专利名称：压力检测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压力检测器，该压力检测器用于检测流经流动通道的内部的流体的压力。
背景技术：
迄今为止，例如，在半导体制造业等等的制造过程中，使用包含化学品和纯水的液体等，并且压力检测器与液体流经的管相连接，从而通过压力检测器进行液体的压力测量，该液体流经管的内部。作为这种压力检测器的一种类型，例如，如日本特开专利公开公报N0.11-512827(PCT)(专利文献I)中所公开的，圆盘膜(disk membrane)设置在内部设置的压力传感器和孔部分之间，该压力传感器连接到腐蚀性液体流经的流体流动回路(fluid flowcircuit)，腐蚀性液体流入该孔部分，从而压力传感器与腐蚀性液体分离并且防止压力传感器与腐蚀性液体直接接触。在这种情况下，通过压力传感器检测流体压力，该流体压力通过圆盘膜被传输。此外，在日本特开专利公开公报N0.09-166512 (专利文献2)中，公开了一种流体压力传感器，在该流体压力传感器中，压力传感器被建立在管接头(tube fitting)的内部中，压力传感器通过 隔板(diaphragm)与流体分离，该隔板设置在压力传感器和压力流体流经的流动通道之间。此外，在日本特开专利公开公报N0.2005-207946 (专利文献3)中所公开的压力传感器中，设置凹陷的上表面，该上表面位于在上游侧连接端口和下游侧连接端口之间连接的流动通道的中间部分处，并且通过布置传感器主体的压力接收表面以便面向流动通道的开口，进行流体压力测量，该流动通道在凹陷的上表面的顶部开口。
发明内容
但是，利用专利文献I中所公开的传统技术，由于圆盘膜被布置在相对于孔部分向上偏移的位置上，因此在孔部分和圆盘膜之间产生停滞空间(dead space)，其中腐蚀性液体流经孔部分。此外，类似地，在专利文献2中公开的传统技术中，在隔板和流体通道之间产生停滞空间。由于这种停滞空间，从而阻碍了流体的平稳流动，并且存在液体的汇集或者碎屑的滞留可能会出现在停滞空间中的担心。出于这样的原因，如果这种压力检测器用于测量流体的压力，流体例如是用于半导体制造设备中的超纯水等，则可能还会在停滞空间内产生细菌等等。此外，气泡容易被附着在停滞空间的内部，因此易于出现由于这种气泡而导致的空气的收集，并且不能进行高精度地压力测量。另一方面，对于专利文献3中所公开的传统技术，为了避免上述停滞空间的问题，山峰形的弯曲部分设置在流动通道的中心。但是，由于流动通道阻力出现在流经弯曲部分的流体中，因此压力损失会增加，而且不能保证足够流量。此外，对于专利文献I至3所公开的压力检测器，流体所流经的流动通道和压力传感器本身之间的距离是非常短的，而另外，由于压力传感器被布置成仅仅通过圆盘膜或者隔板等等与流体分隔开，因此例如，如果流体的温度有改变，则存在这种改变可能会负面地影响由压力传感器所进行的压力测量的担心。本发明的一般目的在于提供一种压力检测器，该压力检测器避免在其中有停滞空间，该停滞空间阻止流体的平稳流动，并且通过防止影响流体的温度变化，该压力检测器能够以高精度进行流体的压力测量。本发明是一种压力检测器，该压力检测器包含本体、传感器室和贯通孔，该本体中具有流体所流经的流动通道，该传感器室设置在本体中，并且在该传感器室中布置压力传感器，该贯通孔从流动通道延伸到传感器室。压力传输体设置在贯通孔中，并且可在贯通孔中沿轴向方向移动，因此该压力传输体能够将流体的压力传输到压力传感器。压力传输体的一端在贯通孔中延伸到流动通道侧的端部，因此该一端部总是暴露于流体中。根据本发明，在压力检测器中，压力传输体可移动地设置在贯通孔中，该贯通孔在流体所流经的流动通道和在其中设置压力传感器的传感器室之间相连通。此外，所述压力传输体的一端在贯通孔中延伸到流动通道一侧上的端部，并且该一端部总是暴露于流体中。因此，防止在贯通孔中产生停滞空间，能够可靠地防止由于这种停滞空间而导致的液体的汇集或者气泡的产生，并且能够以高精度进行压力的检测。此外，由于压力传感器能够设置在与流体相距一定距离的位置处，因此能够防止由于流体的温度而导致的压力传感器的检测精度的下降，并且能够以高精度进行压力检测。本发明的上述及其他目的特征和优势通过以下描述以及附图将变得更加明显，其中本发明的最优实施例通过说明性的实例来展示。
