专利名称：漏液检测装置以及漏液检测装置的基台的制作方法
技术领域：
漏液检测装置以及漏液检测装置的基台技术领域[0001]本实用新型涉及一种漏液检测装置以及该漏液检测装置的基台，该漏液检测装置对例如从生产线的制造装置漏出的漏液或从向制造装置供给液体的配管漏出的漏液进行检测。
背景技术：
[0002]以往，作为这种漏液检测装置，已知有例如日本特开2004-53560号公报中公开的漏液检测装置，该漏液检测装置例如被载置到制造装置下方的设置面上，检测浸入到该设置面与漏液检测装置之间的液体。详细地说，漏液检测装置具有壳体，壳体内收纳有投光元件和受光元件，且壳体具有透光性。在该壳体的检测面(与设置面对置的下表面)上凹设有用于导入液体的液体导入部。而且，从投光元件射出的光通过壳体的液体导入部被受光元件受光，根据该受光量，检测液体导入部内有无液体。[0003]在上述那样的漏液检测装置中，需要根据例如作为被检测对象的液体的种类，改变壳体的检测面的形状等的设定。于是，为了提高壳体的通用性，考虑在壳体与设置面之间设置具有透光性的基台，将液体导入部形成在基台的与设置面对置的下表面上，而不是形成在壳体上。在这种结构中，在改变具有液体导入部的检测面的结构的情况下，由于只要变更基台即可，所以能够在不改变壳体结构的情况下，应对多种液体的检测。[0004]另外，在这种漏液检测装置中，为了使液体容易地浸入到液体导入部，考虑在基台上形成从液体导入部贯穿到壳体下表面的空气孔的结构。但是，基台和壳体的相互对置的面密合。因此，空气孔被壳体的与基台对置的端面封闭，存在不能使液体导入部内的空气良好地流入空气孔的问题。实用新型内容[0005]本实用新型的目的在于，提供一种能够容易使液体浸入到液体导入部内的漏液检测装置及漏液检测装置的基台。[0006]为了达到上述目的，本实用新型的第一方式涉及一种漏液检测装置，被设置在设置面上，具备传感器主体部，在具有透光性且具有下表面的壳体内具备投光元件及受光元件；以及基台，具有透光性，被设置在所述壳体的所述下表面与所述设置面之间，所述基台具有位于基台上表面的与所述壳体的所述下表面密合的密合面、以及在基台的所述密合面相反侧的面上凹设的液体导入部，从所述投光元件朝向所述壳体的所述下表面射出的光通过所述液体导入部被所述受光元件接受，根据受光元件的受光量来检测所述液体导入部内有无液体，在所述基台上形成有从所述液体导入部贯穿到所述基台上表面的空气孔，在所述基台的所述上表面及所述壳体的所述下表面的至少一方上形成有槽，该槽避开从所述投光元件射出的光的光路而从所述空气孔延伸到所述密合面的外缘部。[0007]并且，在本实用新型的第一方式的漏液检测装置中，所述槽被形成在所述基台的所述上表面。[0008]并且，在本实用新型的第一方式的漏液检测装置中，所述槽具有浅底部，形成在所述基台的至少所述液体导入部相反侧的上表面上，与所述空气孔连续；以及深底部，形成为将所述浅底部和所述密合面的外缘部连通，深度比所述浅底部大。[0009]并且，在本实用新型的第一方式的漏液检测装置中，所述液体导入部在俯视时沿所述槽延伸，所述空气孔的俯视截面形状形成为沿所述液体导入部延伸的长孔状。[0010]并且，在本实用新型的第一方式的漏液检测装置中，所述基台能够相对于所述传感器主体部进行更换。[0011]本实用新型的第二方式涉及一种漏液检测装置的基台，该漏液检测装置具有将投光元件以及受光元件收纳的壳体，该基台具有透光性，被设置于所述壳体的下表面与设置面之间，且具有与所述壳体的所述下表面对置的上表面，该基台具有位于上表面的、与所述壳体的所述下表面密合的密合面、以及在基台的所述密合面相反侧的面上凹设的液体导入部，其特征在于，形成有从所述液体导入部贯穿到所述基台上表面的空气孔，在所述基台上表面形成有槽，该槽避开从所述投光元件射出的光的光路而从所述空气孔延伸到所述密合面的外缘部。[0012]实用新型效果[0013]根据本实用新型，在进入到设置面与基台之间的液体浸入到液体导入部时，该液体导入部内的空气从空气孔通过槽部释放到基台的密合面的外侧。因此，能够容易使液体浸入到液体导入部内。
