； 质量块是上下两端分别具有縮颈的"王"字形的实心圆柱体，在该实心圆柱体的上 下端分别绝缘地设有质量块上极板和质量块下极板，该质量块的上縮颈和下縮颈的周围分 别对称地设有四个相互绝缘的插孔； 圆筒体，在该圆筒体的上下两端四边对称地分别设有四个绝缘的凹槽，与所述的
质量块的上縮颈和下縮颈的周围分别对称地设有四个绝缘的插孔相对应； 第一弹性支杆、第二弹性支杆、第三弹性支杆和第四弹性支杆的两端分别固定在所述的圆筒体的上端的四个凹槽中和所述的质量块上縮颈的四个插孔中，第五弹性支杆、 第六弹性支杆、第七弹性支杆和第八弹性支杆的两端分别固定在所述的圆筒体的下端的四 个凹槽中和所述的质量块下縮颈的四个插孔中，所述的上端盖和下端盖与所述的圆筒体相 结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体连接，形 成敏感运动机构； 所述的上端盖极板与下端盖极板完全相同，所述的质量块上极板和质量块下极板 完全相同，所述的上端盖极板、下端盖极板、质量块上极板、质量块下极板都具有多块相互 间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板、下端盖极板分别和质量块上极 板、质量块下极板构成差分电容式结构。 所述的第一弹性支杆、第二弹性支杆、第三弹性支杆、第四弹性支杆伸出所述的圆 筒体的上端的四个凹槽的外端分别形成第一输出端子、第二输出端子、第三输出端子和第 四输出端子，所述的第五弹性支杆、第六弹性支杆、第七弹性支杆和第八弹性支杆伸出所述 的圆筒体的下端的四个凹槽的外端分别形成第五输出端子、第六输出端子、第七输出端子 和第八输出端子； 所述的上端盖极板有4个扇形角加速度测量子电极、2个扇形角速度测量子电极 和多个保护电极，所述的下端盖极板有4个扇形角加速度测量子电极、2个扇形角速度测量 子电极和多个保护电极；所述的质量块上极板具有2个扇形角加速度测量子电极、2个扇形 角速度测量子电极和多个保护电极，所述的质量块下极板具有2个扇形角加速度测量子电 极、2个扇形角速度测量子电极和多个保护电极； 所述的上端盖极板两个角加速度测量子电极与所述的第一输出端子相连，另两个 角速度测量子电极与所述的第二输出端子相连；所述的上端盖极板的两个角加速度测量子 电极与所述的第三输出端子相连； 所述的下端盖极板的两个角加速度测量子电极与所述的第五输出端子相连，另两 个角加速度测量子电极与所述的第七输出端子相连；所述的下端盖极板的两个角速度测量 子电极与所述的第六输出端子相连； 所述的质量块上极板的两个角加速度测量子电极和所述的质量块下极板的两个 角加速度测量子电极与所述的第四输出端子相连；所述的质量块上极板的两个角速度测量 子电极和所述的质量块下极板的两个角速度测量子电极与所述的第八输出端子相连。
所述的上端盖极板中的两个角加速度测量子电极之间的缝隙在所述的质量块上 电极的投影正好平分质量块上电极的角加速度测量子电极；下端盖极板中两角加速度测量 子电极之间的缝隙在质量块下电极的投影正好平分质量块下电极的角加速度测量子电极。
将本发明电容式加速度计安装在待测物体上，所述的第二输出端子与第八输出端 子之间的电容C1和第六输出端子与第八输出端子之间的电容C2发生变化，大小相等，方向 相反，C1和C2之差表示待测物体的纵向加速度；第三输出端子与第七输出端子之间的电容 Cr5和第一输出端子与第五输出端子之间的电容Cr6发生变化，大小相等，方向相反，Cr5和 Cr6之差表示待测物体的纵向角加速度。
本发明的优点是 1、所述的质量块在该系统中是一个圆柱体的惯性机构。其刚度、密度大，与质量块 上极板和质量块下极板绝缘。它的外形中间大，在接近两端处，圆柱体半径减小，在两端各
