专利名称：处理器以及部件检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及输送部件的处理器，特别是涉及具有调节部件的温度的温度调节部的处理器、以及具备该处理器的部件检查装置。
背景技术：
通常，在检查电子部件的电气特性的部件检查装置中，会用到处理器，该处理器在基台上的托盘与检查用插口之间输送检查前、检查后的电子部件。在这样的部件检查装置中，有将电子部件置于0°c以下的低温状态并在此基础上检查该电子部件的电气特性的装置。以往，作为将电子部件冷却至低温状态的方法，例如公知有专利文献I所记载那样的技术。在专利文献I中，在工作台载置有托盘，该托盘收容有多个电子部件。在该工作台的内部配设有内部通路。而且，处于干燥状态的压缩空气被冷却，并将该被冷却的压缩空气供给至工作台的内部通路。由此，经由工作台冷却托盘，从而经由该托盘冷却电子部件。专利文献1:日本特开2004-347329号公报然而，作为冷却电子部件的方法，除了专利文献I所记载的方法之外，也有向工作台的内部通路供给液氮的方法。在该方法中，虽然能够迅速地冷却工作台，但是有时液氮的一部分会在工作台的内部通路发生气化。因为液氮若在大气压下气化则其体积会扩大至约700倍，所以对于内部通路所处的工作台或从该工作台排出液氮的排出路而言，需要能够承受伴随液氮气化的压力变化的耐压性。另外，虽然对液氮的供给量以使得工作台的温度达到目标温度的方式进行控制，但是由于液氮在工作台的内部通路发生气化，所以有时还会因气化时的气化热致使工作台被过度冷却。
发明内容
本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的在于提供一种能够抑制因液化气体的气化所导致的压力变动以及工作台的过度冷却的处理器、以及具备该处理器的部件检查
>J-U装直。本发明的处理器具备:机器人，其输送部件；工作台，其支承所述部件；供给部，其供给液化的气体亦即液化气体；供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结；阀，其开闭所述供给路；加热器，其加热所述工作台；温度传感器，其检测所述工作台的温度；控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭；以及气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化。根据本发明的处理器，能够将工作台调整至规定温度，并且液化气体在到达工作台之前进入气化容器。对于气化容器而言，因为流路截面积比供给路大，所以流路内面积以及容积也比该供给路大。因此，进入气化容器的液化气体被暴露在比液化气体的沸点的温度高的气化容器的内部而气化膨胀。此时，在气化容器的内部虽然产生伴随着液化气体的气化的压力变动，但是因为气化容器的内部被先行的液化气体气化而成的气体充满，所以能够缓和与后续的液化气体的气化相伴随的压力变动。而且，因为将在气化容器气化的气体供给至工作台内的通路，所以能够抑制该通路中的液化气体的气化。其结果是，能够抑制因液化气体的气化热所导致的工作台的温度过度的降低。因此，能够抑制因液化气体的气化所导致的压力变动以及工作台的过度的冷却。在该处理器中，将上述阀配设于比上述气化容器更靠上述供给路的上游侧。根据该处理器，在供给路配设有阀，该阀比气化容器更靠上游侧。这里，在阀配设于比气化容器更靠下游侧的情况下，若阀维持在关闭状态，则处于供给部与阀之间的气化容器成为封闭的状态。因此，假设由于液化气体的一部分气化而导致气化容器内的压力变高，从而对气化容器要求能够承受上述压力的耐压性。关于这一点，根据上述的方式，即使阀维持在关闭状态，因为能够避免气化容器成为封闭状态，所以也能够降低气化容器被要求的耐压性。该处理器具备:收容容器，其收容上述工作台；和排出路，其将上述工作台内的通路与上述收容容器内连结。根据该处理器，因为对工作台内的通路供给的气体其含水量接近于零，所以通过将从工作台内的通路排出的气体供给至收容容器内，能够使该收容容器内处于干燥状态。其结果是，能够抑制在被冷却至低温状态的工作台以及被该工作台支承的部件产生结露。在该处理器中，在上述排出路中配设有逆止阀，该逆止阀限制气体向上述工作台内的通路流入。根据该处理器，例如在将阀维持在关闭状态期间，能够抑制与液化气体相比含水量多的气体通过排出路流入工作台内的通路以及气化容器。其结果是，在恢复工作台的冷却时，能够抑制在工作台内的通路以及气化容器产生结露。在该处理器中，上述通路具有 第一内部通路以及第二内部通路，上述气化容器具有第一气化室和第二气化室，上述第一内部通路与上述第一气化室连接，上述第二内部通路与上述第二气化室连接。根据该处理器，向第一内部通路供给在第一气化室发生了气化的气体。另外，向第二内部通路供给在第二气化室发生了气化的气体。其结果是，通过对第一气化室以及第二气化室供给不同量的液化气体，能够对第一内部通路以及第二内部通路供给不同量的气体。在该处理器中，上述排出路具有第一排出路和第二排出路，上述逆止阀具有第一逆止阀和第二逆止阀，上述第一排出路与上述第一内部通路连接，在上述第一排出路配设有上述第一逆止阀，上述第二排出路与上述第二内部通路连接，在上述第二排出路配设有另一逆止阀亦即第二逆止阀。根据该处理器，例如在停止对工作台的冷却的期间，能够抑制比液化气体含水量多的空气通过第一排出路流入第一内部通路以及第一气化室。同样地，能够抑制比液化气体含水量多的空气通过第二排出路流入第二内部通路以及第二气化室。其结果是，在恢复工作台的冷却时，能够抑制在第一内部通路以及第二内部通路、和第一气化室以及第二气
