专利名称：瑕疵检测结果整合系统及方法
技术领域：
本发明是有关于一种瑕疵(defect)检测结果整合系统及方法，特别是指一种适用于多制程阶段的瑕疵检测结果整合系统及方法。
背景技术：
偏光膜为液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)的关键零组件之一，其属于一种高分子多层复合材料，且其制造包含了像是延伸、贴合、涂布、及精密裁切等多个制程阶段。在偏光膜的各制程阶段中，对其进行瑕疵检测有助于提升产品的质量；目前已有各式自动光学检测(Automated Opticallnspection，简称Α0Ι)装置，可自动化地针对各制程阶段的偏光膜进行瑕疵检测。近年来，卷对卷(roll to roll)架构的制造设备挟着其高产能及低成本的优势，已成为软性电子产品(flexible electronics，例如，偏光膜)的主流生产设备。由于偏光膜在各制程阶段是独立地进行瑕疵检测，再者，同一卷偏光膜在某一制程阶段(例如，延伸-贴合制程阶段)处理完后到下一制程阶段(例如，PSA(Pressure Sensitive Adhesives)涂布阶段)，会因为收放卷的位置不同，上、下卷料互换等因素而无法准确对位；所以现有的作法为针对每一制程阶段，在进行瑕疵检测后皆须加设一台喷印装置 (printer)，并在进入下一制程阶段前，于偏光膜上被检测出瑕疵的发生处进行喷印以作为标记(mark)；最后还需藉由人工方式进一步对各制程阶段的瑕疵检测结果进行判断、评估及整合，造成效率不彰且容易有判断标准不一的情况发生。
发明内容
因此，本发明的目的，即在于提供一种瑕疵检测结果整合方法，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果。其中，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号。于是，本发明瑕疵检测结果整合方法，利用包括处理单元、瑕疵检测装置、定位记号读取单元，及记忆单元的一个系统来执行，该方法包含下列步骤(A)于第一制程阶段中，利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第一制程阶段中的第一影像以产生第一影像讯框，其中，该第一影像涵盖已标示于该多层膜的定位记号，该定位记号载有一笔参考点位置信息，该参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关；(B)利用该瑕疵检测装置根据该第一影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第一影像的第一瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处；(C)当该第一影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处相对于该第一影像中的该定位记号的第一瑕疵相对位置信息，其中，该第一瑕疵相对位置信息对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；(D)利用该处理单元将该第一瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元；(E)于第二制程阶段中，当该定位记号读取单元读取到已标示于该多层膜的定位记号时，传送此步骤中所读取到的该定位记号所载的该参考点位置信息；(F)利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第二制程阶段中的第二影像以产生第二影像讯框，该第二影像涵盖步骤(E)中读取到的该定位记号；(G)利用该瑕疵检测装置根据该第二影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第二影像的第二瑕疵检测结果，其中，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于第二影像中的发生处；(H)当该第二影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处相对于该第二影像中的该定位记号的第二瑕疵相对位置信息，其中，该第二瑕疵相对位置信息对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；及(I)利用该处理单元根据该参考点位置信息、该第一瑕疵相对位置信息，及该第二瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信息。作为可选的技术方案，该系统还包括标示装置，该方法还包含步骤(A)之前的下列步骤(J)利用该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜标示该定位记号。