5形成一个类似与颈部结构，并且在每个颈部均匀分布着四个圆孔，每个圆孔固定一根弹性 支杆的另一端。 2、所述的弹性支杆完全相同，由导电性能好、韧性好且刚度合适的材料制成，一般 为圆柱形杆，具体可以根据性能设计。它们既是整个运动机构中的弹性元件，又是极板电极 的导线。各弹性支杆与圆筒体连接的一端，直接制作成输出端子。这种结构节省了额外导 线对质量块运动的影响，又降低了引线加工工艺的困难程度。 3、质量块在加速度的作用下，位移的变化导致质量块上极板与上端盖极板以及质 量块下极板与下端盖极板的电容发生变化，并且两个电容的变化量大小相等，方向相反。在 角加速度的作用下，质量块发生扭转，导致质量块上极板、质量块下极板的部分子电极分别 与上端盖极板部分子电极、下端盖极板部分子电极间的有效面积变化，从而导致电容变化， 其中，变化量大小相等，方向相反。两种方式都形成了差分方式，提高了灵敏度、精度，并且 抑制了噪声。 4 、实现了纵向加速度和纵向角加速度的同时测量。 5、加工工艺简单，相同元件多，易批量生产。 6、本发明既可以用MEMS工艺制作，又可以用传统工艺制作。 7、本发明设有止动块，可以有效防止过载。
图1是本发明电容式加速度计的剖面结构示意图； 图2是图1的A-A方向剖视示意图； 图3是本发明上端盖极板示意图； 图4是本发明质量块上极板示意图； 图5是本发明角加速度测量电极连线示意图； 图6是本发明加速度测量电极连线示意图。
具体实施例方式
本发明提出的电容式加速度计结合附图及实施例详细说明如下
先请参阅图1、图2、图3和图4，由图可见，本发明电容式加速度计，构成包括
上端盖1，在上端盖的内表面绝缘地贴设上端盖极板2，且在上端盖的内表面的中 心具有一块突出的绝缘的止动块； 下端盖16，在下端盖16的内表面绝缘地贴设下端盖极板15，且在下端盖的内表面 的中心具有一块突出的绝缘的止动块； 质量块8是上下两端分别具有縮颈的"王"字形的实心圆柱体，在该实心圆柱体的 上下端分别绝缘地设有质量块上极板3和质量块下极板14，该质量块8的上縮颈和下縮颈 的周围分别对称地设有四个相互绝缘的插孔； 圆筒体9，在该圆筒体9的上下两端四边对称地分别设有四个绝缘的凹槽，与所述
的质量块8的上縮颈和下縮颈的周围分别对称地设有四个绝缘的插孔相对应； 第一弹性支杆4、第二弹性支杆5、第三弹性支杆6和第四弹性支杆7的两端分别
固定在所述的圆筒体9的上端的四个凹槽中和所述的质量块8上縮颈的四个插孔中，第五弹性支杆10、第六弹性支杆11、第七弹性支杆12和第八弹性支杆13的两端分别固定在所 述的圆筒体9的下端的四个凹槽中和所述的质量块8下縮颈的四个插孔中，所述的上端盖1 和下端盖16与所述的圆简体9相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块8通过所述 的弹性支杆与所述的圆筒体9连接，形成敏感运动机构； 所述的上端盖极板2与下端盖极板15完全相同，所述的质量块上极板3和质量块 下极板14完全相同，所述的上端盖极板2、下端盖极板15、质量块上极板3、质量块下极板 14都具有多块相互间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板2、下端盖极 板15分别和质量块上极板3、质量块下极板14构成差分电容式结构。 