专利名称：一种调制器检测装置和基板检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子工艺技术，尤其涉及一种调制器检测装置和基板检测装置。
背景技术：
在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示)制造过程中，需要对TFT-LCD基板进行检测，一种检测方式为电学检测设备需要通过调制器(Modulator)模拟TFT-IXD的显示原理 在距离TFT阵列基板上方15-20微米进行检测，调制器(Modulator)表面黏附有一层薄膜，薄膜内有液晶，为达到检测效果，对这层薄膜的平整度要求极高，而该薄膜很容易破损。在TFT阵列制程中，TFT阵列基板上不可避免会有附着在表面的Particle(尘粒)，甚至玻璃碎屑，这些在测试过程都会对调制器表面造成不同程度的损伤，导致调制器表面平整度不好。如果没有及时发现调制器表面平整度不好，而继续使用表面平整度较差或破损的调制器，由于测试距离只有15-20微米，就会导致TFT阵列被调制器破损的地方划伤，导致广品不良。目前的处理方式有两种I、定期更换调制器，由于调制器使用一定时间后，表面会有一定程度的损伤，导致平整度不好，虽然有些时候只是轻微的损伤，但是由于肉眼无法确认是否能够安全使用，只能更换调制器，造成生产成本较高。2、发现产品不良后更换调制器，当调制器表面平整度很差或者表面破损时，如果进行TFT阵列基板的检测，就会划伤TFT阵列，在进行TFT阵列基板检测后，若发现TFT阵列基板有划伤，则更换调制器。但通常，在发现TFT阵列基板有划伤时，破损的调制器已经划伤了大量的TFT阵列基板，影响产品的良率。
实用新型内容本实用新型提供一种调制器检测装置和基板检测装置，以实现对调制器表面破损情况进行检测。一种调制器检测装置，包括平整度检测仪和信号处理单元；其中平整度检测仪，用于向待检测的调制器发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，发送检验结果给所述信号处理单元；信号处理单元，用于获得所述平整度检测仪发送的检验结果，确定调制器表面的破损情况。一种基板检测装置，包括基板检测装置本体，包括本实用新型实施例提供的调制器检测装置。本实用新型提供一种调制器检测装置和基板检测装置，向调制器表面发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，从而确定调制器表面是否平整，实现对调制器表面破损情况进行检测。
图I为本实用新型实施例提供的调制器检测装置结构示意图；图2为本实用新型实施例提供的一种较佳的调制器检测装置结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的检验结果图形示意图；图4为本实用新型实施例提供的检验结果分析示意图；图5为本实用新型实施例提供的调制器检测装置检测流程图；图6为本实用新型实施例提供的基板检测装置结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种调制器检测装置和基板检测装置，向调制器表面发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，从而确定调制器表面是否平整，实现对调制器表面破损情况进行检测。如图I所示，本实用新型实施例提供的调制器检测装置，包括平整度检测仪101和信号处理单元102，其中平整度检测仪101，用于向待检测的调制器发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，发送检验结果给信号处理单元102 ；信号处理单元102，用于获得平整度检测仪发送的检验结果，确定调制器表面的破损情况。其中，信号处理单兀102可以通过中央处理器(CPU, Central Processing Unit)实现，也可以通过FPGA (Field Programmable Gate Array,现场可编程门阵列)等其它可进行计算的器件实现。通过该调制器检测装置，即可及时发现调制器表面的破损，从而当调制器表面破损时及时更换调制器，避免了使用破损的调制器进行基板检测时划伤基板，也避免了频繁更换调制器导致浪费。通常调制器安装在基板检测装置上，在每次进行基板检测后，基板检测装置将调制器移动到安全位置，等待更换基板，此时，即可通过调制器检测装置对调制器进行安全性检测。进一步，如图2所示，本实用新型实施例提供的调制器检测装置中还可以包括与平整度检测仪101相连接的控制单元103，用于控制平整度检测仪101检测调制器。使得调制器检测装置既可以自动对调制器进行检测，也可以在需要时手动启动，对调制器进行检测。控制单元103还可以控制平整度检测仪按照设定周期对调制器进行检测。具体的检测周期可根据实际情况进行设定，例如，可以在每次进行基板检测完成后使得调制器检测装置对调制器进行检测，也可以在进行其它设定次数的基板检测后，使得调制器检测装置对调制器进行检测。通常来讲，会对基板造成损害的破损通常为凸起的破损，所以信号处理单元102确定调制器表面的破损情况时，只要确定出破损的凸起情况即可，当然，在需要时也可以确定出所有破损情况，并统一输出。在确定破损的凸起情况时，主要需要确定调制器表面各个破损点的破损凸起高度，由于调制器在进行基板测试时，与基板的距离只有15-20um，所以当凸起高度超过一定的值后，即可能会基板构成影响。