化室产生结露。在该处理器中，上述第二排出路与上述第一排出路连接，在上述第一排出路配设有上述第一逆止阀，上述第一逆止阀比该第一排出路与上述第二排出路的连接部分更靠上游侧。根据该处理器，能够抑制从第一内部通路排出的气体流入第二内部通路的情况、和从第二内部通路排出的气体流入第一内部通路的情况。在该处理器中，在上述第一排出路配设有升温部，该升温部比该第一排出路与上述第二排出路的连接部分更靠下流侧并使在该第一排出路流动的气体升温。根据该处理器，因为将被升温部升温的气体导入收容容器内，所以与将未被升温的气体导入收容容器内的情况相比，收容容器内的温度变高。其结果是，因为容易将收容容器内的温度维持在比露点高的温度，所以能够抑制在该收容容器内产生结露。在该处理器中，在上述第一排出路配设有第三逆止阀，该第三逆止阀比上述升温部更靠下游侧并限制气体向该升温部的流入。根据该处理器，例如在停止对工作台的冷却的期间，能够抑制比液化气体含水量多的空气通过排出路流入升温部。其结果是，在恢复工作台的冷却时，能够抑制在升温部产
生结露。本发明的部件检查装置具备:输送机器人，其输送部件；工作台，其支承所述部件；供给部，其供给液化的气体亦即液化气体；供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结；阀，其开闭所述供给路；加热器，其加热所述工作台；温度传感器，其检测所述工作台的温度；控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭；气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化；以及测试器，其检查所述部件。根据本发明的部件检查装置，能够将工作台调整至规定温度，并且液化气体在到达工作台之前在气化容器被气化。伴随该气化的压力变动在气化容器内得到缓和。而且，因为将在气化容器发生了气化的气体向工作台内的通路供给，所以能够抑制因液化气体的气化热所导致的工作台的过度的冷却。因此，能够抑制因液化气体的气化所导致的压力变动以及工作台的过度冷却。
图1是表示将本发明具体化了的处理器以及部件检查装置的一实施方式的整体构成的构成图。图2是示意性地表示了该实施方式的冷却单元的简要结构的简要结构图。图3是表示该实施方式的处理器中的电气构成的一部分的框图。图4是示意性地表示了变形例的工作台的图。附图标记的说明T…电子部件；C1…供给用输送机；C2、C3、Cl"回收用输送机；Cla、C2a、C3a、C4a…设备托盘；10…处理器；11…基台；lla…安装面；12…罩部件；13…开口部;14…测试头；14a…检查用插口 ；15…第一梭；15a…供给用梭板；15b…回收用梭板；15c…梭导向件；16…第二梭；16a…供给用梭板；16b…回收用梭板；16c…梭导向件；17、17a、17b、18…收容卡格；20…供给机器人；21…供给侧固定导向件；22…供给侧可动导向件；23…供给用手单兀；30…输送机器人；31…输送导向件；32…第一输送单兀；33…第二输送单兀；40…回收机器人；41…回收侧固定导向件；42…回收侧可动导向件；43…回收用手单元；50…收容箱；51…检查箱；52…收容箱；55…贮藏罐；56…共用通路；61…第一供给路；62…第一内部通路；63…第一阀；66…第二供给路；67…第二内部通路;68…第二阀;68…阀；70…热交换器；71…第一气化室；72…第二气化室；73…隔热材料；74、75…加热用加热器；77、78…温度传感器；81…第一排出路；82…第二排出路；83…第一逆止阀；84…第二逆止阀；85…热交换器；86…低温流体室；87…干空气供给源；88…高温流体室；89…气体加热器；90…第三逆止阀；95…控制装置；96…冷却单兀驱动部；96a…阀驱动部；96b…加热器驱动部；98…测试器;100…内部通路;101…加热用加热器;102…收容部;103…基座。
具体实施例方式以下参照图f图3，对将本发明的处理器以及部件检查装置具体化了的一实施方式进行说明。此外，部件检查装置是具备输送电子部件的处理器、和作为与处理器独立的装置并对电子部件的电气特性进行检查的测试器的装置。处理器以及部件检查装置的构成首先，参照图1对处理器以及具备该处理器的部件检查装置的整体构成进行说明。如图1所示，在处理器10的基台11上，将安装有各种机器人的安装面Ila设置为上表面，该安装面Ila的大部分被罩部件12覆盖。对于由这些罩部件12与安装面Ila围成的空间亦即输送空间而言，利用从外部供给的干空气将其湿度与温度维持在规定的值。在基台11的安装面Ila排列有四个在罩部件12的外侧与内侧之间输送电子部件T的输送机Cf C4。