所述的第一弹性支杆4、第二弹性支杆5、第三弹性支杆6、第四弹性支杆7伸出所 述的圆筒体9的上端的四个凹槽的外端分别形成第一输出端子17、第二输出端子18、第三 输出端子19和第四输出端子20，所述的第五弹性支杆10、第六弹性支杆11、第七弹性支杆 12和第八弹性支杆13伸出所述的圆筒体9的下端的四个凹槽的外端分别形成第五输出端 子21、第六输出端子22、第七输出端子23和第八输出端子24 ; 参见图3、图5和图6，所述的上端盖极板2有4个扇形角加速度测量子电极2al、 2a2、2cl、2c2、2个扇形角速度测量子电极2bl、2b2和多个保护电极2dl、2d2、2d3、2d4、2d5、 2d6，所述的下端盖极板15有4个扇形角加速度测量子电极2a' 1、2a' 2、2c' 1、2c' 2、2个扇 形角速度测量子电极2b' 1、2b' 2和多个保护电极2d' 1、2d' 2、2d' 3、2d' 4、2d' 5、2d' 6;
参见图4、图5和图6，所述的质量块上极板3具有2个扇形角加速度测量子电极 3al、3a2、2个扇形角速度测量子电极3bl、3b2和多个保护电极3cl、3c2、3c3、3c4、3c5，所述 的质量块下极板14具有2个扇形角加速度测量子电极3a' 1、3a' 2、2个扇形角速度测量子 电极3b' 1、3b' 2和多个保护电极3c' 1、3c' 2、3c' 3、3c' 4、3c' 5 ; 所述的上端盖极板2的两个角加速度测量子电极2al、2c2与所述的第一输出端子 17相连，另两个角加速度测量子电极2a2、2cl与所述的第三输出端子19相连；所述的上端 盖极板2两个角速度测量子电极2bl、2b2与所述的第二输出端子18相连；
所述的下端盖极板15两个角加速度测量子电极2a' 1、2c' 2与所述的第五输出端 子21相连，另两个角加速度测量子电极2a' 2、2c' 1与所述的第七输出端子23相连，所述 的下端盖极板15两个角速度测量子电极2b' 1、2b' 2与所述的第六输出端子22相连；
所述的质量块上极板3两个角加速度测量子电极3al、3a2和所述的质量块下极板 14的两个角加速度测量子电极3a' 1、3a' 2与所述的第四输出端子20相连；所述的质量块 上极板3两个角速度测量子电极3bl、3b2和所述质量块下极板14两个角速度测量子电极 3b' 1、3b' 2与所述的第八输出端子24相连。 参见图3和图4，所述的上端盖极板2中的两个角加速度测量子电极2al、2a2之 间的缝隙在所述的质量块上电极3的投影正好平分质量块上电极3的角加速度测量子电极 3al ;下端盖极板15中两角加速度测量子电极2a' 1、2a' 2之间的缝隙在质量块下电极14 的投影正好平分质量块下电极14的角加速度测量子电极3a' 1。 如图1所示，上端盖1和下端盖15由刚度大的材料做成。可以是金属材料但不限 于金属材料。为了保证运动中端盖的变形不影响加速度测量，端盖的厚度不能太薄。
如图1所示，质量块8由刚度大，密度大的材料做成。可以是金属材料但不限于金 属材料。质量块两端的颈部均匀分布着四个孔，每个孔刚好能够插入弹性支杆的一端。
如图l所示，圆筒体9由刚度大的材料做成。可以是金属材料但不限于金属材料。
圆筒体9的两端分别均匀分布着4个凹槽，刚好可以放入弹性支杆的一端。 如图2所示，所述的弹性支杆的一端插入质量块8颈部的插孔，另一端放在圆筒的
凹槽中，所述的上端盖1和下端盖16与圆筒9相固定，同时也固定各弹性支杆，从而固定形
