专利名称：晶粒外观检查机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检查机，特别是涉及一种晶粒外观检查机。
背景技术：
如图1所示，以往在晶圆切割后为了检查晶粒是否不良，作业员需利用一个显微镜1来检查数个粘附于一张胶膜2的晶粒201，以对不良的晶粒201做标记，或利用一个吸笔装置3将不良的晶粒201吸除，虽然，由作业员来判别不良晶粒201的准确性很高，但是， 作业员通过该显微镜1来做人工检查的速度很慢，并且可能发生重复检查相同晶粒201的情形，此外，由于人眼容易疲劳，因此，往往也会在检查后发生误标记到良好的晶粒201或误移除良好的晶粒201的问题。如图2所示，为现有一种可自动判别晶粒外观的晶粒外观检查机，包含一个可沿X 轴方向与Y轴方向移动并可绕ζ轴方向转动的工作台4、一个取像单元5、一个具有吸嘴601 的移除单元6，及一个可控制该工作台4、该取像单元5与该移除单元6的中央处理单元7， 当作业员将粘附有所述晶粒201的胶膜2摆置于该工作台4后，该中央处理单元7会先进行晶粒自动对正程序与校正机器原点坐标的程序；接着，该中央处理单元7会控制该取像单元5去扫瞄拍摄所述晶粒201的影像；接着，该中央处理单元7会定位出每一个晶粒201 的坐标位置，并通过影像比对软件将所述晶粒201的影像与内建的样本影像进行比对，以自动判别所述晶粒201是否不良；最后，该中央处理单元7会控制该移除单元6将不良的晶粒201移除。虽然，此种晶粒外观检查机可利用影像比对软件来自动判别所述晶粒201是否不良，然而，在实务上由于软件判别的准确性并无法达到人工检查的100%，因此，最后仍是要如图1所示一般，再由作业员通过该显微镜1对剩下的晶粒201进行复检，并以人工挑除其中的不良晶粒201，此外，这种晶粒外观检查机在检查不同批或不同规格的晶粒时，均需重新进行一次影像比对软件的设定作业或教学程序，相当费时且麻烦。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种判别准确性佳且作业方便的晶粒外观检查机。本实用新型晶粒外观检查机，适用于检查数个粘附于一张胶膜的晶粒，包含一个机台单元、一个工作台单元、一个取像单元、一个中央处理单元，及一个检视单元。该工作台单元设置于该机台单元，该工作台单元供黏附有所述晶粒的胶膜摆置定位。该取像单元设置于该机台单元，该取像单元拍摄所述晶粒的影像。该中央处理单元与该取像单元电连接， 该中央处理单元根据所述晶粒的影像对所述晶粒分别定义出一个坐标位置。该检视单元与该中央处理单元电连接，该检视单元具有一个显示所述晶粒的影像的触控屏幕。较佳地，所述晶粒外观检查机中，该检视单元还具有一个鼠标。较佳地，所述晶粒外观检查机中，该晶粒外观检查机还包含一个设置于该机台单元与该工作台单元之间的移动单元，该移动单元具有一个第一移动装置，及一个第二移动装置，该第一移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿一个第一方向移动的第一移动部， 该第二移动装置设置于该第一移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向的第二方向移动的第二移动部，该工作台单元设置于该第二移动部。较佳地，所述晶粒外观检查机中，该晶粒外观检查机还包含一个与该中央处理单元电连接的移除单元，该移除单元具有一个设置于该机架单元的移载机构，及一个设置于该移载机构的吸取装置。较佳地，所述晶粒外观检查机中，该移载机构具有一个第三移动装置，及一个第四移动装置，该第三移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿该第一方向移动的第三移动部，该第四移动装置设置于该第三移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移动的第四移动部，该吸取装置设置于该第四移动部。较佳地，所述晶粒外观检查机中，该中央处理单元可将所述晶粒的影像分区显示于该触控屏幕地电连接于该检视单元。本实用新型的有益效果在于利用该取像单元去扫瞄拍摄所述晶粒的影像，并将所述晶粒的影像显示于该触控屏幕，以供作业员准确地进行检查。