其中，在输送机的排列方向亦即X方向的一侧铺设有从罩部件12的外侧朝内侧输送检查前的电子部件T的供给用输送机Cl，在X方向的另一侧铺设有从罩部件12的内侧朝外侧输送检查后的电子部件T的回收用输送机C2、C3、C4。在这些输送机Cf C4中，多个电子部件T以收容于各输送机上的设备托盘Cla C4a中的状态被输送。另外，在安装·面Ila中，在输送空间的大致中央形成有贯通安装面Ila的矩形状的开口部13。在该开口部13安装有测试器的测试头14。测试头14在其上表面具有供电子部件T嵌入的检查用插口 14a，且该与用于检查该电子部件T的测试器内的检查电路电连接。在该测试器中，由测试头14和检查用插口 14a构成一个工作台。并且，在安装面Ila中，在与X方向正交的Y方向上，在开口部13的两侧配置有临时载置检查前以及检查后的电子部件T的第一梭15和第二梭16。这些梭15、16以沿X方向延伸的方式形成，并在其上表面的上述供给用输送机Cl侧分别固定有供给用梭板15a、16a，该供给用梭板15a、16a形成有多个收容检查前的电子部件T的收容卡格17、18。另一方面，在梭15、16的上表面的上述回收用输送机C2飞4侧分别固定有收容检查后的电子部件T的回收用梭板15b、16b。而且，这些梭15、16分别与固定设置于安装面Ila的沿X方向延伸的梭导向件15c、16c连结并沿X方向往复运动。在处理器10中，由第一梭15和供给用梭板15a构成一个工作台，由第二梭16和供给用梭板16a构成一个工作台。在基台11的安装面I Ia上安装有分别向检查用插口 14a、供给用梭板15a、16a、以及回收用梭板15b、16b输送电子部件T的机器人机构。而且，上述的梭15、16与构成机器人机构的供给机器人20、输送机器人30、以及回收机器人40的动作相配合地沿梭导向件15c、16c移动。
供给机器人20是从供给用输送机Cl上的设备托盘Cla向梭15、16上的供给用梭板15a、16a输送检查前的电子部件T的机器人，并配置于供给用输送机Cl的Y方向。详细而言，供给机器人20具有:沿Y方向延伸的固定轴亦即供给侧固定导向件21 ;相对于供给侧固定导向件21以能够沿Y方向往复运动的方式连结的供给侧可动导向件22 ;相对于供给侧可动导向件22以能够沿X方向往复运动的方式连结的供给用手单元23。另外，供给用手单元23在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以能够相对于安装面Ila下降以及上升的方式与供给侧可动导向件22连结。而且，通过供给侧可动导向件22以及供给用手单元23的移动，将载置于设备托盘Cla的电子部件T吸附于供给用手单元23的吸附部并进行输送，从而将该电子部件T载置于供给用梭板15a、16a。回收机器人40是从梭15、16上的回收用梭板15b、16b向回收用输送机C2 C4上的设备托盘C2a飞4a输送检查后的电子部件T的机器人，并配置于回收用输送机C2 C4的Y方向。详细而言，回收机器人40与上述的供给机器人20同样地具有 沿Y方向延伸的固定轴亦即回收侧固定导向件41 ;相对于回收侧固定导向件41以能够沿Y方向往复运动的方式连结的回收侧可动导向件42 ;相对于回收侧可动导向件42以能够沿X方向往复运动的方式连结的回收用 手单元43。另外，回收用手单元43在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以能够相对于安装面Ila下降以及上升的方式与回收侧可动导向件42连结。而且，通过回收侧可动导向件42以及回收用手单元43的移动，将载置于回收用梭板15b、16b的电子部件T吸附于回收用手单元43的吸附部并进行输送，从而将该电子部件T载置于设备托盘C2a C4a。输送机器人30具有:在输送空间的大致中央设置的沿Y方向延伸的固定轴亦即输送导向件31 ;以及相对于输送导向件31以能够沿Y方向往复运动的方式连结的第一输送单元32以及第二输送单元33。其中，第一输送单元32在第一梭15上与测试头14上之间往复移动，第二输送单兀33在第二梭16上与测试头14上之间往复移动。另外，第一输送单元32以及第二输送单元33分别在其下端具有吸附电子部件T的吸附部，并以能够相对于安装面Ila下降以及上升的方式与输送导向件31连结。而且，第一输送单元32将载置于第一梭15上的供给用梭板15a的检查前的电子部件T吸附于吸附部并进行输送，并以规定的按压力将电子部件T嵌入测试头14的检查用插口 14a。在检查用插口 14a的底面，凹陷设置有多个能够与电子部品T的雄端子嵌合的雌端子，通过将电子部件T所具有的雄端子嵌入检查用插口 14a的雌端子，能够通过测试器检查电子部件T的电气特性。测试器从处理器10接受检查开始的指令从而开始对电子部件T的检查，并将该检查结果和表不检查结束的信号向处理器10输出。这样若电子部件T的检查结束，则第一输送单元32将检查后的电子部件T从测试头14的检查用插口 14a向第一梭15上的回收用梭板15b输送。同样地，第二输送单元33将载置于第二梭16上的供给用梭板16a的检查前的电子部件T吸附于吸附部并进行输送，并以规定的按压力将电子部件T嵌入测试头14的检查用插口 14a。而且，若测试器对电子部件T的检查结束，则第二输送单元33将检查后的电子部件T从测试头14的检查用插口 14a向第二梭16上的回收用梭板16b输送。通过交互进行通过这样的第一输送单元32以及第二输送单元33将电子部件T向测试头14的输送，利用测试器依次检查电子部件T。