作为可选的技术方案，该多层膜具有至少一个膜边，其中，在该步骤(J)中，利用该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜的该膜边标示该定位记号。作为可选的技术方案，定义平行于该多层膜的该膜边的第一轴，及垂直于该第一轴的第二轴，其中，步骤(C)包括下列子步骤(c-1)根据来自该制造设备的脉冲信号，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第一轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息Xl ；(c-2)根据该第一瑕疵检测结果，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处分别沿该第一、二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离比例；及(c-3)根据该距离信息Xl及该距离比例，以求得该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息yl，其中，该第一瑕疵相对位置包括Xl及yl。作为可选的技术方案，该系统还包括标示装置，该方法还包含步骤(I)之后的下列步骤(K)利用该标示装置根据该瑕疵位置整合信息对应地于该多层膜上标示至少一个瑕疵标记。本发明之另一目的，即在提供一种瑕疵检测结果整合系统，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果。其中，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号。于是，本发明瑕疵检测结果整合系统包含瑕疵检测装置、定位记号读取单元，及一电子装置。该瑕疵检测装置用以撷取该多层膜分别于第一制程阶段中及第二制程阶段中的第一影像及第二影像，以分别产生第一影像讯框及第二影像讯框，其中，该第一影像及该第二影像分别涵盖已标示于该多层膜的定位记号，其中，每一定位记号载有一笔参考点位置信息，每一参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关，该瑕疵检测装置还用以分别根据该第一影像讯框及该第二影像讯框进行瑕疵检测，以分别得到对应于该第一影像的第一瑕疵检测结果及对应于该第二影像的第二瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第二影像中的发生处。该定位记号读取单元用以当其读取到已标示于该多层膜的定位记号时，传送该定位记号所载的该参考点位置信息。该电子装置可与该制造设备、该瑕疵检测装置及该定位记号读取单元进行通讯， 该电子装置包括处理单元及记忆单元。其中，当该第一影像中有瑕疵存在时，该处理单元用以根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处相对于该第一影像中的该定位记号的第一瑕疵相对位置信息，并用以将该第一瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元，其中，该第一瑕疵相对位置信息对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息。其中，当该第二影像中有瑕疵存在时，该处理单元还用以根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处相对于该第二影像中的该定位记号的第二瑕疵相对位置信息，并用以将该第二瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元，其中，该第二瑕疵相对位置信息系对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息。其中，该处理单元还根据该参考点位置信息、该第一瑕疵相对位置信息，及该第二瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信肩、ο作为可选的技术方案，还包含可与该电子装置进行通讯的标示装置，用以根据该参考点位置信息于该多层膜标示该定位记号。作为可选的技术方案，该多层膜具有至少一个膜边，其中，该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜的该膜边标示该定位记号。作为可选的技术方案，定义平行于该多层膜的该膜边的第一轴，及垂直于该第一轴的第二轴，其中，当该第一影像中有瑕疵存在时，该处理单元进行以下处理，以得到该第一瑕疵相对位置根据来自该制造设备的脉冲信号，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第一轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息Xl ；根据该第一瑕疵检测结果，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处分别沿该第一、 二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离比例；及根据该距离信息Xl及该距离比例，以求得该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息yl，其中，该第一瑕疵相对位置包括xl及yl。