图1是根据本发明的第一实施例的压力检测器的整体横截面图；图2是从图1的压力检测器中的杆状构件和密封构件的上方看的外部立体图；图3是图1的压力检测器中的密封构件的外边缘附近的区域C的放大横截面图；图4是展示图1的压力检测器中的杆状构件的头部附近的区域D的放大横截面图；图5是根据本发明的第二实施例的压力检测器的整体横截面图；和图6是根据本发明的第三实施例的压力检测器的整体横截面图。
具体实施例方式如图1至4所示，压力检测器10包括本体16、压力传感器18和盖构件20，其中本体16具有通过其供应和排出压力流体的第一和第二端口 12、14，压力传感器18设置在本体16的上部，盖构件20关闭并阻塞本体16的上部。对于上述压力流体，例如，可以使用化学液体或者纯水，该化学液体或者纯水可用于半导体制造设备。例如，本体16由树脂材料形成。第一端口 12在本体16的一侧上开口，并且第二端口 14在本体16的另一侧上开口。第一和第二端口 12、14水平开口，并且在其外圆周表面上雕刻螺纹24，紧固构件22a、22b螺纹接合到该螺纹24。
另外，在管26已经分别插过第一和第二端口 12、14的外圆周侧之后，管26通过圆筒形紧固构件22a、22b相对于螺纹24的螺纹接合而被分别紧固并连接到第一和第二端口12、14，其中上述管26已经插入通过紧固构件22a、22b。例如，未图示的压力流体供应源经由管26被连接到第一端口 12，而压力流体所需要的单独的设备经由管26被连接到第二端口 14。在第一端口 12和第二端口 14之间，流动通道28形成为直线以便连接两个端口，因此第一端口 12和第二端口 14与流动通道28相连通。此外，在本体16中，贯通孔30形成为在垂直于流动通道28的向上方向上延伸，并且形成在流动通道28的大致中心部分。杆状构件(压力传输体)32被可移动地插入贯通孔30中。贯通孔30沿轴向方向形成具有大致恒定的直径，并且通过从流动通道28延伸到传感器室34，在流动通道28和传感器室34之间互相建立连通，其中传感器室34形成在本体16的上部。杆状构件32由弹性树脂材料形成的具有大致恒定直径的轴状体构成，并且被可移动地插入贯通孔30中。杆状构件32包含轴状主体部分36和头部38，该头部38形成在主体部分36的上部。主体部分36的外径与贯通孔30的内径基本上相同，而头部38形成为圆盘状的形状并且其直径在相对于主体部分36的径向向外的方向上扩展。主体部分36的轴向长度形成得稍微长于贯通孔30的轴向长度，因此主体部分36的下端设置在贯通孔30和流动通道28之间的边界区域处。因此，在贯通孔30的内部，不会产生压力流体会流入其中的停滞空间。此外，杆状构件32的头部38的上部分形成为在向上方向上凸形突出的弯曲形状。此外，对于杆状构件32的材料，对应于流经流动通道28的压力流体的类型，可以使用具有耐水性或者耐化学性的材料。传感器室34形成有底部形状并且在向上的方向上开口。在传感器室34的底部上，形成密封安装部分40，该密封安装部分40朝着流动通道28 —侧凹陷。例如，密封构件42由弹性材料形成并且被安装在密封安装部分40上。密封构件42由诸如橡胶等的弹性材料制成，并且包括环形基底部44，外边缘部46和薄膜形的侧缘部48，外边缘部46形成在基底部44的外圆周侧上并且相对于基底部44垂直突出，薄膜形的侧缘部48相对于基底部44径向向内延伸。密封构件42可以由诸如特氟隆(注册商标)等的弹性材料形成。例如，基底部44形成为具有预定厚度的平板。基底部44抵靠密封安装部分40的下表面，而压力传感器18抵靠基底部44的上表面。更具体地，基底部44被夹持在压力传感器18和密封安装部分40之间。此外，如图3所示，第一突起(环形突起)50的横截面为半圆形，在基底部44的下表面上向下突出并抵靠密封安装部分40的下表面。正由于此，通过第一突起50防止压力流体从本体16和密封构件42的基底部44之间渗漏。外边缘部46被插入到环形槽51中，该环形槽51形成在密封安装部分40中，一对第二突起(环形突起)52a、52b形成在外边缘部46的外圆周表面上，并且抵靠环形槽51的壁表面。例如，第二突起52a、52b的横截面为半圆形，在相对于外边缘部46的外圆周表面的径向向外方向上突出，并且彼此互相分离。另外，通过使第二突起52a、52b抵靠环形槽51，防止压力流体从环形槽 51和密封构件42的外边缘部46之间朝向传感器室34 —侧通过。