此外，供给用手单元23、回收用手单元43、第一输送单元32以及第二输送单元33是同时吸附保持多个电子部件的装置，各自的吸附部例如作为能够通过真空吸附来吸附并握持电子部件T的末端执行器而构成。此处，在本实施方式中，在第一梭15的周围配设有作为收容容器的收容箱50，该收容箱50具有在输送空间内被隔离并收容第一梭15与供给用梭板15a以及回收用梭板15b的室。同样地，在开口部13以及安装于开口部13的测试头14的周围配设有作为收容容器的检查箱51，该检查箱51具有在输送空间内被隔离并收容测试头14以及检查用插口14a的室。并且，在第二梭16的周围配设有作为收容容器的收容箱52，该收容箱52具有在输送空间内被隔离并收容第二梭与供给用梭板16a以及回收用梭板16b的室。而且，分别在这些收容箱50、检查箱51以及收容箱52的各个中进行电子部件T的冷却。冷却单元的构成参照图2对进行电子部件T的冷却的冷却单元的构成进行说明。其中，在部件检查装置中安装有:对收容于供给用梭板15a、16a的收容卡格17、18的电子部件T进行冷却的冷却单元；以及对收容于测试头14的检查用插口 14a的电子部件T进行冷却的冷却单元，但在本实施方式中，利用对收容于供给用梭板15a的收容卡格17的电子部件T进行冷却的冷却单元来进行说明。如图2所示，一个冷却单元对形成于供给用梭板15a的多个收容卡格17中的两个收容卡格17a、17b中所收容的电子部件T进行冷却。冷却单元使用使作为液化气体的液氮气化而成的氮气，将供给用梭板15a中的收容卡格17a、17b的温度冷却到目标温度即例如一45。。。
在冷却单元中，在作为供液氮贮藏的供给部的贮藏罐55，经由共用通路56连接有第一供给路61。该第一供给路61是大致相等的流路截面积连续的管，以经过收容卡格17a的正下方的方式与形成于第一梭15的第一内部通路62连接。在第一供给路61配设有第一阀63 (以下，仅称作阀63。)，该阀63开闭第一供给路61来控制对第一气化室71的液氮的供给量。另外，贮藏罐55经由共用通路56连接有第二供给路66。第2供给路66是具有与第一供给路61大致相等的流路截面积的管，以经过收容箱17b的正下方的方式与形成于第一梭15的第二内部通路67连接。在第二供给路66配设有第二阀68 (以下，仅称作阀68。)，该阀68开闭第二供给路66来控制对第二气化室72的液氮的供给量。在这些第一供给路61以及第二供给路66配设有热交换器70。热交换器70是所谓的板式热交换器，配置于各阀63、68的下游侧并且被隔热材料73覆盖。在热交换器70上以使该热交换器70中的流动成为并行流的方式连接有第一供给路61以及第二供给路66，第一供给路61与第一气化室71连接，第二供给路66与第二气化室72连接。第一气化室71以及第二气化室72因为形成为比第一供给路61以及第二供给路66的流路截面积大的流路截面积，所以具有比第一供给路61以及第二供给路66大的流路内面积以及容积。流入第一气化室71以及第二气化室72的液氮通过暴露在温度比液氮的沸点高的热交换器70的内部从而成为比目标温度低的温度的氮气并从热交换器70流出。S卩，热交换器70不是使制冷剂膨胀而使该制冷剂的温度降低的装置，并且不是使制冷剂积极地吸收热交换器70周围的热的装置，而是作为使液氮气化的气化容器发挥作用。而且，在热交换器70内发生了气化的低温的氮气流入形成于第一梭15的第一内部通路62以及第二内部通路67，从而将供给用梭板15a中的收容卡格17a、17b冷却。另外，在第一梭15的内部，在形成于供给用梭板15a的各收容卡格17a、17b的正下方具备加热用加热器74、75 (以下，仅称作加热器74、75。)。加热器74、75加热收容卡格17a、17b。另外，在各收容卡格17a、17b中具备检测该收容卡格17a、17b的温度的温度传感器77、78。而且，通过由在内部通路62、67流通的氮气所进行的冷却与由加热器74、75所进行的加热的协作，而将各收容卡格17a、17b控制在目标温度。另一方面，在第一内部通路62的排出口连接有第一排出路81。第一排出路81与收容箱50连接，并将从第一内部通路62排出的氮气导入收容箱50。另外，在第二内部通路67的排出口连接有第二排出路82。第二排出路82与第一排出路81连接，并将从第二内部通路67排出的氮气排出至第一排出路81。即，对收容箱50导入从第一内部通路62以及第二内部通路67排出的氮气。在第一排出路81配设有第一逆止阀83，该第一逆止阀83比该第一排出路81与第二排出路82的连接部分更靠上游侧，其限制气体向第一内部通路62的流入。同样地，在第二排出路82配设有第二逆止阀84，该第二逆止阀84限制气体向第二内部通路67的流入。另外，在第一排出路81配设有作为升温部的热交换器85，该升温部比与第二排出路82的连接部分更靠下游侧并使在该第一排出路81流通的氮气升温至常温左右。热交换器85是所谓的板式热交换器，在第一排出路81流通的氮气流入低温流体室86，干空气供给源87生成的干空气流入高·温流体室88。