专利名称：流量传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种传感器，特别涉及一种流量传感器。
背景技术：
作为测量流体的流量或流速的热式流量传感器，有两种类型，第一类是通过发热体发出的热流测定流体的空间温度分布，并由温度传感器检测不均匀性；第二类是在因流体使发热体的热量丧失时，检测所发生的功率或电阻方面的变化，从而检测流速或流率。现有类型的流量传感器中在硅的表面上对传感器进行构图、被测流体直接流过该传感器图形的类型，其灵敏度和响应性较差，容易受到腐蚀性气体腐蚀。
发明内容本实用新型的目的就在于提供一种灵敏度和响应性良好，且适合于测量腐蚀性流体的流速或流量的流量传感器。为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是这样的本实用新型的流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。作为优选，所述传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层。作为优选，所述缓冲层由氮化硅或氧化铝制成。作为优选，所述盖板与基部上部卡接。作为优选，所述传感器芯片由奥氏体不锈钢制成。与现有技术相比，本实用新型的优点在于本实用新型结构简单，采用奥氏体不锈钢的传感器芯片，提高了灵敏度和响应性，传感器芯片上设置有绝缘膜，使其不易受到腐蚀气体的腐蚀，传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层，可缓和形成传感器图形的绝缘膜和传感器芯片之间的热膨胀系数差异，可以分阶段地改变缓冲部件的线膨胀系数，即使在高温环境下，绝缘膜也不会产生裂纹，仍能长期获得稳定的传感器检测输出特性。
图I为本实用新型的结构示意图。图中1、基部；2、进液孔；3、出液孔；4、传感器芯片；5、绝缘膜；6、缓冲层；7、测量
装置；8、盖板；9、接线柱。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。参见图1，本实用新型的流量传感器，包括基部1，基部I上设有进液孔2和出液孔3，进液孔2和出液孔3形成流路，所述基部I上表面设置有传感器芯片4，传感器芯片4上设置有绝缘膜5，绝缘膜5中部设有测量装置7，所述基部I上套接一盖板8，盖板8中部设置有一透视窗，盖板8上还设置有接线柱9，所述传感器芯片4和绝缘膜5之间设置有缓冲层6，所述缓冲层6由氮化硅或氧化铝制成，所述盖板8与基部I上部卡接，所述传感器芯片4由奥氏体不锈钢制成，为一个薄且细长的矩形板状。测量装置7的流速检测单元和周围温度检测单元使用一个发热体，可使用恒温差电路来把流速转换为 电压信号，恒温差电路把电流或电压控制为发热体的温度比周围温度传感器测量出的周围温度高处一定温度，从而把温度差保持恒定，可通过检测该电压、电流或功率变化，测量流体的流速或流量；绝缘膜5由厚度为几千埃至记微米薄的氧化硅膜、氮化硅膜等材质构成，氧化硅膜可通过溅射、CVD或SOG等来形成，氮化硅膜也可通过溅射或CVD等来形成；缓冲层6由线膨胀系数在不锈钢和绝缘膜5之间的氮化硅、氧化铝等材质制成，缓冲层6通过CVD或溅射等形成，也可由多层形成。本实施方式的流量传感器特别适合于测量在流路中流动的腐蚀性流体的流速或流量。
权利要求1.一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，其特征在于所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。
2.根据权利要求I所述的流量传感器，其特征在于所述传感器芯片和绝缘膜之间设置有缓冲层。
3.根据权利要求2所述的流量传感器，其特征在于所述缓冲层由氮化硅或氧化铝制成。
4.根据权利要求I所述的流量传感器，其特征在于所述盖板与基部上部卡接。
5.根据权利要求I所述的流量传感器，其特征在于所述传感器芯片由奥氏体不锈钢制成。
专利摘要本实用新型公开了一种流量传感器，包括基部，基部上设有进液孔和出液孔，进液孔和出液孔形成流路，所述基部上表面设置有传感器芯片，传感器芯片上设置有绝缘膜，绝缘膜中部设有测量装置，所述基部上套接一盖板，盖板中部设置有一透视窗，盖板上还设置有接线柱。这种流量传感器灵敏度和响应性良好，且适合于测量腐蚀性流体的流速或流量。
文档编号G01F1/68GK202793484SQ20122032984
公开日2013年3月13日 申请日期2012年7月10日 优先权日2012年7月10日
发明者刘稼涛, 詹宝驹, 杜嘉晖 申请人:成都驹涛网络科技有限公司