[0014]图1是表示本实用新型的一个实施方式所涉及的漏液检测传感器的用途的一个例子的概要图。[0015]图2是表示图1的漏液检测传感器的立体图。[0016]图3是表示图2的漏液检测传感器的分解立体图。[0017]图4是表示图2的漏液检测传感器的传感器主体部的立体图。[0018]图5(a)是表示基台的俯视图，图5(b)是沿图(a)的恥-恥线的剖面图。[0019]图6是传感器主体部以及基台的侧视图。[0020]图7是表示漏液检测传感器的仰视图。[0021]图8是用于说明从投光元件射出的光的线路的示意图。[0022]图9是示意性地表示基台的空气孔周边的剖视图。
具体实施方式
[0023]下面，依照附图，说明本实用新型的一个实施方式的液检测传感器。[0024]如图1所示，漏液检测传感器1通过螺栓(省略图示)被安装在工厂内的制造装置D下方的设置面P上，检测来自制造装置D的漏液。如图2和图3所示，漏液检测传感器 1具有传感器主体部11 ；基台12，介于设置面P与传感器主体部11之间；以及保持部件 13，将传感器主体部11固定在设置面P上，并且对基台12进行保持。[0025]传感器主体部11具有大致有底圆筒状、即帽(cap)形状的壳体14 ；将壳体14的上部水密性地密封的盖15 ；以及从壳体14导出的电缆16。壳体14具有圆筒形的外周部21和将外周部21的下端密封的底部22。在壳体14的外周部21的、底部22相反侧的上端部上形成有开口 14a。开口 1 被大致圆盘状的盖15(参见图8)密封。另外，壳体14、盖15 以及所述基台12由具有透光性、耐热性以及耐药品性的PFA(全氟烷氧基树脂)等氟树脂形成。另外，盖15与壳体14的开口 1 被激光焊接。[0026]在壳体14的外周部21的前后方向X的后端部上形成有大致呈矩形突出的基部 24。在基部M上形成有呈大致圆筒状突出的电缆导出部23。电缆16从电缆导出部23导出到壳体14的外部。[0027]在保持部件I3上形成有固定部31。在固定部31上形成有用于插入固定用螺栓的螺栓插通孔31a。在固定部31上形成有向上方延伸的收纳部32，收纳部32将传感器主体部11的电缆导出部23收纳。从该收纳部32延伸出一对保持片33，保持片33对壳体14 的基部M进行保持。[0028]基台12介于壳体14的底部22与设置面P之间。基台12为大致圆盘状，从高度方向、即垂直方向Z观看时的形状与传感器主体部11的壳体14大致相同。另外，与壳体14 相同，基台12也采用具有透光性、耐热性以及耐药品性的PFA等氟树脂形成。在基台12的后部(前后方向X的端部)形成有一对凸部12a，一对凸部1 分别向横向Y的两侧突出。 在保持部件13的与凸部1 对应的位置上形成有一对从固定部31向前方延伸的卡止部 31b。该卡止部31b分别被卡止在基台12的相应的凸部1 上。由此，能够防止基台12从保持部件13向前方偏移。[0029]另外，在基台12上形成有一对从基台12的外缘向上方突出的卡止凸部12b。这些卡止凸部12b被形成于壳体14的外周部21下端的卡止凹部21a沿圆周方向卡止，从而限制基台12相对于壳体14沿圆周方向旋转。[0030]在这种基台12上，与设置面P对置的下表面成为检测面12c。如图3及图5(a)所示，在基台12的检测面12c相反侧的上表面(与壳体14对置的上表面12d)上形成有与壳体14的底部22 (与基台12对置的下表面)密合的密合面41。