这些氮气以及干空气在热交换器85内以成为并行流的方式流通。干空气供给源87由压缩机、干燥机构成，来自该干空气供给源87的干空气通过空气加热器89而升温至比常温高的温度。而且，干空气在通过与热交换器85中的第一排出路81的氮气的热交换而将温度降低至常温左右之后，被导入收容箱50。另外，在第一排出路81配设有第三逆止阀90，该第三逆止阀90比热交换器85更靠下游侧，其限制气体向低温流体室86的流入。处理器以及部件检查装置的电气构成接下来，参照图3并以处理器10的电气构成为中心对处理器以及部件检查装置的电气构成进行说明。控制装置95构成上述处理器10所具备的控制部，该控制装置95以具有中央处理装置(CPU)、非易失性存储器(ROM)、以及挥发性存储器(RAM)的微型计算机为中心构成。控制装置95根据储存于上述ROM以及RAM的各种数据以及程序，总括地进行以上述的供给机器人20、输送机器人30、回收机器人40之类的机器人机构的动作为首的与处理器10相关的各种控制。另外，在控制装置95电连接有测试器98，从而在该控制装置95与测试器98之间进行表示电子部件T的检查的开始、结束的信号的输入输出。此外，此处，对于基于控制装置95的控制，对其中的与供给用梭板15a的收容卡格17a、17b对应的冷却单元所涉及的控制的方式进行说明。如图3所示,在控制装置95电连接有冷却单元驱动部96,该冷却单元驱动部96具有阀驱动部96a和加热器驱动部96b。阀驱动部96a根据从控制装置95输入的目标温度和从温度传感器77、78输入的温度，以使供给用梭板15a的收容卡格17a、17b的温度成为目标温度的方式设定阀63、68的各自的开闭时间，并且将表示该开闭时间的信号向各阀63、68输出。阀63、68进行与被输入的信号对应的开闭从而分别调整针对第一内部通路62以及第二内部通路67的各个的氮气的供给量。另外，加热器驱动部96b根据从控制装置95输入的目标温度和从温度传感器77、78输入的温度，以使收容卡格17a、17b的温度成为目标温度的方式分别针对加热器74、75的各个生成驱动电力，并且将该驱动电力输出至各加热器74、75，从而驱动加热器74、75。此外，与冷却单元驱动部96相同地，相对于与供给用梭板15a的其他的收容卡格
17、供给用梭板16a的收容卡格18、测试头14的检查用插口 14a对应的冷却单元，也在每一个该冷却单元设置有冷却单元驱动部。即，控制装置95对于各冷却单元以使其相互独立的方式进行控制。作用接下来，对本实施方式的处理器以及部件检查装置的作用进行说明。在本实施方式的处理器以及部件检查装置中，在冷却单元中，从贮藏罐55向第一供给路61供给的液氮马上流入热交换器70的第一气化室71。因为该第一气化室71的流路截面积比第一供给路61的流路内面积大，所以流入第一气化室71的液氮相对于温度比液氮的沸点高的部件的接触面积增大从而促进液氮向氮气的转变。而且，该氮气在流入第一内部通路62并冷却收容卡格17a之后，向第一排出路81排出。同样地，从贮藏罐55向第二供给路66供给的液氮流入热交换器70的第二气化室72并转变为氮气。而且，该氮气流入第二内部通路67并冷却收容卡格17b的周边之后，通过第二排出路82向第一排出路81排出。而且，控制装置95以从温度传感器77、78输入的温度成为目标温度的方式控制对各内部通路62、67供给的氮气的供给量和对加热器74、75输出的驱动电力。由此，将收容于各收容卡格17a、17b的电子部件T控制为目标温度。
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在上述的一系列的过程中，对于各气化室71、72而言，充满了之前的液氮气化而成的氮气，另外该气化室71、72比第一供给路61以及第二供给路66容积大。因此，即使产生伴随着后续的液氮的气化而产生的压力变动，该压力变动也在各气化室71、72得到缓和。另外，因为液氮在热交换器70被气化，所以流入内部通路62、67的不是液氮而是氮气。因此，还能够抑制由于液氮在内部通路62、67中发生气化而引起的收容卡格17a、17b的一部分被过度冷却。从第一内部通路62以及第二内部通路67向第一排出路81排出的氮气流入热交换器85的低温流体室86。通过空气加热器89而升温至比常温高的温度的干空气流入该热交换器85的高温流体室88。而且，氮气通过与热交换器85中的干空气的热交换而升温至常温左右之后，被导入收容箱50。另外，干空气通过与氮气的热交换而降温至常温左右之后，被导入收容箱50。上述氮气是使液氮气化而成的气体且含水量接近于零，并且上述干空气与处理器的周边的空气相比含水量也少。因此，通过将这些氮气以及干空气导入收容箱50，收容箱50内充满含水量少的气体。即，能够抑制在收容箱50中产生结露。其结果是，能够抑制在供给用梭板15a以及收容于该供给用梭板15a的电子部件T产生结露而导致电子部件T发生故障。另外，通过热交换器85而升温至常温左右的氮气被导入收容箱50。因此，与从各内部通路62、67排出的氮气不经升温而被导入收容箱50的情况相比，收容箱50内的温度容易维持在比露点高的温度。