进一步，该装置中还可以设置有与信号处理单元102相连接的监控单元104，用于获得信号处理单元102 确定出的调制器表面各个破损点的破损凸起高度，并与预先设定的阈值进行比较，当确定有破损点的凸起高度大于阈值时，进行告警，提醒工作人员更换调制器。一般，该阈值需要设定在15um以下，从而有效防止调制器划伤基板，通常可以将该阈值设置在8um-12um，从而较佳的保护基板，并且不过于频繁的更换调制器。监控单元104在进行告警后，还可以向基板检测装置发送相应信号，控制基板检测装置停止对TFT阵列基板的检测，以便于工作人员进行操作。事实上，本实用新型实施例中的控制单元103和监控单元104也可以通过CPU或FPGA等可进行计算的器件实现。具体进行检测的检测波可以为激光，也可以为超声波，当然，也可以根据实际情况使用其它的检测波。当检测波为激光时，平整度检测仪101具体包括激光发生器，用于向待检测的调制器发送激光；检验单元，用于对经过调制器表面反射的激光进行检验，发送检验结果给信号处理单元102。此时，可以使用光的干涉的方式，以经过调制器表面反射的激光为干涉光源获得干涉条纹，并将干涉条纹作为检验结果；也可以使用光的衍射的方式，以经过调制器表面反射的激光为衍射光源获得衍射条纹，并将衍射条纹作为检验结果；还可以通过光的传输时延进行传输距离的检测，即检验经过调制器表面反射的激光的到达时间，并将激光的发送时间和经过调制器表面反射的激光的到达时间的时间差作为检验结果。当检测波为超声波时，平整度检测仪101具体包括超声波发生器，用于向待检测的调制器发送超声波；检验单元，用于对经过调制器表面反射的超声波进行检验，发送检验结果给信号处理单元102。同样可以通过超声波的传输时延进行传输距离的检测，即检验经过调制器表面反射的超声波的到达时间，并将超声波的发送时间和经过调制器表面反射的超声波的到达时间的时间差作为检验结果。通过该时间差以及检测波的传输速度，即可计算出反射点与光源、接收器之间的距离，进而计算出反射点处是否为破损点，以及该破损点凸起的高度。而使用光的干涉和光的衍射进行检验时，则需要以经过调制器表面反射的检测波为光源获得干涉条纹或者衍射条纹，并对该条纹进行分析得到检验结果。例如，采用(空气)薄膜干涉时，如果被测表面平整度完好，根据劈尖干涉原理及特征，则可得到条纹等间距分布的干涉条纹，并且明(暗)条纹所对应的劈尖薄膜厚度为
权利要求1.一种调制器检测装置，其特征在于，包括平整度检测仪和信号处理单元；其中 平整度检测仪，用于向待检测的调制器发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，发送检验结果给所述信号处理单元； 信号处理单元，用于获得所述平整度检测仪发送的检验结果，确定调制器表面的破损情况。
2.如权利要求I所述的装置，其特征在于，还包括 与所述平整度检测仪相连接的控制单元，用于控制所述平整度检测仪检测所述调制器。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制单元还用于 控制所述平整度检测仪按照设定周期对所述调制器进行检测。
4.如权利要求I所述的装置，其特征在于，还包括 与所述信号处理单元相连接的监控单元，用于获得所述信号处理单元确定出的调制器表面各个破损点的破损凸起高度，并与预先设定的阈值进行比较，当确定有破损点的凸起高度大于所述阈值时，进行告警。
5.如权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，所述平整度检测仪具体包括 激光发生器，用于向待检测的调制器发送激光； 检验单元，用于对经过调制器表面反射的激光进行检验，发送检验结果给所述信号处理单元。
6.如权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，所述平整度检测仪具体包括 超声波发生器，用于向待检测的调制器发送超声波； 检验单元，用于对经过调制器表面反射的超声波进行检验，发送检验结果给所述信号处理单元。
7.一种基板检测装置，包括基板检测装置本体，其特征在于，包括如权利要求I所述的调制器检测装置。
8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述调制器检测装置设置在调制器的安全位置上，所述安全位置为所述调制器等待基板更换时所停留的位置。
9.如权利要求7所述的装置，其特征在于，基板检测装置本体与所述调制器检测装置电连接，并在接收到所述调制器检测装置发送的停止对基板的检测的信号后，停止对基板进行检测。
专利摘要本实用新型公开了一种调制器检测装置和基板检测装置，涉及电子工艺技术。该调制器检测装置包括平整度检测仪和信号处理单元；其中平整度检测仪，用于向待检测的调制器发送检测波，并对经过调制器表面反射的检测波进行检验，发送检验结果给所述信号处理单元；信号处理单元，用于获得所述平整度检测仪发送的检验结果，确定调制器表面的破损情况。从而确定调制器表面是否平整，实现对调制器表面破损情况进行检测。
文档编号G01B17/08GK202383388SQ20112040145
公开日2012年8月15日 申请日期2011年10月20日 优先权日2011年10月20日
发明者杨魏松, 林子锦, 田震寰, 裴晓光, 赵海生 申请人:北京京东方光电科技有限公司