成运动敏感机构。 本发明的工作原理令上端盖极板角加速度测量子电极2a2与2cl和质量块上极 板角加速度测量子电极3al与3a2形成的电容(即输出端子19与输出端子20之间的电 容)为Crl，上端盖极板角加速度测量子电极2al与2c2和质量块上极板角加速度测量子电 极3al与3a2形成的电容(即输出端子17与输出端子20之间的电容)为Cr2，下端盖极 板角加速度测量子电极2a' 2与2c' 1和质量块下极板角加速度测量子电极3a' 1与3a' 2 形成的电容(即输出端子23与输出端子20之间的电容)为Cr3，下端盖极板角加速度测量 子电极2a' 1与2c' 2和质量块下极板角加速度测量子电极3a' 1与3a' 2形成的电容(即 输出端子21与输出端子20之间的电容)为Cr4。令Crl与Cr3串联输出的电容(即输出 端子19与输出端子23之间的电容)为Cr5， Cr2与Cr4串联输出的电容(即输出端子17 与输出端子21之间的电容)为Cr6。令上端盖极板加速度测量子电极2bl与2b2和质量 块上极板加速度测量子电极3bl与3b2形成的电容(即输出端子18与输出端子24之间的 电容)为Cl，下端盖极板加速度测量子电极2b' 1与2b' 2和质量块下极板加速度测量子 电极3b' 1与3b' 2形成的电容(即输出端子22与输出端子24之间的电容)为C2。令上 端盖极板角加速度测量子电极2a2与2cl和质量块上极板角加速度测量子电极3al与3a2 之间的有效面积为Srl，上端盖极板角加速度测量子电极2al与2c2和质量块上极板角加 速度测量子电极3al与3a2之间的有效面积为Sr2，下端盖极板角加速度测量子电极2a' 2 与2c' 1和质量块下极板角加速度测量子电极3a' 1与3a' 2的有效面积为Sr3，下端盖极 板角加速度测量子电极2a' 1与2c' 2和质量块下极板角加速度测量子电极3a' 1与3a' 2 的有效面积为Sr4，上端盖极板加速度测量子电极2bl与2b2和质量块上极板加速度测量子 电极3bl与3b2的有效面积为Sl，下端盖极板加速度测量子电极2b' 1与2b' 2和质量块 下极板加速度测量子电极3b' 1与3b' 2的有效面积为S2，上端盖极板2与质量块上极板3 之间的距离为dl，下端盖极板15与质量块下极板14之间的距离为d2。
根据所述装配，在任何情况下，都满足Srl = Sr3， Sr2 = Sr4， Sl = S2。
对于平板电容，电容值与有效面积成正比，与平板间距离成反比，令其表达式为
C-p;，其中p为常数。贝ijCl = ;3 ，C2 = , ，05 = ，06 = 。 在无加速度情况下，Sri = Sr2， dl = d2。此时，Cl = C2， Cr5 = Cr6。
当该加速度计受到纵向加速度时，质量块8在惯性力的作用下，会与圆筒9、上端 盖1、下端盖16发生相对位移Ad，从而导致dl、 d2分别变化为dl+Ad、 d2-Ad。即dl与 d2的变化大小相等，方向相反。对应的电容C1、C2的变化也大小相等，方向相反，从而形成 差动结构，通过测量Cl与C2的值，即可获得纵向加速度值。经过分析可知，当加速度向上 时，Cl减小，C2增大；当加速度向下时，Cl增大，C2减小，它们变化量大小相等，方向相反。
8此时，Srl、Sr 2、Sr 3、Sr 4无变化，上端盖极板2与下端盖极板15之间的距离不变化，因 此，Cr5与Cr6不变化 当该加速度计受到纵向角加速度时，质量块8在惯性力的作用下，会与圆筒及端 盖产生相对旋转，从而导致Srl与Sr3分别变化为Srl+A S、Sr3_ A S，其中AS为旋转产生 的有效面积变化量，此时，Srl与Sr3变化量大小相等，方向相反。因此，对应的Cr5与Cr6 的变化量也大小相等，方向相反，从而形成差动结构。通过测量Cr5与Cr6的值，即可获得 纵向角加速度值。经过分析可知，当角加速度向上时，Cr5增大，Cr6减小；当角加速度向下 时，Cr5减小，Cr6增大。此时，dl、 d2不变化，当角加速度在量程内，有效面积Sl、 S2也不 变化，即C1、C2不变化。 