孔53 (参见图4)形成在侧缘部48的中心，并且杆状构件32插入通过孔53。另夕卜，在密封构件42安装在密封安装部分40上的状态下，外边缘部46通过随后说明的保持器54被固定到本体16，并且侧缘部48由于被夹持在杆状构件32的头部38和本体16之间而被保持。此外，如图4所示，在侧缘部48中的孔53的附近，形成环形的第三突起(环形突起)56和环形的第四突起(环形突起)58，该环形的第三突起56从下表面向下突出，该环形的第四突起58从侧缘部48的上表面向上突出。另外，第三突起56抵靠本体16的密封安装部分40，因此防止压力流体从密封安装部分40和侧缘部48之间渗漏。另一方面，通过使第四突起58抵靠杆状构件32的头部38，防止压力流体从侧缘部48和头部38之间渗漏。例如，压力传感器18能够将来自外部的按压力转换为电信号并且输出该电信号。压力传感器18配备有传感器元件60和终端62，该传感器元件60设置在密封构件42和杆状构件32的上部分上的传感器室34中，终端62连接到传感器元件60。终端62还被电连接到电路板64。导线74被连接到电路板64以用于将由压力传感器18检测的压力值输出到外部。传感器元件60被设置成:杆状构件32的头部38抵靠其下表面的中心部分，该下表面用作用于接收压力的压力接收表面的功能，而密封构件42的基底部44抵靠其外围部分。另外，传感器元件60通过保持器54被固定在传感器室34的内部中，其中通过螺栓66将电路板64紧固到保持器54。盖构件20被连接到本体16的上部以便覆盖传感器室34，并且在盖构件20的中心部分中形成有抽出孔68，其中导线74插入通过盖构件20的中心部分。通过将导线74插入通过抽出孔68，并且通过将 螺母72连同按压构件70 —起紧固在其上，从而导线74被固定到盖构件20。基本如上所述地构造根据本发明的第一实施例的压力检测器10。接下来，将说明压力检测器10的操作和优点。首先，在压力流体不流经本体16的流动通道28的初始状态下，由于来自压力流体的按压力不会施加于杆状构件32的下端上，因此杆状构件32不会被按压并朝着压力传感器18 —侧移动，并且压力传感器18处于不被头部38按压的状态。因此，压力传感器18检测不到压力。接下来，当压力流体被供应到上游侧的第一端口 12，并且压力流体经过流动通道28并流动到第二端口 14时，由于流动通道28内部的压力流体的压力，因此杆状构件32的下端被向上按压，并且杆状构件32在轴向方向上被沿着贯通孔30压缩。因此，压力传感器18的传感器元件60被杆状构件32的头部38按压，并且基于按压力(压力量)，通过传感器元件60将电信号从终端62输出到电路板64。因此，在压力传感器18中检测压力流体的压力，并且该压力通过导线74被输出到外部。另一方面，从以上情况可知，在压力流体的压力减小的情况下，流体作用于杆状构件32的按压力减小。伴随着这种减小，杆状构件32的向上压缩的状态得以释放并且压力传感器18上的按压力(压力量)减少。因此，基于按压力的电信号从压力传感器18输出，从而可以确认压力流体的压力已经降低。更具体地，杆状构件32设置成沿贯通孔30移动一定的位移量，该位移量对应于流动通道28中流动的压力流体的压力。此外，在这种情况下，尽管压力流体从流动通道28流入杆状构件32的外圆周表面和贯通孔30之间的空间，但是由于由弹性材料制成的密封构件42设置在杆状构件32和压力传感器18的传感器元件60之间，因此防止压力流体向压力传感器18 —侧流动(流入传感器室34)。更具体地，在密封构件42上，由于第一突起50设置在抵靠本体16的基底部44上，从而防止压力流体向密封安装部分40的环形槽51 —侧渗漏。此外，由于一对第二突起52a、52b设置在外边缘部46上，因此防止压力流体从环形槽51向传感器室34 —侧渗漏。