图1是现有作业员利用一个显微镜来检查晶粒的平面示意图；图2现有一种晶粒外观检查机的平面示意图；图3是本实用新型的晶粒外观检查机一较佳实施例的平面示意图；图4是作业员通过该较佳实施例的一个触控屏幕来检查晶粒并直接在该触控屏幕上点选出不良晶粒的作业示意图；图5是作业员通过该触控屏幕来检查晶粒并利用该较佳实施例的一个鼠标在该触控屏幕上点选出不良晶粒的作业示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的一较佳实施例的详细说明中，将可清楚地明白。参阅图3，为本实用新型晶粒外观检查机的较佳实施例，该晶粒外观检查机适用于检查数个粘附于一张胶膜100的晶粒200，并包含一个机台单元10、一个移动单元20、一个工作台单元30、一个取像单元40、一个中央处理单元50、一个检视单元60，及一个移除单元70。 该移动单元20设置于该机台单元10与该工作台单元30之间，该移动单元20具有一个第一移动装置21，及一个第二移动装置22，该第一移动装置21设置于该机台单元10， 并具有一个可沿一个第一方向X移动的第一移动部211，该第二移动装置22设置于该第一移动部211，并具有一个可沿一个垂直于第一方向X的第二方向Y移动的第二移动部221。 该工作台单元30可转动地设置于该第二移动部221，而位于该机台单元10上，该工作台单元30可供黏附有所述晶粒200的胶膜100摆置定位。在本实施例中，该工作台单元30可绕一个垂直于第一方向X、第二方向Y的第三方向Z转动。[0023]该取像单元40设置于该机台单元10，该取像单元40可拍摄所述晶粒200的影像。 在本实施例中，该取像单元40是一种摄影机。该中央处理单元50与该移动单元20、该工作台单元30、该取像单元40、该检视单元60与该移除单元70电连接，该中央处理单元50可根据所述晶粒200的影像对所述晶粒 200分别定义出一个坐标位置。该检视单元60与该中央处理单元50电连接，该检视单元60具有一个显示所述晶粒200的影像的触控屏幕61，及一个鼠标62。在本实施例中，该中央处理单元50可将所述晶粒200的影像分区显示于该触控屏幕61。该移除单元70与该中央处理单元50电连接，该移除单元70具有一个设置于该机架单元10的移载机构71，及一个设置于该移载机构71的吸取装置72。该移载机构71具有一个第三移动装置73，及一个第四移动装置74，该第三移动装置73设置于该机台单元10，并具有一个可沿第一方向X移动的第三移动部731，该第四移动装置74设置于该第三移动部731，并具有一个可沿第三方向Z移动的第四移动部741。该吸取装置72设置于该第四移动部741，并具有一个吸嘴721。借此，如图4、5所示，当要检查所述晶粒200的外观时，该中央处理单元50会先进行晶粒自动对正程序与校正机器原点坐标的程序；接着，该中央处理单50会控制该移动单元20与该取像单元40，让该取像单元40去扫瞄拍摄所述晶粒200的影像；接着，该中央处理单元50会根据所述晶粒200的影像对每一个晶粒200定义出该坐标位置；接着，该中央处理单元50会将所述晶粒200的影像分区放大显示于该触控屏幕61，以供作业员检查所述晶粒200是否不良；接着，作业员可在该触控屏幕61上直接点选出不良的晶粒200或利用该鼠标62点选出不良的晶粒200，在此过程中，该中央处理单元50会记录不良晶粒200的坐标位置；最后，该中央处理单元50会根据不良晶粒200的坐标位置，控制该移动单元20 与该移除单元70，让该移除单元70将不良的晶粒200准确地移除。要说明的是，本实用新型也可取消该移除单元70的设置，而在该中央处理单元50 记录不良晶粒200的坐标位置后，将不良晶粒200的坐标位置数据输出，以供使用者在另一台移除机器根据这些坐标位置数据，进行不良晶粒200的移除作业。