由以上分析可知当有纵向加速度时，第二输出端子18与第八输出端子24之间的 电容Cl和第六输出端子22与第八输出端子24之间的电容C2发生变化，大小相等，方向相 反。当有纵向角加速度时，第三输出端子19与第七输出端子23之间的电容Cr5和第一输 出端子17与第五输出端子21之间的电容Cr6发生变化，大小相等，方向相反。因为Cl和 C2之差的变化与Cr5和Cr6之差的变化是相互独立的，所以，可以同时测量纵向加速度和纵 向角加速度而无耦合现象。
权利要求
一种电容式加速度计，其特征在于包括上端盖(1)，在上端盖的内表面绝缘地贴设上端盖极板(2)，且在上端盖的内表面的中心具有一块突出的绝缘的止动块；下端盖(16)，在下端盖(16)的内表面绝缘地贴设下端盖极板(15)，且在下端盖的内表面的中心具有一块突出的绝缘的止动块；质量块(8)是上下两端分别具有缩颈的“王”字形的实心圆柱体，在该实心圆柱体的上下端分别绝缘地设有质量块上极板(3)和质量块下极板(14)，该质量块(8)的上缩颈和下缩颈的周围分别对称地设有四个相互绝缘的插孔；圆筒体(9)，在该圆筒体(9)的上下两端四边对称地分别设有四个绝缘的凹槽，与所述的质量块(8)的上缩颈和下缩颈的周围分别对称地设有四个绝缘的插孔相对应；第一弹性支杆(4)、第二弹性支杆(5)、第三弹性支杆(6)和第四弹性支杆(7)的两端分别固定在所述的圆筒体(9)的上端的四个凹槽中和所述的质量块(8)上缩颈的四个插孔中，第五弹性支杆(10)、第六弹性支杆(11)、第七弹性支杆(12)和第八弹性支杆(13)的两端分别固定在所述的圆筒体(9)的下端的四个凹槽中和所述的质量块(8)下缩颈的四个插孔中，所述的上端盖(1)和下端盖(16)与所述的圆筒体(9)相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块(8)通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体(9)连接，形成敏感运动机构；所述的上端盖极板(2)与下端盖极板(15)完全相同，所述的质量块上极板(3)和质量块下极板(14)完全相同，所述的上端盖极板(2)、下端盖极板(15)、质量块上极板(3)、质量块下极板(14)都具有多块相互间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板(2)、下端盖极板(15)分别和质量块上极板(3)、质量块下极板(14)构成差分电容式结构。
2. 根据权利要求l所述的电容式加速度计，其特征在于所述的第一弹性支杆(4)、第二 弹性支杆(5)、第三弹性支杆(6)、第四弹性支杆(7)伸出所述的圆筒体(9)的上端的四个 凹槽的外端分别形成第一输出端子(17)、第二输出端子(18)、第三输出端子(19)和第四输 出端子(20)，所述的第五弹性支杆(10)、第六弹性支杆(11)、第七弹性支杆(12)和第八弹 性支杆(13)伸出所述的圆筒体(9)的下端的四个凹槽的外端分别形成第五输出端子(21)、 第六输出端子(22)、第七输出端子(23)和第八输出端子(24);所述的上端盖极板(2)有4个扇形角加速度测量子电极(2al、2a2、2cl、2c2)、2个扇形 角速度测量子电极(2bl、2b2)和多个保护电极(2dl、2d2、2d3、2d4、2d5、2d6)，所述的下端 盖极板(15)有4个扇形角加速度测量子电极(2a' 1、2a' 2、2c' 1、2c' 2)、2个扇形角速度 测量子电极(2b' 1、2b' 2)和多个保护电极(2d' 1、2d' 2、2d' 