更进一步，由于第三和第四突起56、58分别设置在侧缘部48的下表面和上表面上，因此防止压力流体从密封构件42和杆状构件32之间向传感器室34 —侧渗漏。以上述方式，根据第一实施例，在压力检测器10中，杆状构件32被可移动地设置在贯通孔30中，贯通孔30使传感器室34和流动通道28之间相连通，其中压力传感器18布置在该传感器室34中，压力流体流经该流动通道28。另外，杆状构件32的下端被布置成延伸到贯通孔30的端部。因此，由于压力流体的压力经由杆状构件32被传输到压力传感器18，因此通过将杆状构件32设置在贯通孔30的内部，从而能够避免在贯通孔30中产生停滞空间。因此，能够可靠地防止在产生停滞空间的情况下易于发生液体的汇集或者细菌的出现或者气泡的产生，并且能够以高精度检测压力流体的压力。此外，由于压力传感器18的传感器元件60能够被布置在与流动通道28相距预定距离处，其中压力流体流经该流动通道28，因此能够防止由于压力流体的温度而导致的压力传感器18的检测精度的降低，并且能够以高精度进行压力的检测。此外，由于杆状构件32被配置成接收压力流体的压力，因此密封构件42不会直接接收压力，并能够避免耐久性的减少，如果密封构件42被过度损坏，则会有耐久性减少的担心。再进一步，流动通道28形成为沿轴向方向的直线，并且由于如在根据传统技术的压力检测器中的弯曲部 分和突起，不是必需设置在流动通道28中，因此能够使得压力流体通畅地流动，并且能够更可靠地检测压力流体的压力。再进一步，通过分别构造与压力流体直接接触的杆状构件32和不与压力流体直接接触的密封构件42，可以由不同的材料形成杆状构件32和密封构件42。因此，例如在压力流体为化学液体等的情况下，仅杆状构件32需要由耐化学性的材料形成，而密封构件42可以由具有弹性的材料形成，例如特氟隆(注册商标)等。此外，由于杆状构件32的头部38形成有向上突出的弯曲形状，因此压力传感器18的传感器元件60能够被头部38的中心部分可靠地按压。接下来，图5显示根据第二实施例的压力检测器100。由相同的附图标号表示与根据第一实施例的压力检测器10的结构元件相同的结构元件，并且省略这些部件的详细说明。根据第二实施例的压力检测器100与根据第一实施例的压力检测器10的不同之处在于设置了压力传输体102,在该压力传输体102中，根据第一实施例的杆状构件32和密封构件42整体形成。如图5所示，压力检测器100配备有压力传输体102。压力传输体102具有杆状构件104和密封构件106，该杆状构件104接收压力流体的压力，密封构件106保持本体16的贯通孔30和传感器室34之间的液体密封条件。密封构件106与杆状构件104的上部分被整体形成。另外，杆状构件104被可移动地插入本体16的贯通孔30中，而密封构件106被安装在传感器室34中形成的密封安装部分40上。杆状构件104包括轴状主体部分36，并且当杆状构件104插入贯通孔30时，其下端布置成面向流动通道28。相反，在主体部分36的上部，构成密封构件106的侧缘部48被结合到此。关于杆状构件104的结构，与根据第一实施例的压力检测器10的杆状构件32的结构相同，从而省略其详细说明。侧缘部48以薄膜形状大致形成在密封构件106的中心，并且其中心部分被整体结合到杆状构件104的上部。关于密封构件106的结构，与根据第一实施例的压力检测器10的密封构件42的结构相同，从而省略其详细说明。压力传输体102由杆状构件104和密封构件106构成，并且由弹性树脂材料形成，例如，聚丙烯或者特氟隆(注册商标)等。杆状构件104的上端抵靠压力传感器18的传感器元件60。另外，通过使得压力流体流经本体16的流 动通道28，由压力流体的压力向上按压压力传输体102上的杆状构件104的下端，并且杆状构件104沿贯通孔30稍微地移动。因此，压力传感器18的传感器兀件60被压力传输体102的杆状构件104按压,并且基于按压力(压力量)，通过传感器元件60将电信号从终端62输出到电路板64。因此，在压力传感器18中检测压力流体的压力，并且该压力通过导线74被输出到外部。