一种薄膜制作方法及系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及薄膜制作技术领域，尤其涉及一种薄膜制作方法及系统。
【背景技术】
[0002]OLED (Organic Light-Emitting D1de，有机发光二极管)显示装置因具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点而被广泛应用在显示技术中。在各种OLED的成膜工艺中，喷墨打印(IJP，ink jet print)是一种可直接进行图案化薄膜沉积的新型制程技术。
[0003]在喷墨打印过程中，通常将OLED功能层材料作为溶质溶解在指定溶剂中(该指定溶剂可以是乙二醇、丙三醇、甲苯、均三甲苯、苯甲醚或环己基苯等有机物中的至少一种组成的溶剂)，制备出喂'墨打印的墨水，进而，如图1所不，使用喂'墨打印机01将墨水02打印在衬底基板03上，并对打印后的衬底基板03进行干燥烘焙等工艺，使得墨水中的溶剂完全挥发，最终得到沉积在衬底基板上由OLED功能层材料组成的OLED薄膜。
[0004]然而，在上述喷墨打印过程中，喷墨打印机01的喷头的尺寸远小于衬底基板03的尺寸，喷墨打印机01需要通过多次打印才能将墨水02覆盖在整个衬底基板03上，这样一来，如图2所示，相邻的打印位置由于墨滴挥发的时间差以及每次喷出的墨滴氛围差异，使整个衬底基板上墨滴的浓度不均匀，进而在衬底基板上出现多处边界痕迹100，最终导致沉积在衬底基板上的OLED薄膜不均匀，影响OLED显示装置的发光均匀度。
【发明内容】
[0005]本发明的实施例提供一种薄膜制作方法及系统，可一定程度避免由于时间差和墨滴氛围差异所导致的薄膜成膜不均匀的问题，提高显示装置的显示品质。
[0006]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0007]第一方面，本发明的实施例提供一种薄膜制作方法，包括:
[0008]在衬底基板之上形成墨滴，所述墨滴包括第一溶剂和溶解在所述第一溶剂中的薄膜材料；
[0009]对所述墨滴进行溶剂均匀化分配；
[0010]将溶剂均匀化分配后的所述墨滴中的第一溶剂蒸发掉后，形成薄膜。
[0011]结合第一方面，在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述薄膜包括有机发光二极管器件中的空穴传输层、有机发光层、空穴注入层、电子注入层或电子传输层中的一种或几种。
[0012]结合第一方面，在第一方面的第二种可能的实现方式中，对所述墨滴进行溶剂均匀化分配，包括:
[0013]将形成有墨滴的所述衬底基板放入溶剂仓中，其中，所述溶剂仓为密封结构。
[0014]结合第一方面的第二种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述溶剂仓内均匀分布有气态的第二溶剂，所述第二溶剂与所述第一溶剂的成分相同。
[0015]结合第一方面的第三种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述溶剂仓内包括存储结构，所述存储结构中吸附有所述第二溶剂。
[0016]结合第一方面的第二至四种可能的实现方式中的任一种，在第一方面的第五种可能的实现方式中，在将形成有墨滴的所述衬底基板放入溶剂仓中之后，还包括:
[0017]对所述溶剂仓加热。
[0018]第二方面，本发明的实施例提供一种薄膜制作系统，包括打印装置和干燥装置，所述系统还包括溶剂仓，其中，
[0019]所述打印装置，用于在衬底基板之上打印墨滴，所述墨滴包括第一溶剂和溶解在所述第一溶剂中的薄膜材料；
[0020]所述溶剂平衡装置，用于对所述墨滴进行溶剂均匀化分配；
[0021]所述干燥装置，用于将溶剂均匀化分配后的墨滴中的第一溶剂蒸发掉后，形成薄膜。
[0022]结合第二方面，在第二方面的第一种可能的实现方式中，所述溶剂平衡装置包括溶剂仓，
[0023]所述溶剂仓为密封结构，用于放置形成有墨滴的所述衬底基板，以使得所述衬底基板与外界隔绝。
[0024]结合第二方面的第一种可能的实现方式，在第二方面的第二种可能的实现方式中，所述溶剂仓内包括存储结构，
[0025]所述存储结构用于吸附第二溶剂，所述第二溶剂与所述第一溶剂的成分相同。
[0026]结合第二方面的第二种可能的实现方式，在第二方面的第三种可能的实现方式中，所述存储结构上设置有溶剂注入结构，
[0027]所述溶剂注入结构，用于向所述存储结构中注入所述第二溶剂。
[0028]结合第二方面以及第二方面的第一至三种可能的实现方式中的任一种，在第二方面的第四种可能的实现方式中，所述系统还包括加热装置，
[0029]所述加热装置，用于对所述溶剂仓加热。
[0030]结合第二方面以及第二方面的第一至三种可能的实现方式中的任一种，在第二方面的第五种可能的实现方式中，所述系统还包括传动装置，
[0031]所述传动装置，用于将形成有墨滴的所述衬底基板传送至所述溶剂仓内。
[0032]本发明的实施例提供一种薄膜制作方法及系统，首先在衬底基板之上形成墨滴，由于衬底基板上不同位置形成墨滴时具有时间差和墨滴氛围差异，导致衬底基板上不同位置的溶剂蒸发速度不同，此时，可以对获取到的衬底基板上的墨滴进行溶剂均匀化分配，使墨滴在衬底基板上各个位置的浓度趋于一致，进而当墨滴中的第一溶剂蒸发掉后，由于衬底基板上各个位置上分配有浓度均匀的墨滴，进而制备出膜厚更加均匀的薄膜，这样一来，可一定程度避免了现有技术中由于打印时间差和墨滴氛围差异而导致打印后衬底基板上出现多处边界痕迹，进而造成薄膜成膜不均匀的问题，提高显示装置的显示品质。
【附图说明】
[0033]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为现有技术中喷墨打印机工作的原理示意图；
[0035]图2为现有技术中喂.墨打印后的衬底基板上墨滴的分布效果图；
[0036]图3为本发明实施例提供的一种薄膜制作方法的流程示意图一；
[0037]图4为本发明实施例提供的一种薄膜制作方法的流程示意图二 ；
[0038]图5为现有技术中未进行溶剂均匀化分配的衬底基板的打印效果图；
[0039]图6为本发明实施例提供的薄膜制作方法得到的衬底基板打印效果图；
[0040]图7为本发明实施例提供的一种薄膜制作系统的结构示意图一；
[0041]图8为本发明实施例提供的溶剂仓的不意图一；
[0042]图9为本发明实施例提供的溶剂仓的示意图二 ；
[0043]图10为本发明实施例提供的一种薄膜制作系统的结构示意图二。
【具体实施方式】
[0044]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、接口、技术之类的具体细节，以便透彻理解本发明。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本发明。在其它情况中，省略对众所周知的装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本发明的描述。
[0045]另外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0046]实施例1
[0047]本发明的实施例提供一种薄膜制作方法，如图3所示，包括:
[0048]101、在衬底基板上形成墨滴，该墨滴包括第一溶剂和溶解在第一溶剂中的薄膜材料。
[0049]102、对衬底基板上的墨滴进行溶剂均匀化分配。
[0050]103、将溶剂均匀化分配后的墨滴中的第一溶剂蒸发掉后，形成薄膜。
[0051]具体的，本发明实施例提供的一种薄膜制作方法可应用在IJP(int jet print，喷墨打印)技术中，使用喷墨打印机在衬底基板上喷洒墨滴，由于墨滴中含有薄膜材料，因此对该形成有墨滴的衬底基板干燥烘焙后便可得