作为可选的技术方案，还包含可与该电子装置进行通讯的标示装置，用以根据该瑕疵位置整合信息对应地于该多层膜上标示至少一个瑕疵标记。与现有技术相比，本发明之功效在于藉由标示于该多层膜的该膜边的定位记号， 使得多个不同制程阶段中检测到的瑕疵位置(例如，该第一、二瑕疵相对位置信息)有对位的依据，可供自动地整合该等制程阶段的瑕疵检测结果，而得到该瑕疵位置整合信息。
图1是所示为根据本发明瑕疵检测结果整合系统的较佳实施例的方块图；图2所示为在第一制程阶段结束之后，多层膜的一个膜边于每相隔一个预设的间距之处已标示的定位记号及被检测到的瑕疵的发生处，以及在第二制程阶段结束之后，被检测到的瑕疵的发生处及已对应标示的瑕疵标记的示意图；图3所示为根据本发明瑕疵检测结果整合方法的较佳实施例于该第一制程阶段所执行的步骤流程图；图4所示为在该第一制程阶段所撷取的第一影像，及在该第二制程阶段所撷取的第二影像的示意图；及图5所示为根据本发明瑕疵检测结果整合方法之较佳实施例于该第二制程阶段所执行的步骤流程图。
具体实施例方式有关本发明的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。请参阅图1与图2，图1所示为根据本发明瑕疵检测结果整合系统1的较佳实施例的方块图，适用于整合多层膜2于制造设备(图未示)所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果；在本较佳实施例中，多层膜2为偏光膜，制造设备(图未示)采用卷对卷(Roll to Roll)架构来进行多个相异的制程阶段以制造偏光膜；由于制造设备(图未示)的各个构件的功能及详细运作方式为熟习此项技术者所熟知，故不在此赘述。瑕疵检测结果整合系统1包含电子装置11、标示装置12、瑕疵检测装置13，及定位记号读取单元14。在本较佳实施例中，电子装置11为一台服务器(server)，标示装置12 为一台喷印装置。电子装置11包括收发单元111、处理单元112及记忆单元113 ；电子装置 11藉由收发单元111可与制造设备(图未示)、标示装置12、瑕疵检测装置13，及定位记号读取单元14以有线或无线的方式进行通讯；记忆单元113的实施方式例如为数据库。在多层膜2的制造过程中，藉由制造设备(图未示)的驱动件(例如，马达，图未示)的驱动而带动多层膜2朝预定的输送方向传送；其中，前述驱动件搭配驱动件编码器(例如，马达编码器，图未示)来使用，其中，驱动件编码器用以产生脉冲信号(encoder pulse)，以作为提供与多层膜2于传送中相关的位置信息之用；多层膜2具有至少一个膜边 21。由于利用脉冲信号求得位置的相关运算为熟习此项技术者所熟知，故不在此赘述。请参阅图1至图3，为了更进一步说明本发明瑕疵检测结果整合系统1的各个构件的功能、运作，以及瑕疵检测结果整合系统1与制造设备(图未示)于制造过程中的互动关系，以下配合本发明瑕疵检测结果整合方法的较佳实施例来描述。为了便于描述，先给出下列定义平行于多层膜2的膜边21的第一轴Li，以及垂直于该第一轴Ll的第二轴L2。第一制程阶段在步骤301中，电子装置11的收发单元111接收来自制造设备(图未示)的第一开始信号；其中，第一开始信号用于指示第一制程阶段的开始。在本较佳实施例中，第一制程阶段为延伸-贴合制程阶段。值得一提的是，在第一制程阶段的以下步骤的处理过程中，电子装置11的收发单元111持续地接收来自制造设备(图未示)的脉冲信号，以供电子装置11的处理单元112 进行相关运算及处理。在步骤302中，电子装置11的处理单元112透过收发单元111传送参考点位置信息给标示装置12。在本较佳实施例中，第一制程阶段的起始的(第一个)参考点位置信息可为0米(meter)。在步骤303中，标示装置12根据参考点位置信息于多层膜2标示(例如，喷印) 载有(carry)参考点位置信息的定位记号，在本较佳实施例中，标示装置12于多层膜2的膜边21对应标示定位记号，处理单元112同时将参考点位置信息，及目前透过收发单元 111接收到的脉冲信号记录至记忆单元113，并以此步骤中所记录的脉冲信号作为第一笔第一参考脉冲信号；更进一步来说，参考点位置信息与定位记号被标示于多层膜2的膜边 21的位置相关；且膜边21所标示的定位记号不会受到各制程阶段的制程效果的影响而被遮蔽。在本较佳实施例中，定位记号读取单元14会接着立即读取此步骤中所标示的定位记号，以核对其所载的信息是否无误；定位记号为载有参考点位置信息的二维条形码OD barcode)，定位记号读取单元14为二维条形码读取器QD barcode reader)。