专利名称：显微镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶圆制造领域，尤其涉及一种晶圆检测用的显微镜。
背景技术：
显微镜是由一组或多组透镜组合而构成的一种光学仪器，是人类进入原子时代的标志。显微镜是用于放大微小物体的仪器，使得微小物体放大后能被人的肉眼看到。显微镜按照显微原理进行分类可分为光学显微镜与电子显微镜。光学显微镜通常皆由光学部分、照明部分和机械部分组成。无疑光学部分是最为关键的，它由目镜和物镜组成。目前光学显微镜的种类很多，主要有明视野显微镜(普通光学显微镜)、暗视野显微镜、突光显微镜、相差显微镜、激光共聚扫描显微镜、偏光显微镜、微分干涉差显微镜、倒置显微镜。
电子显微镜有与光学显微镜相似的基本结构特征，但它有着比光学显微镜高得多的对物体的放大及分辨本领，它将电子流作为一种新的光源，使物体成像。目前电子显微镜的种类很多，主要有透射电镜、扫描电镜、分析电镜、超高压电镜等。参图I所述，现有技术中的一种显微镜，用以对晶圆进行检测，包括机械手、工作平台I’及设于所述工作平台I’上的卡槽3’、感应器4’和驱动马达。机械手用以抓取晶圆；晶圆收容在一个晶片盒内；晶片盒可固定在工作平台I’上的卡槽3’内；感应器4’用以感知晶片盒是否成功安装到卡槽3’内，其一般设置在卡槽3’的一侧；驱动马达用以驱动工作平台I’进行上下移动。上述显微镜的工作原理是在正常测试时，晶片盒被放置在卡槽3’内，当感应器4’感应到晶片盒时，感应器4’会发出感应信号，指示设备可以正常操作；当感应器4’没有感应到晶片盒时，感应器4’会发出报警信号。测试完毕后，驱动马达反向旋转，控制工作平台I’上升。上述显微镜的缺点在于在显微镜工作过程中，若是人为取走晶片盒，感应器不会发出任何报警信号。晶片盒被拿走后工作平台上没有晶片盒，操作人员发现后会重新放一个新的晶片盒，但是，之前晶片盒内的晶圆正被机械手拿着进行检测，该晶圆检测好后，机械手会将它放回晶片盒内，但是此时已经是一个新的晶片盒，此晶片盒没有空缺供前一晶片盒的晶圆放置，机械手强行放置后会发生晶圆相互碰撞的想象，不但损坏了晶圆，而且存在一定的安全隐患。因此，针对上述技术问题，有必要提供一种具有新型的显微镜，以克服上述缺陷。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的提供一种显微镜，其设有用以限制晶片盒移动的固定锁，避免在显微镜工作过程中，晶片盒从卡槽中被移动，提高了安全系数。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其中，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。作为本实用新型的进一步改进，所述固定锁包括汽缸和限位部，所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本实用新型的进一步改进，所述限位部和汽缸分别设于所述工作平台的上下两侧，所述工作平台上还开设有导引槽，所述导引槽用以导引所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本实用新型的进一步改进，所述限位部在运动至所述第二位置时，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。作为本实用新型的进一步改进，所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置时位于所述晶片盒的上方。作为本实用新型的进一步改进，所述固定锁至少设有两个。作为本实用新型的进一步改进，所述显微镜还包括开关，所述开关用以控制所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。作为本实用新型的进一步改进，所述开关为一按钮。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是通过设置固定锁来限制晶片盒移动，可以防止在显微镜工作过程中有人误将晶片盒拿离工作平台，以避免损坏晶圆或出现安全隐患。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是现有技术中显微镜的结构示意图；图2是本实用新型最佳实施例中显微镜的俯视图；图3是本实用新型最佳实施例中显微镜的主视图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽收容有晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。通过设置固定锁来限制晶片盒移动，可以防止在显微镜工作过程中有人误将晶片盒拿离工作平台，以避免损坏晶圆或出现安全隐患。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。图2和图3分别是本实用新型最佳实施例中显微镜的俯视图和主视图。在本实用新型最佳实施例中，显微镜包括机械手(图未示)、工作平台I及设于所述工作平台I上的卡槽3、感应器4和驱动马达(图未示)。机械手用以抓取晶圆；晶圆收容在一个晶片盒(图未示)内；晶片盒可收容在工作平台I上的卡槽3内；感应器4用以感知晶片盒是否成功安装到卡槽3，其设置在卡槽3的一侧开口处；驱动马达用以驱动工作平台I进行上下移动。在正常测试时，晶片盒被放置在卡槽3内，当感应器4感应到晶片盒时，感应器4会发出感应信号，指示设备可以正常操作；当感应器4没有感应到晶片盒时，感应器4会发 出报警信号。