3、2d' 4、2d' 5、2d' 6);所述 的质量块上极板(3)具有2个扇形角加速度测量子电极(3al、3a2)、2个扇形角速度测量子 电极(3bl、3b2)和多个保护电极(3cl、3c2、3c3、3c4、3c5)，所述的质量块下极板(14)具有 2个扇形角加速度测量子电极(3a' 1、3a' 2) 、2个扇形角速度测量子电极(3b' 1、3b' 2)和 多个保护电极(3c' 1、3c' 2、3c' 3、3c' 4、3c' 5);所述的上端盖极板(2)的两个角加速度测量子电极(2al、2c2)与所述的第一输出端子 (17)相连，另两个角加速度测量子电极(2a2、2cl)与所述的第三输出端子(19)相连；所述 的上端盖极板(2)两个角速度测量子电极(2bl、2b2)与所述的第二输出端子(18)相连；所述的下端盖极板(15)两个角加速度测量子电极(2a' 1、2c'2)与所述的第五输出端 子(21)相连，另两个角加速度测量子电极(2a'2、2c'l)与所述的第七输出端子(23)相连，所述的下端盖极板(15)两个角速度测量子电极(2b'l、2b'2)与所述的第六输出端子(22) 相连；所述的质量块上极板(3)两个角加速度测量子电极(3al、3a2)和所述的质量块下极板 (14)的两个角加速度测量子电极(3a' 1、3a' 2)与所述的第四输出端子(20)相连；所述的 质量块上极板(3)两个角速度测量子电极(3bl、3b2)和所述质量块下极板(14)两个角速 度测量子电极(3b' 1、3b' 2)与所述的第八输出端子(24)相连。
3. 根据权利要求l所述的电容式加速度计，其特征在于所述的上端盖极板(2)中的两 个角加速度测量子电极(2al、2a2)之间的缝隙在所述的质量块上电极(3)的投影正好平分 质量块上电极(3)的角加速度测量子电极(3al);下端盖极板(15)中两角加速度测量子电 极(2a' 1、2a' 2)之间的缝隙在质量块下电极(14)的投影正好平分质量块下电极(14)的 角加速度测量子电极(3a， 1)。
4. 根据权利要求l所述的电容式加速度计，其特征在于所述的第二输出端子(18)与 第八输出端子(24)之间的电容C1和第六输出端子(22)与第八输出端子(24)之间的电容 C2发生变化，大小相等，方向相反，Cl和C2之差表示测量物体的纵向加速度；第三输出端子 (19)与第七输出端子(23)之间的电容Cr5和第一输出端子(17)与第五输出端子(21)之 间的电容Cr6发生变化，大小相等，方向相反，Cr5和Cr6之差表示测量物体的纵向角加速 度。
全文摘要
一种电容式加速度计，包括具有上端盖极板的上端盖、有下端盖极板的下端盖、具有质量块极板上极板和质量块下极板的质量块、圆筒体和八根弹性支杆，所述的上端盖和下端盖与圆筒体相结合，将所述的弹性支杆固定，所述的质量块通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体连接，形成敏感运动机构；所述的上端盖极板、下端盖极板、质量块上极板、质量块下极板都具有多块相互间隔的扇形子电极，这些扇形子电极使所述的上端盖极板、下端盖极板分别和质量块上极板、质量块下极板构成差分电容式结构。本发明能够同时测量纵向加速度及角加速度。
文档编号G01P15/125GK101710133SQ200910198629
公开日2010年5月19日 申请日期2009年11月11日 优先权日2009年11月11日
发明者刘芳, 孙平平, 孙明营, 张涛, 朱健强 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所