在步骤304中，瑕疵检测装置13撷取多层膜2于第一制程阶段中的第一影像 (image)以产生第一影像讯框(frame)，其中，第一影像至少涵盖已标示于膜边21的定位记号。在步骤305中，瑕疵检测装置13根据第一影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于第一影像的第一瑕疵检测结果。由于瑕疵检测装置13所进行的瑕疵检测为熟习此项技术者所熟知，故不在此赘述。在步骤306中，处理单元112根据第一瑕疵检测结果判断第一影像中是否有瑕疵存在；若是，则至步骤307继续进行处理；否则，至步骤309继续进行处理。其中，当第一影像中有至少一个瑕疵存在时，第一瑕疵检测结果用以指示瑕疵于该第一影像中的发生处。在步骤307中，处理单元112根据第一瑕疵检测结果、记忆单元113内所记录的最近一笔第一参考脉冲信号，及当检测到该瑕疵发生时透过收发单元111所接收到的脉冲信号，以得到瑕疵于第一影像中的发生处相对于第一影像中的定位记号的第一瑕疵相对位置信息；更进一步来说，第一瑕疵相对位置信息对应于第一影像中的定位记号所载的参考点位置信息。令第一轴Ll及第二轴L2构成一个二维直角坐标系，并以第一影像中的定位记号为一个参考点，在本较佳实施例中，第一瑕疵相对位置信息即为瑕疵于第一影像中的发生处相对于参考点的一个二维相对坐标。在步骤308中，处理单元112将步骤307所得到的第一瑕疵相对位置信息记录至记忆单元113。举例来说，如图4所示，其显示了一个涵盖载有第一制程阶段的起始的(第一个) 参考点位置信息的定位记号的第一影像4。为了便于描述，将载有起始的参考点位置信息的定位记号以A表示。假设于第一制程阶段的第一影像4中有一个瑕疵存在，且其发生处以 Pl表示。处理单元112根据记忆单元113内所记录的最近一笔第一参考脉冲信号，及当检测到瑕疵发生时透过收发单元111所接收到的脉冲信号，可求得Pl沿着第一轴Ll相对于定位记号A的一个距离信息Xl ；由于处理单元112根据第一瑕疵检测结果，还可得到Pl分别沿第一、二轴L1、L2相对于定位记号A的一个距离比例(假设该距离比例以R表示)，因此处理单元112可再根据该距离信息xl及距离比例R，以求得Pl沿着第二轴L2相对于定位记号A的一个距离信息yl，S卩，yl = xl + R;换言之，Pl的第一瑕疵相对位置(二维相对坐标)包括xl及yl，其可表示为(xl，yl)。请参阅图1至图3，在步骤309中，处理单元112判断收发单元111是否接收到来自制造设备(图未示)的第一结束信号；若是，则结束处理；否则，至步骤310继续进行处理。其中，第一结束信号用于指示第一制程阶段的结束。在步骤310中，处理单元112根据记忆单元113内所记录的最近一笔第一参考脉冲信号，及目前透过收发单元111所接收到的脉冲信号，以得到间距。在步骤311中，处理单元112判断该间距是否等于预设的间距；若是，则至步骤 312继续进行处理；否则，回到步骤310继续进行处理。在步骤312中，处理单元112将当该间距等于预设的间距时所接收到的脉冲信号记录至记忆单元113，并以此步骤中所记录的脉冲信号作为第一参考脉冲信号。在步骤313中，处理单元112根据记忆单元113内所记录的最近一笔第一参考脉冲信号，及记忆单元113内所记录的第一笔第一参考脉冲信号，以得到参考点位置信息，并将参考点位置信息记录至记忆单元113，且将其透过收发单元111传送给标示装置12。在步骤314中，标示装置12根据参考点位置信息于多层膜2的膜边21标示载有参考点位置信息的定位记号；然后，回到步骤304继续进行处理。在本较佳实施例中，定位记号读取单元14会接着立即读取此步骤中所标示的定位记号，以核对其所载的信息是否无误。换言之，参考点位置信息实质上即为步骤314中所标示的定位记号，沿着第一轴 Ll相对于载有起始的参考点位置信息的定位记号的一个距离信息。小结上述，在第一制程阶段结束之后，多层膜2的膜边21于每相隔预设的间距之处会被对应标示定位记号，假设该预设的间距为d，且这些定位记号依序以A、B、C及D表示，则其等载有的这些参考点位置信息分别为0、d、2d，及3d(米)。假设在第一制程阶段中所检测到的多个瑕疵的发生处分别以P1、P2、P3，及P4表示，则记忆单元113已记录有这些第一参考脉冲信号、这些参考点位置信息，以及Pl P4的第一瑕疵相对位置。更进一步来说，由记忆单元113所记录的这些第一参考脉冲信号、这些参考点位置信息，以及这些第一瑕疵相对位置，可得知相邻的两个定位记号间，已检测到的瑕疵所对应的第一瑕疵相对位置。第二制程阶段请参阅图1、图2与图5，在步骤501中，电子装置11的收发单元111接收来自制造设备(图未示)的第二开始信号；其中，该第二开始信号用于指示第二制程阶段的开始。 在本较佳实施例中，第二制程阶段为PSA涂布阶段；更进一步来说，如图2所示，多层膜2在第一、二制程阶段中，其上、下卷料是互换的。值得一提的是，在第二制程阶段的以下步骤的处理过程中，电子装置11的收发单元111仍持续地接收来自制造设备(图未示)的脉冲信号，以供电子装置11的处理单元112进行相关运算及处理。