密合面41形成为从基台12 的中央部延伸到前缘部。另外，在基台12的上表面12d上，在密合面41的周围形成有多个凹部42。[0031]如图7所示，在基台12的检测面12c的中央部上形成有圆形凹部43。在该圆形凹部43的周围形成有平面状的环状面44。另外，在环状面44的后端侧(与后述的第2检测部相反的一侧)上形成有朝向圆形凹部43突出的圆弧状的导向件44a。[0032]如图7所示，这种漏液检测传感器1具有用于检测设置面P与基台12之间的液体的第1检测部Sl及第2检测部S2。第1检测部Sl及第2检测部S2被设置在基台12的密合面41(图3及图5(a))内侧的范围内。更详细地说，第1检测部Sl及第2检测部S2沿前后方向X排列设置，第1检测部Sl被形成在漏液检测传感器1的中央位置上，第2检测部S2被形成在漏液检测传感器1的靠近前缘的位置上。[0033]如图7所示，第1检测部Sl具有形成在基台12的圆形凹部43内的一对基台隆起部45。该一对基台隆起部45沿横向Y排列设置在基台12上。另外，各个基台隆起部45朝向设置面P (从壳体14离开的方向)突出，各个基台隆起部45的与壳体14对置的部分成为凹部(参见图幻。各个基台隆起部45的沿横向Y相互对置的对置面4 彼此形成为随着朝向基台隆起部45的下端、即随着靠近设置面P相互分离。由所述一对对置面4 和将一对对置面45a的上端连结的顶面4 形成的空间成为液体导入部G1。该液体导入部Gl 沿基台12的前后方向X延伸。[0034]另外，如图4所示，第1检测部Sl具有在壳体14的底部22上沿横向Y排列设置的一对壳体隆起部46。各个壳体隆起部46朝向基台12突出，各个壳体隆起部46的内侧部分成为凹部。一对壳体隆起部46分别嵌入到一对基台隆起部45的与壳体14对置的凹部中并与该凹部密合(参见图8)。[0035]如图8所示，第1检测部Sl具有配置于壳体14内部的投光元件47及受光元件 48。投光元件47及受光元件48被设置到收纳于壳体14内的电路板(省略图示)上，分别被配置于一对壳体隆起部46的上方。[0036]与所述第1检测部Sl大致相同，第2检测部S2具有一对基台隆起部51、一对壳体隆起部52、投光元件53以及受光元件M。在一对基台隆起部51的对置面51a之间形成有液体导入部G2 (图7)。除此之外，在第2检测部S2上形成有一对引导凸部55，一对引导凸部阳被设置于在前后方向X上将基台12的液体导入部G2夹持的位置上。各个引导凸部 55朝向设置面P(从壳体14离开的方向)突出，各个引导凸部55的与壳体14对置的部分成为凹部。另外，在液体导入部G2的顶面51b上形成有用于释放空气的空气孔51c。[0037]另外，在基台12的环状面44上形成有3个圆柱状的腿部44b，该3个圆柱状的腿部44b朝向设置面P突出(参见图6)。各个腿部44b与设置面P抵接。由腿部44b的长度决定从设置面P到环状面44的间隔，该腿部44b的长度根据作为被检测对象的液体来设定。即，在根据作为被检测对象的液体来改变从设置面P到环状面44的间隔的情况下，只要替换为腿部44b长度不同的基台12即可，所以传感器主体部11的通用性有所提高。[0038]由于上述漏液检测传感器1的第1检测部Sl及第2检测部S2的检测方式大致相同，所以以第1检测部Sl为例，依照图8进行说明。[0039]从第1检测部Sl的投光元件47射出的光穿过一个(图8中的左侧)壳体隆起部 46及基台隆起部45的对置面45a。此时，若没有液体浸入到第1检测部Sl的液体导入部 G1，没有液体与对置面4 接触，则从投光元件47射出的光就会在左侧的对置面4 折射， 通过另一个(右侧)的基台隆起部45的对置面4 及壳体隆起部46，被受光元件48受光。