专利名称：固定研磨样品的工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体失效分析工具，具体涉及一种固定研磨样品的工具。
背景技术：
在半导体失效分析的过程中，Delayer (分层)是经常采用的一种手段。在Delayer 过程中，由于力度不容易控制，时常遇到样品研磨不均勻，或者遇到一些小样品在研磨过程和清洗过程容易丢失等情况。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种固定研磨样品的工具，它可以提高研磨的均勻度，避免样品的丢失。为解决上述技术问题，本实用新型固定研磨样品的工具的技术解决方案为包括底座、样品盘，样品盘设置于底座的底部；样品盘的中心通过样品盘连接杆与底座的中心连接；样品盘通过多个调节螺丝连接底座；底座的顶部中心通过连接螺丝孔连接手指固定器。所述样品盘连接杆包括连接杆，连接杆的顶端与底座固定连接，连接杆的底端设有连接球；所述样品盘的顶部中心设有与连接球相配合的凹槽，样品盘连接杆通过连接球与样品盘的中心活动连接。所述样品盘凸出于底座。所述多个调节螺丝相对于样品盘的中心圆周均布。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型通过热熔胶将样品固定于样品盘上，能够防止样品的丢失。本实用新型通过多个调节螺丝调节水平，能够提高研磨的均勻度。本实用新型的样品盘连接杆通过连接球与样品盘连接，能够实现样品盘的全方位调节转动。本实用新型能够提高研磨的均勻度；并且能够避免由于小样品丢失而造成的无法估计的损失。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是本实用新型固定研磨样品的工具的结构示意图；图2是图1的俯视图；图3是本实用新型的手指固定器的结构示意图；图4是本实用新型的样品盘连接杆与样品盘的连接示意图。图中附图标记说明1为底座，2为样品盘，[0021]3为样品盘连接杆，32为连接球，5为连接螺丝孔，52为螺丝。
31为连接杆， 4为调节螺丝， 51为固定手指，
具体实施方式
如图1、图2所示，本实用新型固定研磨样品的工具，包括底座1、样品盘2，样品盘 2设置于底座1的底部，样品盘2凸出于底座1 ；如图4所示，样品盘2的中心通过样品盘连接杆3与底座1的中心连接#品盘2 通过多个调节螺丝4连接底座1，多个调节螺丝4相对于样品盘2的中心圆周均布；样品盘连接杆3包括连接杆31，连接杆31的顶端与底座1固定连接，连接杆31的底端设有连接球32，样品盘2的顶部中心设有与连接球32相配合的凹槽，样品盘连接杆3 通过连接球32与样品盘2的中心活动连接；底座1的顶部中心通过连接螺丝孔5连接手指固定器；如图3所示，手指固定器包括固定手指51，固定手指51的底部设有螺丝52 ；手指固定器的作用是在研磨时控制底座的稳定。本实用新型的使用方法如下1、将需要处理的样品用热熔胶固定于样品盘2的底面；2、通过调节螺丝4调节样品盘2的各方向水平；3、将手指固定器安装到底座1上；4、进行研磨，如发现有不均勻的地方，再用调节螺丝4进行水平调整。本实用新型是一种用于Delayer的辅助工具，能够把样品固定在样品盘上进行 Delayer，避免样品的丢失；并且样品盘的各方向可以调节控制，能够使研磨的均勻度得到提尚。
权利要求1.一种固定研磨样品的工具，其特征在于包括底座、样品盘，样品盘设置于底座的底部；样品盘的中心通过样品盘连接杆与底座的中心连接；样品盘通过多个调节螺丝连接底座；底座的顶部中心通过连接螺丝孔连接手指固定器。
2.根据权利要求1所述的固定研磨样品的工具，其特征在于所述样品盘连接杆包括连接杆，连接杆的顶端与底座固定连接，连接杆的底端设有连接球；所述样品盘的顶部中心设有与连接球相配合的凹槽，样品盘连接杆通过连接球与样品盘的中心活动连接。
3.根据权利要求1或2所述的固定研磨样品的工具，其特征在于所述样品盘凸出于底座。
4.根据权利要求1或2所述的固定研磨样品的工具，其特征在于所述多个调节螺丝相对于样品盘的中心圆周均布。
专利摘要本实用新型公开了一种固定研磨样品的工具，包括底座、样品盘，样品盘设置于底座的底部；样品盘的中心通过样品盘连接杆与底座的中心连接；样品盘通过多个调节螺丝连接底座；底座的顶部中心通过连接螺丝孔连接手指固定器。所述样品盘连接杆包括连接杆，连接杆的顶端与底座固定连接，连接杆的底端设有连接球；所述样品盘的顶部中心设有与连接球相配合的凹槽，样品盘连接杆通过连接球与样品盘的中心活动连接。本实用新型能够提高研磨的均匀度，并且能够避免样品的丢失。
文档编号G01N1/32GK201945493SQ20112000791
公开日2011年8月24日 申请日期2011年1月12日 优先权日2011年1月12日
发明者吴长亮, 芮志贤, 赖华平, 龚玉梅 申请人:上海华虹Nec电子有限公司