在步骤502中，定位记号读取单元14持续地读取数据，且当定位记号读取单元14 读取到已标示于多层膜2的膜边21的其中一个定位记号时，至步骤503继续进行处理。在步骤503中，定位记号读取单元14将步骤502中所读取到的定位记号所载的参考点位置信息传送给电子装置11，处理单元112同时将目前透过收发单元111接收到的脉冲信号记录至记忆单元113，并以此步骤中记录的脉冲信号作为一笔第二参考脉冲信号。在步骤504中，瑕疵检测装置13撷取多层膜2于第二制程阶段中的第二影像以产生第二影像讯框，其中，第二影像涵盖步骤502中读取到的定位记号。在步骤505中，瑕疵检测装置13根据第二影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于第二影像的第二瑕疵检测结果。在步骤506中，处理单元112根据第二瑕疵检测结果判断第二影像中是否有瑕疵存在；若是，则至步骤507继续进行处理；否则，至步骤509继续进行处理。其中，当第二影像中有至少一个瑕疵存在时，第二瑕疵检测结果用以指示瑕疵于该第二影像中的发生处。在步骤507中，处理单元112根据第二瑕疵检测结果、记忆单元113内所记录的最近一笔第二参考脉冲信号，及当检测到瑕疵发生时透过收发单元111所接收到的脉冲信号，以得到瑕疵于该第二影像中的发生处，相对于第二影像中的定位记号的第二瑕疵相对位置信息；更进一步来说，第二瑕疵相对位置信息对应于该第二影像中的定位记号所载的参考点位置信息。类似地，以第二影像中的定位记号为一个参考点，在本较佳实施例中，第二瑕疵相对位置信息即为瑕疵于第二影像中的发生处相对于参考点的一个二维相对坐标。在步骤508中，处理单元112将步骤507所得到的第二瑕疵相对位置信息记录至记忆单元113。在步骤509中，处理单元112判断收发单元111是否接收到来自制造设备(图未示)的第二结束信号；若是，则至步骤510继续进行处理；否则，回到步骤502继续进行处理。其中，第二结束信号用于指示第二制程阶段的结束。在步骤510中，处理单元112根据记录于记忆单元113的(这些)参考点位置信息，(这些)第二瑕疵相对位置信息，以及(这些)第一瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信息，并将其传送给标示装置12。在步骤511中，标示装置12根据瑕疵位置整合信息对应地于多层膜2上标示至少一个瑕疵标记，并于所有的瑕疵标记标示完后结束处理。如图2所示，在本较佳实施例中， 以虚线方框来作为瑕疵标记。延续以上范例，并请配合回顾图4，其还显示了一个涵盖该定位记号D的第二影像 6。假设于第二制程阶段的第二影像6中有一个瑕疵存在，且其发生处以P'表示。在本较佳实施例中，由于多层膜2在第一、二制程阶段中，其上、下卷料是互换的，因此，于第一制程阶段检测到的瑕疵的发生处P4的第一瑕疵相对位置信息必须经过坐标转换后，得到瑕疵的发生处P4相对于定位记号D的一个二维相对坐标，以供处理单元112据以得到一笔瑕疵位置整合信息，其中，瑕疵位置整合信息包括定位记号D所载的参考点位置信息、于第二制程阶段检测到的瑕疵的发生处P'的第二瑕疵相对位置信息，及于第一制程阶段检测到的瑕疵的发生处P4相对于定位记号D的二维相对坐标。值得一提的是，「坐标转换」的目的是用于将不同制程阶段检测到的瑕疵相对位置转换成相对于同一参考点，以便后续进行整合标示之用，因此，是否需进行「坐标转换」端视实际制程阶段的状况而定(例如，有上、 下卷料互换的情况即需进行坐标转换)，并不限于本范例所揭露。在本较佳实施例中，是在接收到该第二结束信号后才进行瑕疵标记的整合标示， 然，处理单元112亦可于定位记号读取单元14读取到其中一个定位记号时，根据记录于记忆单元113中相关的第一瑕疵相对位置信息得到瑕疵位置整合信息，以供标示装置12实时地进行标记，并不限于本较佳实施例所揭露。又，虽然在以上的描述当中，仅以两个制程阶段(即，第一制程阶段及第二制程阶段)为例进行说明，然，其步骤与概念可延伸应用于两个以上的制程阶段；并不限于以上描述所揭露。再者，虽然在本较佳实施例中主要是以制造偏光膜的制程阶段为例进行说明， 然，本发明瑕疵检测结果整合系统1及方法，亦可搭配各种用于进行多个制程阶段且制程阶段彼此之间缺乏对位信息的制造设备(图未示)来应用，并不限于本较佳实施例所揭露。综上所述，藉由标示于多层膜2的膜边21的定位记号，使得多个不同制程阶段中检测到的瑕疵位置(例如，第一、二瑕疵相对位置信息)有对位的依据，可供自动地整合该等制程阶段的瑕疵检测结果，而得到瑕疵位置整合信息，故确实能达成本发明的目的。以上所述者，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围， 即大凡依本发明权利要求及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。
权利要求