[0040]相对于此，在浸入到液体导入部Gl内的液体与对置面4 接触的状态下，由于在左侧的对置面4 上的折射率发生变化，所以受光元件48的受光量由没有液体浸入到液体导入部Gl内的状态发生改变。即，受光元件48的受光量根据基台隆起部45之间有无液体而改变，受光元件48将与该受光量对应的受光信号输出到未予图示的控制部。[0041]另外，在这种漏液检测传感器1中，来自制造装置D的漏液附着到设置面P上，漏液流入到基台12与设置面P之间的缝隙中。这样的话，首先，在基台12的下表面(检测面 12c)，漏液流入到圆形凹部43周围的环状面44与设置面P之间的缝隙中，接着，漏液流入到圆形凹部43与设置面P之间的缝隙中。[0042]详细地说，流入到基台12的环状面44与设置面P之间的缝隙的漏液，首先在毛细管现象的推动力以及由新供给的漏液而产生的流入方向的压力的作用下，在环状面44与设置面P之间的缝隙中扩散。在此，由于圆形凹部43与设置面P之间的缝隙比环状面44 与设置面P之间的缝隙大，所以浸入到基台12与设置面P之间的漏液难以浸入到圆形凹部 43，该漏液主要在圆形凹部43以外的环状面44的部分扩散。然后，在漏液向整个环状面44扩散的状态下，漏液进一步浸入到基台12与设置面P之间时，漏液从所述导向件4 流入到圆形凹部43内。[0043]也就是说，在来自制造装置D的漏液为预定量以下的情况下，该漏液流入到环状面44与设置面P之间的缝隙。相对于此，在来自制造装置D的漏液大于预定量的情况下， 该漏液从环状面44与设置面P之间的缝隙流入到圆形凹部43内。在该基台12上，在对流入到环状面44的漏液进行检测的部分上设置第2检测部S2，并且在对流入到圆形凹部 43的漏液进行检测的部分上设置第1检测部Si，能够使第1检测部Sl及第2检测部S2的液体检测之间存在滞后(time lag)。由此，能够增加漏液检测传感器1的液体检测的变差 (variation)0[0044]如图3和图5所示，在这种漏液检测传感器1中，在第1检测部Sl的基台隆起部 45之间形成有空气孔61，该空气孔61沿垂直方向Z从液体导入部Gl贯穿到基台12的上表面12d(检测面12c相反侧的面)。空气孔61的俯视截面形状形成为圆形状。另外，在基台12的上表面12d形成有从空气孔61延伸到密合面41的外缘部41a的槽62。该槽62避开从投光元件47射出的光的光路，朝向基台12的后端侧(第2检测部S2相反侧)延伸。[0045]槽62具有浅底部63和一对深底部64。浅底部63沿着前后方向X从基台12的空气孔61通过液体导入部Gl背侧部分延伸到密合面41的大致外缘。一对深底部64形成为将该浅底部63和密合面41的外缘部41a连通。深底部64分别形成在浅底部63的横向 Y的两侧。深底部64的深度T2设定得比浅底部63的深度Tl大。另外，各个深底部64沿着前后方向X从基台隆起部45延伸到密合面41的凹部42。另外，浅底部63和深底部64 的深度T1、T2分别为从浅底部63及深底部64的底面到基台12的密合面41的垂直方向Z 上的尺寸。通过由浅底部63和深底部64构成的槽62，在基台12与壳体14之间形成与空气孔61连续的缝隙。另外，如图9所示，在基台12的上表面12d上，比空气孔61接近第2 检测部S2的部位成为与壳体14的底部22密合的密合面41。另外，该密合面41形成为在空气孔61的部分上经由倾斜部65移至浅底部63。[0046]接着，说明上述实施方式的作用。[0047]在第1检测部Sl中，当液体浸入到液体导入部Gl时，在液体的流入压力的作用下，液体导入部Gl内的空气通过空气孔61从槽62的浅底部63流向深底部64。然后，该空气从深底部64流入到凹部42，最终从壳体14与基台12的外周部之间的缝隙流向传感器主体部11的侧方(与垂直方向Z垂直的方向)。