经由以上的说明，可再将本实用新型的优点归纳如下一、本实用新型是利用该取像单元40去扫瞄拍摄所述晶粒200的影像，而可快速地完成所述晶粒200的取像作业，并可将所述晶粒200的影像显示于该触控屏幕61，供作业员检查，相较于现有作业员利用显微镜检查的方式，不但作业员不易发生眼睛疲劳的情形， 而且，由于所述晶粒200的影像是自动分区放大显示于该触控屏幕61，因此，作业员可快速且正确地对每一个晶粒200进行检查，并且不会发生重复检查或误标记的问题。二、此外，由于本实用新型是让作业员观看该触控屏幕61显示的影像来判别所述晶粒200是否不良，因此，本实用新型判别的准确性会远高于现有技术利用影像比对软件来判别的准确性，而且在检查不同批或不同规格的晶粒时，本实用新型也完全不需重新进行现有比对软件的设定作业，在作业上相当省时且方便。综上所述，本实用新型的晶粒外观检查机，不但判别准确性佳且作业快速、方便， 所以确实能达成本实用新型的目的。
权利要求1.一种晶粒外观检查机，适用于检查数个粘附于一张胶膜的晶粒，其特征在于该晶粒外观检查机包含一个机台单元、一个供黏附有所述晶粒的胶膜摆置定位的工作台单元、 一个用于拍摄所述晶粒的影像的取像单元、一个根据所述晶粒的影像对所述晶粒分别定义出一个坐标位置的中央处理单元，及一个检视单元；该工作台单元，设置于该机台单元；该取像单元，设置于该机台单元；该中央处理单元，与该取像单元电连接；该检视单元，与该中央处理单元电连接，该检视单元具有一个显示所述晶粒的影像的触控屏幕。
2.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机，其特征在于该检视单元还具有一个鼠标。
3.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机，其特征在于该晶粒外观检查机还包含一个设置于该机台单元与该工作台单元之间的移动单元，该移动单元具有一个第一移动装置，及一个第二移动装置，该第一移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿一个第一方向移动的第一移动部，该第二移动装置设置于该第一移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向的第二方向移动的第二移动部，该工作台单元设置于该第二移动部。
4.根据权利要求3所述的晶粒外观检查机，其特征在于该晶粒外观检查机还包含一个与该中央处理单元电连接的移除单元，该移除单元具有一个设置于该机架单元的移载机构，及一个设置于该移载机构的吸取装置。
5.根据权利要求4所述的晶粒外观检查机，其特征在于该移载机构具有一个第三移动装置，及一个第四移动装置，该第三移动装置设置于该机台单元，并具有一个沿该第一方向移动的第三移动部，该第四移动装置设置于该第三移动部，并具有一个沿一个垂直于所述第一方向、第二方向的第三方向移动的第四移动部，该吸取装置设置于该第四移动部。
6.根据权利要求1所述的晶粒外观检查机，其特征在于该中央处理单元可将所述晶粒的影像分区显示于该触控屏幕地电连接于该检视单元。
专利摘要一种晶粒外观检查机，适用于检查数个粘附于一张胶膜的晶粒，包含一个机台单元、一个设置于该机台单元并可供粘附有所述晶粒的胶膜摆置定位的工作台单元、一个设置于该机台单元并可拍摄所述晶粒的影像的取像单元、一个与该取像单元电连接的中央处理单元，及一个与该中央处理单元电连接的检视单元，该中央处理单元根据所述晶粒的影像对所述晶粒分别定义出一个坐标位置，该检视单元具有一个显示所述晶粒的影像的触控屏幕。
文档编号G01N21/88GK201955309SQ201120037829
公开日2011年8月31日 申请日期2011年2月14日 优先权日2011年2月14日
发明者陈冠男, 陈清凉 申请人:富振昌科技股份有限公司