1.一种瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该方法利用包括处理单元、瑕疵检测装置、 定位记号读取单元，及记忆单元的系统来执行，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号，该方法包含下列步骤(A)于第一制程阶段中，利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第一制程阶段中的第一影像以产生第一影像讯框，其中，该第一影像涵盖已标示于该多层膜的定位记号，该定位记号载有一笔参考点位置信息，该参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关；(B)利用该瑕疵检测装置根据该第一影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第一影像的第一瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处；(C)当该第一影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处相对于该第一影像中的该定位记号的第一瑕疵相对位置信息，其中，该第一瑕疵相对位置信息对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；(D)利用该处理单元将该第一瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元；(E)于第二制程阶段中，当该定位记号读取单元读取到已标示于该多层膜的定位记号时，传送此步骤中所读取到的该定位记号所载的该参考点位置信息；(F)利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第二制程阶段中的第二影像以产生第二影像讯框，该第二影像涵盖步骤(E)中读取到的该定位记号；(G)利用该瑕疵检测装置根据该第二影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第二影像的第二瑕疵检测结果，其中，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于第二影像中的发生处；(H)当该第二影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处相对于该第二影像中的该定位记号的第二瑕疵相对位置信息，其中，该第二瑕疵相对位置信息对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；及(I)利用该处理单元根据该参考点位置信息、该第一瑕疵相对位置信息，及该第二瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信息。
2.如权利要求1所述的瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该系统还包括标示装置， 该方法还包含步骤(A)之前的下列步骤(J)利用该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜标示该定位记号。
3.如权利要求2所述的瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该多层膜具有至少一个膜边，其中，在该步骤(J)中，利用该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜的该膜边标示该定位记号。
4.如权利要求3所述的瑕疵检测结果整合方法，其特征在于定义平行于该多层膜的该膜边的第一轴，及垂直于该第一轴的第二轴，其中，步骤(C)包括下列子步骤(c-1)根据来自该制造设备的脉冲信号，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第一轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息Xl ；(c-2)根据该第一瑕疵检测结果，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处分别沿该第一、 二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离比例；及(c-3)根据该距离信息Xl及该距离比例，以求得该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息yl，其中，该第一瑕疵相对位置包括xl及yl。
5.如权利要求1所述的瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该系统还包括标示装置， 该方法还包含步骤(I)之后的下列步骤(K)利用该标示装置根据该瑕疵位置整合信息对应地于该多层膜上标示至少一个瑕疵标记。
