专利名称：一种简易的束流检测系统的制作方法
技术领域：
本发明是一种简易的束流检测系统，用于半导体制造中离子注入机的束流检测，属于半导体控制领域。
背景技术：
现有半导体集成电路制造技术中，离子注入机作为半导体离子掺杂エ艺线的关键设备之一，也是军用微电子器件最关键的制造设备之一。离子注入机制造的硅集成电路、神化镓超高速集成电路、神化镓微波/毫米波集成电路被广泛应用于微波雷达、数字微波通信、卫星通信等领域，是各类通信机、电台、雷达系统、电视发射差转及车载移动通信设备的关键核心器材，也是国防建设中微波波束武器和微波雷达的重要组成部分，由于这些高精尖项目的需要，由此对离子注入机提出了很高的要求，要求离子注入机具有:自动化程度高、注入掺杂均匀性、重复性好，控制剂量精度高，而这些都与束流注入掺杂密切相关，因此需要用到离子注入机宽范围电流检测及监控束流的品质。
发明内容
针对现有半导体エ艺中离子注入机设备发展的要求，本发明提供了ー种用于检测离子注入机束流的简易系统。本发明通过以下技术方案实现:一种简易的束流检测系统，包括:エ控机(I)、控制器(2)、法拉第杯(3)、档位选择器(4)、I/V转换器(5)、束流运 放器￠)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)。法拉第杯(3)分别与档位选择器(4)及I/V转换器(5)相连；I/V转换器(5)与束流运放器￠)、纹波运放器⑵和噪声运放器⑶相连；控制器⑵与档位选择器⑷相连；束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器⑶与控制器⑵相连。所述的エ控机(I)用于判断检测的束流档位，实现自动换挡；所述的控制器(2)控制模拟开关盒读取检测到的束流值、纹波及噪声信号；所述的法拉第杯(3)用于接收注入掺杂束流的装置；所述档位选择器⑷选择宽范围电流检测的不同档位；所述I/V转换器(5)将接收来的束流进行电流到电压的转换；所述束流运放器(6)将所述I/V转换器(5)转换后的电压值进行放大；所述的纹波运放器(7)获取所述I/V转换器(5)转换后的纹波信号进行放大；所述的噪声运动器(8)获取所述I/V转换器(5)转换后的杂波信号；本发明专利具有如下显著优点:1.采用档位选择器，可以根据束流的大小来自动选择合适的档位，控制简单有效，方便可靠；2.通过纹波运放器及噪声运放器分别过滤出束流的纹波和杂波信号，实时监控束流的品质；
下面结合附图和具体实施例对本发明作进ー步介绍，但不作为对本发明专利的限定。图1 一种简易的束流检测系统；
具体实施例方式下面结合附图的具体实施例对本发明作进ー步介绍，应该理解，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。图1中示出了一种简易的束流检测系统，其包括:エ控机(I)、控制器(2)、法拉第杯(3)、档位选择器(4)、I/V转换器(5)、束流运放器￠)、纹波运放器(7)和噪声运放器。法拉第杯(3)分别与档位选择器(4)及I/V转换器(5)相连；I/V转换器(5)与束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器⑶相连；控制器⑵与档位选择器⑷相连；束流运放器出)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)与控制器(2)相连。法拉第杯(3)将接收到的带电粒子以电流的形式通过电缆传输到I/V转换器(5)和档位选择器(4)，I/V转换器
(5)和档位选择器(4)的作用下，束流信号转换成合适的电压信号，分别传送给束流运放器
(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)，经束流运放器￠)、纹波运放器(7)和噪声运放器
(8)处理及放大，控制器(2)将束流运放器￠)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)处理及放大后的信号送至エ控机(I)，此时エ控机(2)根据检测接收到的电压值进行判断，如果其值大于I小于9那么久不需要换挡；如果其值小于1，那么就需要向下换ー个小10倍的档，如果大于9就向上换ー个大10倍的档位，这时エ控机(I)就向控制器(2)发送指令控制档位选择器(4)来选择ー个合适的档位，来满足检测到的束流与实际值误差最小。另纹波运放器(7)和噪声运放器( 8)将获取束流中的纹波信号和杂波信号，用于实时监控束流的品质。本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，或者惯用手段的直接替换，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.一种简易的束流检测系统，包括:エ控机⑴、控制器⑵、法拉第杯⑶、档位选择器(4)、I/V转换器(5)、束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)。
2.如权カ要求I所述的ー种简易的束流检测系统，其特征在于，其中所述的法拉第杯(3)分别与档位选择器(4)及I/V转换器(5)相连；I/V转换器(5)与束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器⑶相连；控制器⑵与档位选择器⑷相连；束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)与控制器(2)相连。
全文摘要
一种简易的束流检测系统，包括工控机(1)、控制器(2)、法拉第杯(3)、档位选择器(4)、I/V转换器(5)、束流运放器(6)、纹波运放器(7)和噪声运放器(8)。说明书对本系统的工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
文档编号G01T1/29GK103137409SQ20111039037
公开日2013年6月5日 申请日期2011年11月25日 优先权日2011年11月25日
发明者彭彬 申请人:北京中科信电子装备有限公司