通过这种方式，液体导入部Gl内的空气释放到外部，所以即使液体的流入压力小，液体也容易浸入到液体导入部G1。[0048]另外，槽62包括位于液体导入部Gl背面的浅底部63和从该浅底部63延伸到密合面41的外缘部41a的深底部64。因此，通过浅底部63能够充分确保液体导入部Gl的深度(垂直方向Z的尺寸)，能够实现稳定的液体检测。另外，液体导入部Gl内的空气通过比浅底部63深的深底部64顺畅地流入到密合面41的外侧。[0049]另外，准备槽62的浅底部63以及深底部64的深度Tl、T2和/或空气孔61的流路面积(截面积，即俯视时的空气孔61的面积)不同的多个基台12。能够根据被检测对象的液体，更换安装到传感器主体部11上的基台12。因此，例如在液体的粘度高而难以浸入到液体导入部Gl的情况下，能够选择适合于该液体的基台12来使用。[0050]另外，虽然在第2检测部S2的液体导入部G2上也形成有空气孔51c，然而也可以不在该空气孔51c的周边部分上设置像设置于第1检测部Sl的空气孔61的周边部分上的槽那样的槽。这是因为，第2检测部S2被设置在基台12的前缘部分，所以当液体浸入到该液体导入部G2时，能够得到足够的流入压力，该液体导入部G2内的空气容易从空气孔51c 通过引导凸部阳背侧(壳体14侧)的凹部流入到外部。相对于此，由于第1检测部Sl被设置在基台12的中央部，所以向液体导入部Gl的液体流入压力具有减小的倾向。因此，通过将槽62设置到第1检测部Sl的液体导入部Gl上，从而能够得到更显著的该槽62的空气释放效果。[0051]接着，说明本实施方式的特征性效果。[0052](1)在基台12上形成有从液体导入部Gl贯穿到上表面12d的空气孔61。在基台 12的上表面12d形成有从空气孔61延伸到密合面41的外缘部41a的槽62。由此，当进入到设置面P与基台12之间的液体浸入到液体导入部Gl时，该液体导入部Gl内的空气从空气孔61通过槽62排出到与壳体14密合的基台12的密合面41的外侧。因此，能够容易地使液体浸入到液体导入部Gl内。[0053]另外，由于槽62被设置在基台12上，而不是设置在由于内部具备投光元件47、受光元件48等主要部件而在设计上存在诸多限制的壳体14上，所以有利于提高槽62的设计自由性。[0054](2)形成在基台12的上表面12d上的槽62具有浅底部63，形成在基台12的至少液体导入部Gl背侧部分上，与空气孔61连续；以及深底部64，形成为将该浅底部63和密合面41的外缘部41a连通。深底部64的深度T2被设定成比浅底部63的深度Tl大。艮口， 在槽62中，形成于液体导入部Gl背侧部分且与空气孔61连续的部分形成为浅底部63，并且从该浅底部63到密合面41的外缘部41a为止的部分形成为深底部64。由此，能够通过浅底部63来充分确保液体导入部Gl的深度，并能够通过与浅底部63连续的深底部64将液体导入部Gl内的空气良好地释放到密合面41的外侧。[0055](3)基台12构成为能够相对于传感器主体部11进行更换。由此，能够根据被检测对象的液体，更换例如槽62的浅底部63及深底部64的深度Tl、T2和/或空气孔61的流路面积(截面面积，俯视时的空气孔61的面积)不同的基台12。因此，在例如液体的粘度高而难以浸入到液体导入部Gl的情况下，能够选择适合于该液体的基台12来使用。[0056]另外，本实用新型的实施方式也可以更改为以下的形式。[0057] 在上述实施方式中，空气孔61形成为俯视时的截面形状呈圆形状。替代于此，空气孔61的截面形状也可以形成为例如沿前后方向X(即，液体导入部Gl的形状)延伸的长孔状(椭圆形、矩形)。根据此构成，由于空气孔61的俯视截面形状形成为沿着液体导入部 Gl的长孔状，所以能够增大空气孔61的截面形状(流路面积)，能够使液体导入部Gl内的空气容易地释放到槽62。