其结果是，不仅对于收容箱50内的供给用梭板15a，还能够抑制在回收用梭板15b以及收容于该回收用梭板15b的电子部件T产生结露而导致电子部件T发生故障。而且，将冷却供给用梭板15a的氮气和使该氮气升温至常温左右的干空气作为收容箱50的结露对策用的气体来使用。因此，与另外准备结露对策用的气体的情况相比，能够使冷却单元的构成简化，并且能够减少使用的气体的量。另一方面，各阀63、68配设于比使液氮气化的热交换器70更靠上游侧。假设，在第一供给路61中将阀63配置于比热交换器70更靠下流侧的情况下，若阀63维持在关闭状态，则处于贮藏罐55与阀63之间的热交换器70的第一气化室71为封闭状态。因此，假设由于液氮的一部分发生气化而导致第一气化室71内的压力变高，从而对热交换器70要求能够经受该压力的耐压性。关于这一点，本实施方式的阀配设于比供给路中的热交换器70更靠上游侧。因此，在阀63维持在关闭状态时即使残存于比阀63更靠下游侧的液氮发生气化，也能够通过第一内部通路62以及第一排出路81将该气化了的的氮气的一部分导入收容箱50。其结果是，与将阀配设于比热交换器70更靠下游侧的情况相比，能够降低对热交换器70所要求的耐压性。另一方面，在第一排出路81配设有第一逆止阀83，该第一逆止阀83比第一排出路81与第二排出路82的连接部分更靠上游侧，在第二排出路82配设有第二逆止阀84，该第二逆止阀84比第二内部通路67更靠下游侧。因此，能够抑制从第一内部通路62排出的氮气通过第二排出路82流入第二内部通路67的情况、以及从第二内部通路67排出的氮气通过第一排出路81流入第一内部通路62的情况。即，收容卡格17a、17b的冷却仅由向各内部通路62、67供给的氮气进行，所以能够在更高的精度下进行收容卡格17a、17b的冷却。另外，在第一排出 路81配设有第三逆止阀90，该第三逆止阀90比热交换器85更靠下游侧。因此，在阀63、68处于关闭状态期间，能够抑制含水量比氮气以及干空气多的气体从收容箱50通过第一排出路81流入热交换器85、第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70。其结果是，在将阀63、68再次控制为打开状态时，能够抑制在热交换器85、第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70产生结露。在上述热交换器70中，除了对液氮进行气化之外，还能够在第一气化室71的氮气与第二气化室72的氮气之间进行热交换。因此，例如，在将阀63设为开状态并且将阀68设为关闭状态时，能够通过在第一气化室71流动的氮气冷却滞留于第二气化室72的氮气。其结果是，在处于关闭状态的阀68再次被控制为打开状态时，因为能够立即对第二内部通路67供给维持在较低温度的氮气，所以能够缩短将收容卡格17b冷却至目标温度所需要的时间。另外，因为该热交换器70被隔热材料73覆盖，所以热交换器70内的氮气的温度也容易被维持在低温。其结果是，能够对第一内部通路62以及第二内部通路67供给冷却用的氮气并且抑制热损失。如以上说明那样，根据本实施方式的处理器以及部件检查装置，能够得到以下列举的效果。(I)热交换器70的各气化室71、72因为形成为比第一供给路61以及第二供给路66大的流路截面积，所以具有比第一供给路61以及第二供给路66大的流路内面积以及容积。其结果是，能够使液氮在各气化室71、72气化，并且能够使伴随着该气化的压力变动在各气化室71、72得到缓和。(2)另外，通过使液氮在热交换器70的各气化室71、72气化，能够抑制收容卡格17a、17b被过度地冷却。(3)因为将阀63、68配置于比热交换器70更靠上游侧，所以与将阀63、68配置于比配置热交换器7更靠下游侧的情况相比，能够降低对热交换器70所要求的耐压性。(4)因为将用于收容卡格17a、17b的冷却的氮气导入收容箱50，所以能够减少充满收容箱50的气体的含水量。其结果是，能够抑制在供给用梭板15a以及收容于该供给用梭板15a的电子部件T产生结露而导致电子部件T发生故障。(5)因为通过阀63、68分别控制针对第一气化室71以及第二气化室72的各个的液氮的供给量，所以能够对第一内部通路62以及第二内部通路67供给不同量的氮气。(6)在第一排出路81以及第二排出路82配设有第一逆止阀83以及第二逆止阀84。因此，能够抑制含水量比氮气多的空气通过第一排出路81以及第二排出路82流入第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70。其结果是，能够抑制在热交换器85、第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70产生结露。