6.一种瑕疵检测结果整合系统，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号，该系统包含瑕疵检测装置，用以撷取该多层膜分别于第一制程阶段中及第二制程阶段中的第一影像及第二影像，以分别产生第一影像讯框及第二影像讯框，其中，该第一影像及该第二影像分别涵盖已标示于该多层膜的定位记号，其中，每一定位记号载有一笔参考点位置信息，每一参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关，该瑕疵检测装置还用以分别根据该第一影像讯框及该第二影像讯框进行瑕疵检测，以分别得到对应于该第一影像的第一瑕疵检测结果及对应于该第二影像的第二瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第二影像中的发生处；定位记号读取单元，用以当其读取到已标示于该多层膜的定位记号时，传送该定位记号所载的该参考点位置信息；及电子装置，可与该制造设备、该瑕疵检测装置及该定位记号读取单元进行通讯，该电子装置包括处理单元及记忆单元；其中，当该第一影像中有瑕疵存在时，该处理单元用以根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处相对于该第一影像中的该定位记号的第一瑕疵相对位置信息，并用以将该第一瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元，其中，该第一瑕疵相对位置信息对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位直fe息；其中，当该第二影像中有瑕疵存在时，该处理单元还用以根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处相对于该第二影像中的该定位记号的第二瑕疵相对位置信息，并用以将该第二瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元，其中，该第二瑕疵相对位置信息对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；其中，该处理单元还根据该参考点位置信息、该第一瑕疵相对位置信息，及该第二瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信息。
7.如权利要求6所述的瑕疵检测结果整合系统，其特征在于还包含可与该电子装置进行通讯的标示装置，用以根据该参考点位置信息于该多层膜标示该定位记号。
8.如权利要求7所述的瑕疵检测结果整合系统，其特征在于该多层膜具有至少一个膜边，其中，该标示装置根据该参考点位置信息于该多层膜的该膜边标示该定位记号。
9.如权利要求8所述的瑕疵检测结果整合系统，其特征在于定义平行于该多层膜的该膜边的第一轴，及垂直于该第一轴的第二轴，其中，当该第一影像中有瑕疵存在时，该处理单元进行以下处理，以得到该第一瑕疵相对位置根据来自该制造设备的脉冲信号，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第一轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息Xl ；根据该第一瑕疵检测结果，得到该瑕疵于该第一影像中的发生处分别沿该第一、二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离比例；及根据该距离信息Xl及该距离比例，以求得该瑕疵于该第一影像中的发生处沿着该第二轴相对于该第一影像中的该定位记号的距离信息yl，其中，该第一瑕疵相对位置包括Xl 及yl。
10.如权利要求6所述的瑕疵检测结果整合系统，其特征在于还包含可与该电子装置进行通讯的标示装置，该标示装置用以根据该瑕疵位置整合信息对应地于该多层膜上标示至少一个瑕疵标记。
全文摘要
本发明揭露一种瑕疵检测结果整合系统及方法，瑕疵检测结果整合系统包含瑕疵检测装置、定位记号读取单元及电子装置。瑕疵检测装置用以撷取多层膜于第一、二制程阶段中的第一、二影像以产生第一、二影像讯框，并据以得到第一、二瑕疵检测结果；其中，第一、二影像涵盖载有参考点位置信息的定位记号。定位记号读取单元用以传送其读取到的定位记号所载的参考点位置信息。电子装置的处理单元用以根据第一、二瑕疵检测结果及来自制造设备的脉冲信号以得到第一、二瑕疵相对位置信息，并根据参考点位置信息及第一、二瑕疵相对位置信息得到瑕疵位置整合信息。本发明的系统及方法可供自动地整合各制程阶段的瑕疵检测结果，而得到瑕疵位置整合信息。
文档编号G01N21/958GK102507607SQ20111039035
公开日2012年6月20日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者余建中, 张志诚, 游莉敏, 高志远 申请人:明基材料有限公司, 明基材料股份有限公司