此时，在压力传输体102中，密封构件106的侧缘部48连同杆状构件104 —起移动，因此侧缘部48通过绕与杆状构件104的联结区域弯曲而发生变形。以上述方式，利用根据第二实施例的压力检测器100，通过流经本体16的流动通道28的压力流体的压力按压压力传输体102上的杆状构件104，从而通过杆状构件104的上端部按压压力传感器18的传感器元件60，并且检测压力流体的压力。正由于此，通过将压力传输体102的杆状构件104插入本体16的贯通孔30中，从而能够避免在贯通孔30中产生停滞空间。因此，能够可靠地防止如果产生这种停滞空间时易于发生的液体的汇集或者细菌的出现或者气泡的产生，并且能够以高精度检测压力流体的压力。此外，通过使用杆状构件104和密封构件106整体共同形成的压力传输体102，能够减少部件的数量并且能够简化其结构，同时减少组装步骤数。此外，由于压力传感器18的传感器元件60能够被布置在与压力流体所流经的流动通道28相距预定距离处，因此能够防止由于压力流体的温度而导致的压力传感器18的检测精度的降低，并且能够以高精度进行压力的检测。此外，由于压力传输体102的杆状构件104被配置成接收压力流体的压力，因此密封构件106不会直接接收压力，并能够避免耐久性的减少，如果密封构件106被过度损坏，则会有耐久性减少的担心。接下来，图6显示根据第三实施例的压力检测器120。由相同的附图标号表示与根据第一实施例的压力检测器10的结构元件相同的结构元件，并且省略这些部件的详细说明。根据第三实施例的压力检测器120与根据第一和第二实施例的压力检测器10、100的不同之处在于设置了密封构件122，该密封构件122在其中心不包括孔，并且杆状构件32的头部38布置成从下方抵靠密封构件122的中心。如图6所示，压力检测器120配备有杆状构件32和密封构件122，该杆状构件32插入本体16的贯通孔30中并且接受来自压力流体的压力，该密封构件122设置成覆盖杆状构件32的上部分。密封构件122由例如橡胶等的弹性材料形成，并且由环形形状的基底部44，外边缘部46和薄膜形的侧缘部124组成，外边缘部46形成在基底部44的外圆周上并且相对于基底部44垂直突出，薄膜形的侧缘部48相对于基底部44在径向向内的方向上延伸。关于杆状构件32,由于它的结构与根据第一实施例的压力检测器10的杆状构件32的结构相同，从而省略其详细说明。另外，密封构件122被安装在本体16的密封安装部分40上，因此插入贯通孔30的杆状构件32的头部38抵靠密封构件122的侧缘部124的下表面。在以上述方式构造的压力检测器120中，当使得压力流体流经本体16的流动通道28，通过压力流体的压力向上按压杆状构件32的下端，因此杆状构件32沿贯通孔30稍微移动。因此，密封构件122的侧缘部124被向上按压并且通过杆状构件32的上端被弯曲，从而按压压力传感器18的传感器兀件60。基于从杆状构件32和密封构件122作用的按压力(压力量)，通过终端62从传感器元件60向电路板64输出电信号。因此，在压力传感器18中检测压力流体的压力，并且该压力通过导线74被输出到外部。以上述方式，利用根据第三实施例的压力检测器120，通过流经本体16的流动通道28的压力流体的压力按压杆状构件32，从而经由被杆状构件32的上端抵靠的密封构件122的侧缘部124按压压力传感器18的传感器元件60，并且检测压力流体的压力。正由于此，通过将杆状构件32插入本体16的贯通孔30中，从而能够避免在贯通孔30中产生停滞空间。因此，能够可靠地防止如果产生停滞空间时易于出现的液体的汇集或者细菌的出现或者气泡的产生，并且能够以高精度检测压力流体的压力。此外，由于杆状 构件32和密封构件122能够以不同的材料分别形成，因此能够增强压力检测器120的组装的简易性，并且例如，杆状构件32能够由适当的材料形成，该材料对应于流经流动通道28的压力流体的类型。根据本发明的压力检测器并不局限于上述实施例，而理所当然的是在不背离本发明的实质要点的范围内，可以采用各种附加或者修改的结构。
权利要求