(7)在第一排出路81配设有第一逆止阀83，该第一逆止阀83比第一排出路81与第二排出路82的连接部分更靠上游侧，在第二排出路82配设有第二逆止阀84。因此，能够抑制从第一内部通路62排出的氮气通过第二排出路82流入第二内部通路67、从第二内部通路67排出的氮气通过第一排出路81流入第一内部通路62。(8)另外，通过将第二排出路82与第一排出路81连接，与将第一排出路81以及第二排出路82分别独立地与收容箱50连接的情况相比，能够简化排出路的构成。(9)在第一排出路81配设有热交换器85，该热交换器85将从第一内部通路62以及第二内部通路67排出的氮气升温至常温左右。其结果是，因为容易将收容箱50内的温度维持在比露点高的温度，所以能够抑制在回收用梭板15b以及收容于该回收用梭板15b的电子部件T产生结露而导致电子部件T产生故障。(10)将冷却供给用梭板15a的氮气和将该氮气升温至常温左右的干空气作为收容箱50的结露对策用的气体来使用。因此，能够抑制在收容箱50中产生结露并且能够减少使用的气体的量。(11)因为在热交换器85的下游侧配设有第三逆止阀90，所以在将阀63、68维持在关闭状态时，能够抑制含水量比氮气高的空气流入热交换器85、第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70。其结果是，能够抑制在这些热交换器85、第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70产生结露。(12)因为具有第一气化室71以及第二气化室72的气化容器是热交换器70，所以例如，在将阀63维持在打开状态并且将阀68维持在关闭状态时，滞留于第二气化室72的氮气通过与在第一气化室71流通的氮气进行热交换而被维持在温度较低的状态。其结果是，在阀68成为开状态时，能够缩短将收容卡格17b冷却至目标温度所需要的时间。(13)因为热交换器70被隔热材料73覆盖，所以能够对第一内部通路62以及第二内部通路67供给冷却用的氮气并且能够抑制热损失。
(14)热交换器85配置于比第一供给路61的与第二排出路82的连接部分更靠下游侧。因此，与将这样的热交换器85配置于第一排出路81以及第二排出路82的双方的情况相比，能够减少热交换器85的设置台数。(15)氮气与干空气以在热交换器85中成为并行流的方式流通。因此，与这些氮气与干空气以在热交换器85成为逆流的方式流通的情况相比，还能够缩小通过热交换器85后的氮气与干空气的温度差。即，能够实现导入这些氮气和干空气的收容箱50中的温度分布的均匀化。此外，上述的实施方式还能够如下这样适当地变更进行实施。 也可以是在第一排出路81中省略了第三逆止阀90的构成。即使是这样的构成，因为在第一排出路81配设有第一逆止阀83，在第二排出路82配设有第二逆止阀84，所以能够抑制空气通过第一排出路81流入第一内部通路62以及第二内部通路67、热交换器70。 也可以是省略了使从第一内部通路62以及第二内部通路67排出的氮气升温的热交换器85的构成。此时，虽然收容箱50内的温度降低，但因为将含水量接近零的氮气导入收容箱50，所以能够抑制在收容箱50产生结露。 从第一内部通路62以及第二内部通路67排出的氮气并不局限于通过热交换器85而升温，例如也可以通过空气加热器等进行升温。 第一排出路81以及第二排出路82也可以相对于收容箱50分别独立地连接。在该情况下，也可以在第一排出路81以及第二排出路82分别配设有热交换器85、第三逆止阀90。 从热交换器85的 高温流体室88流出的干空气也可以排出至罩部件12内或大气中。 也可以是省略了第一排出路81中的第一逆止阀83以及第二排出路82中的第二逆止阀84的至少一方的构成。即，也可以是将第一内部通路62以及第二内部通路67的至少一方与收容箱50始终连通的构成。 在一个冷却单元中，也可以是从气化容器流出的氮气流入一个内部通路的方式。此时，也可以在气化容器仅形成一个气化室。另外，在一个冷却单元中，也可以是从气化容器流出的氮气流入三个以上的内部通路的方式。即，也可以是三个以上的内部通路相对于气化容器并联地连接的方式。此时，也可以在气化容器形成有与各内部通路对应的气化室。 另外，在一个冷却单元中，也可以将多个内部通路相对于一个供给路串联地连接。 第一内部通路62与第二内部通路67也可以是配置于相互不同的工作台的内部通路。此时，例如若第二内部通路67配设于第二梭16，则优选将从该第二内部通路67排出的氮气导入收容箱52的构成。 从第一内部通路62以及第二内部通路67排出的氮气并不限定于排出至收容箱50，也可以排出至大气中。 处理器10也可以是省略了收容箱50、52、检查箱51的构成。此时，也可以将第一排出路81以及第二排出路82与罩部件12连接。 也可以将阀63、68配置于比热交换器70更靠下游侧。即使是这样的构成，也能够调整氮气向第一内部通路62以及第二内部通路67的供给量。 内部通路只要配设于工作台的内部就可以，也可以是不配设于第一梭15而配设于供给用梭板15a内的方式，也可以是配设于第一梭15以及供给用梭板15a内的双方的方式。 贮藏罐55也可以是设置于处理器10的外部的构成。在该情况下，例如，设置于处理器10的共用通路56，并连接有与贮藏罐55连接的配管的连接部作为供给部发挥作用。 液化气体并不局限于液氮，也可以是液氧、液氢、液氦等。 在上述实施方式中，由安装于贯通基台11的开口部13的测试头14和测试头14上表面的检查用插口 14a构成工作台。取而代之，如图4所示，也可以将基座103设置于基台11，该基座103具备:供氮气流动的内部通路100 ;加热用加热器101 ;以及收容检查用插口 14a的收容部102，并将该基座103设为工作台。