另外，空气孔61的前后方向X的尺寸优选为液体导入部Gl的前后方向X的尺寸的一半以上。[0058] 在上述实施方式中，槽62的浅底部63从空气孔61延伸到密合面41的外缘。替代于此，例如，浅底部63也可以从空气孔61延伸到基台隆起部45的后端部(位于离第2 检测部S2最远的位置上的端部)。[0059] 在上述实施方式中，槽62具备浅底部63和深底部64。替代于此，例如，槽62的槽深度也可以为恒定。[0060] 在上述实施方式中，将槽62形成在基台12上。然而，替代于此，例如，也可以将槽62形成在壳体14的底部22。[0061] 在上述实施方式中，漏液检测传感器1具备第1检测部Sl及第2检测部S2。替代于此，例如，也可以省略第2检测部S2。另外，漏液检测传感器1也可以具有3个以上检测部。
权利要求1.一种漏液检测装置，被设置在设置面上，具备传感器主体部，在具有透光性且具有下表面的壳体内具备投光元件及受光元件；以及基台，具有透光性，被设置在所述壳体的所述下表面与所述设置面之间， 所述基台具有位于基台上表面的与所述壳体的所述下表面密合的密合面、以及在基台的所述密合面相反侧的面上凹设的液体导入部，从所述投光元件朝向所述壳体的所述下表面射出的光通过所述液体导入部被所述受光元件接受，根据受光元件的受光量来检测所述液体导入部内有无液体，其特征在于， 在所述基台上形成有从所述液体导入部贯穿到所述基台上表面的空气孔， 在所述基台的所述上表面及所述壳体的所述下表面的至少一方上形成有槽，该槽避开从所述投光元件射出的光的光路而从所述空气孔延伸到所述密合面的外缘部。
2.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于， 所述槽被形成在所述基台的所述上表面。
3.根据权利要求2所述的漏液检测装置，其特征在于， 所述槽具有浅底部，形成在所述基台的至少所述液体导入部相反侧的上表面上，与所述空气孔连续；以及深底部，形成为将所述浅底部和所述密合面的外缘部连通，深度比所述浅底部大。
4.根据权利要求1 3的任意一项所述的漏液检测装置，其特征在于， 所述液体导入部在俯视时沿所述槽延伸，所述空气孔的俯视截面形状形成为沿所述液体导入部延伸的长孔状。
5.根据权利要求1 3的任意一项所述的漏液检测装置，其特征在于， 所述基台能够相对于所述传感器主体部进行更换。
6.一种漏液检测装置的基台，该漏液检测装置具有将投光元件以及受光元件收纳的壳体，该基台具有透光性，被设置于所述壳体的下表面与设置面之间，且具有与所述壳体的所述下表面对置的上表面，该基台具有位于上表面的与所述壳体的所述下表面密合的密合面、以及在基台的所述密合面相反侧的面上凹设的液体导入部，其特征在于，形成有从所述液体导入部贯穿到所述基台上表面的空气孔，在所述基台上表面形成有槽，该槽避开从所述投光元件射出的光的光路而从所述空气孔延伸到所述密合面的外缘部。
专利摘要本实用新型涉及一种漏液检测传感器及漏液检测传感器的基台。漏液检测传感器具备壳体和被安装在壳体底部的基台。基台上设置有与壳体底部密合的密合面和凹设在密合面背侧部分上的液体导入部。壳体内收纳有投光元件和受光元件。从投光元件射出的光通过液体导入部被受光元件受光，根据该受光量检测液体导入部内有无液体。在基台上形成有从液体导入部贯穿到上表面的空气孔。在基台的上表面形成有从空气孔延伸到密合面的外缘部的槽。根据本实用新型的结构，能够容易使液体浸入到液体导入部内。
文档编号G01N21/17GK202274978SQ201120400720
公开日2012年6月13日 申请日期2011年10月12日 优先权日2011年4月28日
发明者木村圭介 申请人:松下电工神视株式会社