1.一种压力检测器，其特征在于，所述压力检测器包含本体(16)、传感器室(34)和贯通孔(30);所述本体(16)中具有流体所流经的流动通道(28);所述传感器室(34)设置在所述本体(16)中，并且在所述传感器室(34)中布置压力传感器(18);所述贯通孔(30)从所述流动通道(28)延伸到所述传感器室(34);并且进一步包含: 压力传输体(32、102)，所述压力传输体(32、102)设置在所述贯通孔(30)中并且能够在所述贯通孔(30)中沿轴向方向移动，所述压力传输体(32、102)能够将所述流体的压力传输到所述压力传感器(18)，所述压力传输体(32、102)的一端在所述贯通孔(30)中延伸到所述流动通道(28)侧的端部，所述一端总是暴露于所述流体中。
2.如权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，密封构件(42、106、122)被设置在所述贯通孔(30)和所述压力传感器(18)之间，所述密封构件(42、106、122)阻塞所述传感器室(34)和所述贯通孔(30)之间的流体的流动。
3.如权利要求2所述的压力检测器，其特征在于，所述密封构件(42)包括在其中心的孔(53 )，所述压力传输体(32 )插入通过所述孔(53 )。
4.如权利要求3所述的压力检测器，其特征在于，所述压力传输体(32)的另一端抵靠所述压力传感器(18)。
5.如权利要求2所述的压力检测器，其特征在于，所述密封构件(106)与所述压力传输体(102)整体形成。
6.如权利要求2所述的压力检测器，其特征在于，所述压力传输体(32)相对于所述密封构件(122)设置在所述贯通孔(30)侧，并且经由所述密封构件(122)将压力传输到所述压力传感器(18)。
7.如权利要求2所述的压力检测器，其特征在于，所述密封构件(42)包含环形突起(50、52a、52b、56)，所述环形突起(50、52a、52b、56)在所述密封构件(42)的外周部分和所述密封构件(42)面向所述本体(16)的侧表面中的至少一个上向外突出。
8.如权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述压力传输体(32)包含: 轴状主体部分(36)； 头部(38)，所述头部(38)形成在所述主体部分(36)的另一端上，并且具有弯曲表面，所述弯曲表面相对于所述主体部分(36)径向向外扩展，并且朝着所述压力传感器(18)侧凸形地关出； 其中，所述压力传感器(18 )能够被所述头部(38 )按压。
9.如权利要求8所述的压力检测器，其特征在于，所述主体部分(36)的轴向长度稍微长于所述贯通孔(30)的轴向长度，因此所述主体部分(36)的一端设置在所述贯通孔(30)和所述流动通道(28)之间的边界区域。
10.如权利要求1所述的压力检测器，其特征在于，所述压力传输体(32)和所述密封构件(42、122)由不同的材料形成。
11.如权利要求2所述的压力检测器，其特征在于，所述密封构件(42、122)包含: 基底部(44)； 薄膜状侧缘部(48、124 )，所述薄膜状侧缘部(48、124 )被所述压力传输体(32 )保持；和 外边缘部(46 )，所述外边缘部(46 )形成在所述基底部(44 )的外周侧，并且被所述本体(16)保 持；其中，所述基底部(44)形成`在所述侧缘部(48、124)和所述外边缘部(46)之间。
全文摘要
本发明涉及一种压力检测器。在本体(16)中形成贯通孔(30)，该本体(16)构成压力检测器(10)的一部分，该贯通孔(30)从压力流体所流经的流动通道(28)的大致中心部分指向上。所述贯通孔(30)与传感器室(34)相连通，在该传感器室(34)中设置压力传感器(18)，并且杆状构件(32)被可移动地设置在所述贯通孔(30)中。另外，所述杆状构件(32)的端部暴露于流动通道(28)，被压力流体按压从而向上移动，并且通过杆状构件(32)的头部(38)按压压力传感器(18)来检测压力。
文档编号G01L19/00GK103245456SQ20131004633
公开日2013年8月14日 申请日期2013年2月5日 优先权日2012年2月9日
发明者深野喜弘, 内野正 申请人:Smc株式会社