在该情况下，检查用插口 14a通过收容于基座103的收容部102来安装于处理器10。而且，通过对基座103进行冷却，来冷却收容于检查用插口 14a的电子部件。因为构成部件检查装置的处理器与测试器是独立的装置，所以在将测试头14以及检查用插口 14a设为工作台的情况下，与处理器侧的构成不同，需要预先在测试器的测试头14具备供氮气流动的流路、加热器。关于这一点，根据上述的构成，不需要内部流路、加热器的测试头14，就能够冷却收容于检查用插口 14a的电子部件T。此外，温度传感器只要能够检测工作台的温度，既可以安装于基座103，也可以安装于检查用插口 14a。另外，在图4中记载的基座103中形成有一个收容部102，但是形成于基座103的收容部102的数量也可以是两个以上。另外，也可以构成为在基座103的收容部102收容有测试头14以及检查用插口 14a。总之，作为支承电子部件的工作台，只要是隔着传导热量的部件与电子部件间接接触的部件其自身也被冷却的方式即可。 另外，工作台只要是在基台11的安装面Ila上、或在被罩部件12覆盖的输送空间内的基台11的上方支承电子部件T的部分便可以任意地设定。例如，也可以将供给用梭板15a和回收用梭板15b分别设为不同的工作台，与此相对分别设置冷却单元进行冷却。另外，也可以在输送机器人30的第一输送单元32以及第二输送单元33的下端的吸附部配设工作台，并分别在第一输送单元32以及第二输送单元33的各自的下端部设置冷却单元。总之，只要是支承电子部件T的部分，就能够将该处作为工作台并设置冷却单元。此外，当在各冷却单元之间输送电 子部件T时，只要开闭收容容器的一部分并进行电子部件T的移送即可。
权利要求
1.一种处理器，其特征在于，具备: 机器人，其输送部件； 工作台，其支承所述部件； 供给部，其供给液化的气体亦即液化气体； 供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结； 阀，其开闭所述供给路； 加热器，其加热所述工作台； 温度传感器，其检测所述工 作台的温度； 控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭；以及 气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化。
2.根据权利要求1所述的处理器，其特征在于， 所述阀与所述气化容器相比配设于所述供给路的上游侧。
3.根据权利要求1或者2所述的处理器，其特征在于，具备: 收容容器，其收容所述工作台；以及 排出路，其将所述工作台内的通路与所述收容容器内连结。
4.根据权利要求3所述的处理器，其特征在于， 在所述排出路配设有逆止阀，该逆止阀限制气体向所述工作台内的通路流入。
5.根据权利要求4所述的处理器，其特征在于， 所述通路具有第一内部通路以及第二内部通路， 所述气化容器具有第一气化室和第二气化室， 所述第一内部通路与所述第一气化室连接， 所述第二内部通路与所述第二气化室连接。
6.根据权利要求5所述的处理器，其特征在于， 所述排出路具有第一排出路和第二排出路， 所述逆止阀具有第一逆止阀和第二逆止阀， 所述第一排出路与所述第一内部通路连接， 在所述第一排出路配设有所述第一逆止阀， 所述第二排出路与所述第二内部通路连接， 在所述第二排出路配设有另一逆止阀亦即第二逆止阀。
7.根据权利要求6所述的处理器，其特征在于， 所述第二排出路与所述第一排出路连接， 在所述第一排出路，在与该第一排出路与所述第二排出路的连接部分相比的上游侧配设有所述第一逆止阀。
8.根据权利要求7所述的处理器，其特征在于， 在所述第一排出路，在与该第一排出路与所述第二排出路的连接部分相比的下游侧配设有升温部，所述升温部使在所述第一排出路流动的气体升温。
9.根据权利要求8所述的处理器，其特征在于，在所述第一排出路，在与所述升温部相比的下游侧配设有第三逆止阀，所述第三逆止阀限制气体向所述升温部流入。
10.一种部件检查装置，其特征在于，具备: 输送机器人，其输送部件； 工作台，其支承所述部件； 供给部，其供给液化的气体亦即液化气体； 供给路，其将所述供给部与所述工作台内的通路连结； 阀，其开闭所述供给路； 加热器，其加热所述工作台； 温度传感器，其检测所述工作台的温度； 控制部，其以所述温度传感器的检测温度成为规定温度的方式控制所述加热器的输出以及所述阀的开闭； 气化容器，其夹设于所述供给路的中途，具有比所述供给路大的流路截面积并使液化气体气化；以及 测试器，其检查所 述部件。
全文摘要
本发明提供一种处理器，该处理器具备贮藏罐，其贮藏液氮；供给路，其从贮藏罐向第一梭的内部通路供给制冷剂；阀，其开闭供给路；以及热交换器，其具有比供给路大的流路截面积的气化室，液氮在该气化室发生气化。由此，由于各气化室被预先气化的氮气充满，所以能够缓和与后续的液氮的气化相伴随的压力变动。另外，因为向各内部通路供给氮气，所以还能够抑制收容卡格的过度冷却。
文档编号G01R31/00GK103245848SQ201310049498
公开日2013年8月14日 申请日期2013年2月7日 优先权日2012年2月14日
发明者前田政己, 下岛聪兴 申请人:精工爱普生株式会社