显微镜还包括设于工作平台I上的固定锁5，固定锁5可以在气动作用下从第一位置A运动至第二位置B，并在第二位置B时限制晶片盒移动。其中第一位置A是指固定锁5的初始位置，即固定锁5没有被气体驱动时，第二位置B是指固定锁5被气体驱动之后的位置。固定锁5包括汽缸51和限位部52，汽缸51上设有杠杆511，限位部52固定于杠杆511的末端。汽缸51在压缩空气的作用下推动杠杆511自第一位置A向第二位置B运动，杠杆511的运动进而带动限位部52 —起运动。在第二位置B时，限位部52的末端位于所述晶片盒的上方，以限制晶片沿垂直工作平台I的方向移动，为了不影响机械手对晶圆的抓取，限位部52不能位于晶圆的正上方，只能位于没有晶圆存放的位置，例如晶圆与晶圆之间的间隙上。限位部52的末端可以设置成板状，以增大限位部52的阻挡面积，实现更好的稳固效果。为了限制晶片盒在水平面内的运动，尤其是沿卡槽3延伸方向的运动，可以在晶片盒上开凹槽或孔，以使得限位部52在位于第二位置B时，可以卡持或穿设在凹槽或孔内，此时限位部52的末端可以根据需要设置成圆柱状等。限位部52和汽缸51分别设于工作平台I的上下两侧，工作平台I上还开设有导引槽11，导引槽11用以导引限位部52在第一位置A和第二位置B之间移动。导引槽11延伸的方向垂直于卡槽3。为了保证对晶片盒的稳固效果，固定锁5优选设置为两个，每个固定锁包括一个汽缸及固定于该汽缸上的限位部，两个固定锁5设置于卡槽3的同一侧，亦可分别设置于卡槽3的两侧。易于想到，固定锁5也可以仅设有一个，还可以设置为三个或三个以上。固定锁5在设置为一个时，其包括一个汽缸，还包括限位部，限位部可以设置为一个，也可以设置为两个第一限位部和第二限位部，第一限位部和第二限位部受同一个汽缸驱动。第一限位部和第二限位部的目的在于在一个汽缸的驱动下，可以实现对晶片盒的多处阻挡。故，限位部的末端也可以形成多个分叉，以实现对晶片盒顶端的多处的阻挡作用，由于只采用一个汽缸，结构简单，节约了成本，同时又通过多处阻挡实现了很好的稳固作用。在其他实施例中，汽缸51也可以设置于工作平台I的上表面上，此时不需要设置导引槽11。[0039]显微镜还包括一个开关(图未示)，该开关用以控制汽缸内压缩空气的通与断，进而控制汽缸51驱动限位部52在第一位置A和第二位置B之间移动。开关优选为一按钮开关，安装在工作平台I上。本实用新型实施例的显微镜的工作原理是在正常测试时，将安装好晶圆的晶片盒放置到卡槽3中，感应器4感应到晶片盒并发出感应信号，指示设备可以正常操作，此时，驱动马达正向旋转，带动控制工作平台I下降，当工作平台I到达目标位置时，按下开关，在压缩空气的驱动下，汽缸51带动限位部52沿导引槽11滑动至第二位置B，并使得限位部52的末端位于晶片盒的上方，以限制晶片盒的移动。当测试完毕时，再次触动开关，汽缸收缩并带动限位部52回撤到第一位置A，驱动马达反向旋转，控制工作平台I上升。由于在工作过程中无法移动晶片盒，消除了安全隐患。本实用新型实施例的显微镜机台结构涉及的显微镜为OLYMPUS MX61显微镜。固定锁是使用在OLYMPUS MX61显微镜上的。OLYMPUS MX61显微镜用于对半导体器件进行检测。OLYMPUS MX61显微镜能够应对从明视场观察到荧光观察的多种观察方法，切换物镜时 亮度光圈连动能进行自动调节。这些功能实现了快速舒适的检查环境。OLYMPUS MX61显微镜具有如下优点I.大型载物台搭载,可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L)；2.采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利；3.多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求；4.透射和反射照明可同时使用，极大提闻液晶基板观察效果。与现有技术相比，本实用新型实施例的显微镜机台结构的有益效果是通过设置固定锁来限制晶片盒移动，可以防止在显微镜工作过程中有人误将晶片盒拿离工作平台，以避免损坏晶圆或出现安全隐患。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
权利要求1.一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，其特征在于所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。
2.根据权利要求I所述的显微镜，其特征在于所述固定锁包括汽缸和限位部，所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。
3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于所述限位部和汽缸分别设于所述工作平台的上下两侧，所述工作平台上还开设有导引槽，所述导引槽用以导引所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。
4.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于所述限位部在运动至所述第二位置时，所述限位部的末端位于所述晶片盒的上方。
5.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于所述限位部包括第一限位部和第二限位部，所述第一限位部和第二限位部的末端在第二位置时位于所述晶片盒的上方。
6.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于所述固定锁至少设有两个。
7.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于所述显微镜还包括开关，所述开关用以控制所述汽缸驱动所述限位部在所述第一位置和第二位置之间移动。
8.根据权利要求7所述的显微镜，其特征在于所述开关为一按钮。
专利摘要本实用新型公开了一种显微镜，用于晶圆的检测，包括工作平台及设于所述工作平台上的卡槽、感应器和驱动马达，所述卡槽用于收容晶片盒，所述显微镜还包括设于所述工作平台上的固定锁，所述固定锁在气动作用下可从第一位置运动至第二位置，并在第二位置时限制所述晶片盒移动。本实用新型通过设置固定锁来限制晶片盒在工作过程中的移动，可以避免损坏晶圆及出现安全隐患。
文档编号G01D11/16GK202630990SQ20122025603
公开日2012年12月26日 申请日期2012年5月31日 优先权日2012年5月31日
发明者陆琦 申请人:无锡华润上华科技有限公司