片状电子部件的检查方法以及检查装置制造方法
【专利摘要】提供一种使用两台以上的检查器以高速且高精度来检查大量片状电子部件的电特性的方法提供。片状电子部件的检查方法对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查，包括以下工序：在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，所述片状电子部件的检查方法的特征在于，在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加。
【专利说明】片状电子部件的检查方法以及检查装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及以高速对大量片状电子部件进行检查的方法以及装置。
【背景技术】
[0002]随着由便携式电话、液晶电视机、游戏机所代表的电产品的生产量的增加，装入到这样的电产品的片状电子部件的生产量正在显著增加。作为片状电子部件，广为所知有片状电容器(还称为片状电容件)、片状电阻器(包括变阻器)以及片状电感器。
[0003]片状电子部件例如片状电容器具有极小的尺寸，在一次制造批次中制作出几万~几十万个的这样大量的片状电容器。
[0004]为了降低装入有片状电子部件的电产品的起因于片状电子部件的缺陷的次品率，关于被大量制造的片状电子部件，一般的是对全部进行检查。例如，关于片状电容器，对其全部进行静电电容等电特性的检查。
[0005]以往，作为用于高速地检查大量片状电子部件的电特性的方法，利用对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查的检查方法，该检查方法包括以下工序:在把根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式分别制造的两个以上的检查对象的片状电子部件配置成相互接近的状态下，把该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值。例如，一般把具备形成有很多透孔的圆盘(片状电子部件保持板)的片状电子部件检查装置用于该检查方法的实施。在圆盘设置有分别收容检查对象的片状电子部件的很多透孔。圆盘的邻接的透孔形成于相互接近的位置。使该圆盘旋转并使片状电子部件收容于每个透孔，在该状态下，将在圆盘的径向方向上排列的多个片状电子部件作为一组，利用检查器检查片状电子部件的电特性。
[0006]片状电子部件的检查装置一般由如下构成:上述圆盘(片状电子部件保持板)；一对电极端子，被配置于与该圆盘的各透孔的两开口部接近的位置；检查器，与一对电极端子的每个电连接；以及控制器，以对各检查器供给与电能量和检查处理有关的信号的方式与各检查器电连接。而且，从上述检查器经由电极端子对收容于两个以上的透孔的片状电子部件的每个施加检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，由此对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查。
[0007]例如，在作为上述各检查器使用片状电容器的静电电容的检查器的情况下，从各检查器对每个片状电容器(片状电子部件)施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，利用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电容器中发生的电流的电流值，由此根据上述检查用电压的电压值和检测出的电流的电流值对检查对象的各片状电容器的静电电容(电特性)进行检查。此外，从各检查器对片状电子部件施加的电压的频率在最初被设为相互相同。然而，当从接近配置的多个检查器将相同频率的电压施加到片状电子部件时，在从各检查器对每个片状电子部件施加的电压的频率之间产生干扰，其结果，发现检查结果容易发生不符。因而，近年来，还进行了使从各检查器施加到片状电子部件的电压的频率稍微偏差(不设为相同而设为大致相同)。作为片状电容器的静电电容的检查器，例如能够使用市场上销售的静电电容测定器(代表例子为电容计:E4981A，AgilentTechnologies {7 'y V y 卜亍夕7 口夕一)(株)制
[0008]在专利文献I公开了对很多电线路部件(例如片状电子部件)进行试验(检查)，而且按照试验结果对电线路部件分类的电线路部件分拣机。该电线路部件分拣机具备:设置有很多部件台(透孔)的盘状的试验板(片状电子部件保持板)；配置于与试验板的各部件台接近的位置的上侧触点和下侧触点(一对电极端子)以及与各触点电连接的测试器(检查器)。上述试验板在其中心与外周缘之间在直径方向上相互隔着间隔而在周向方向上具备72个四台部件台的列。在使该试验板旋转并把电线路部件收容于该部件台(透孔)的状态下，将收容于各列的部件台的多个电线路部件作为一组，进行电线路部件的试验。
[0009]现有技术文献。
[0010]专利文献。
[0011]专利文献1:特表2000-501174号公报。
【发明内容】
[0012]发明要解决的问题
如前述那样，以往以来，已知有为了高速地检查大量片状电子部件的电特性，使用两台以上的检查器，同时(相互重复的时段)对在圆盘状片状电子部件保持板保持的多个片状电子部件的电特性进行检查的技术。
[0013]然而，根据本发明人的研宄，判明了:在检查近年来正在一般地利用的极小(例如宽度为0.3mm左右而且长度为0.6mm左右的尺寸或者更小的尺寸)的片状电子部件时，当使用多个检查器同时对两个或者更多的接近配置的多个片状电子部件的电特性进行检查时，即使在使用使从各检查器施加到片状电子部件的电压的频率偏差这种防止频率之间的干扰的方法的情况下，电特性的检查结果的精度也下降。
[0014]本发明人进一步开展研宄的结果是，发现如上所述那样电特性的检查精度下降的原因在于，例如为了对相互接近配置的两个以上的极小尺寸的片状电子部件的电特性进行检测，在从相互独立的检查器的每个在相互重复的时段对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压的情况下，根据在邻接配置的一个片状电子部件中发生的电信号(电压、电流)而发生的噪声混入到在非常接近的状态下配置的极小尺寸的片状电子部件的另一个中发生的电信号(电压、电流)(在每个片状电子部件中发生的电信号相互干扰)。
[0015]本发明的课题在于提供一种使用两台或者更多的检查器来以高速且高精度检查大量片状电子部件(特别是极小尺寸的片状部件)的电特性的方法。本发明的课题另外还在于提供一种使用两台或者更多的检查器来以高速且高精度检查大量片状电子部件(特别是极小尺寸的片状部件)的电特性的装置。
[0016]用于解决问题的方案
本发明是一种对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查的片状电子部件的检查方法，包括以下工序:在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，本发明在于以在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加为特征的片状电子部件的检查方法。
[0017]本发明的片状电子部件的检查方法的优选方式为以下那样。
[0018](I)上述片状电子部件处于被保持于片状电子部件保持板的透孔群的状态，所述片状电子部件保持板具备在圆盘上以相互以间隔而形成四列以上的同心圆的方式配置的透孔群，在中心轴周围可旋转地轴支承于基台，但是各列的透孔处于从中心轴在半径方向上延伸的直线上，对片状电子部件的检查用电压的施加是针对处于从中心轴在半径方向上延伸的直线上的透孔群而在相互不重复的时段依次进行的。
[0019](2)透孔群以形成六列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计三对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的三列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计三对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的三列透孔群的片状电子部件进行检查。
[0020](3)透孔群以形成八列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计四对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的四列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计四对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的四列透孔群的片状电子部件进行检查。
[0021](4)透孔群以形成十二列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计四对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的四列透孔群的片状电子部件进行检查，由具备合计四对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的四列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计四对电极端子的检查器C对被保持在处于上述接近于外周侧的四列透孔群与接近于中心轴的四列透孔群之间的四列透孔群的片状电子部件进行检查。
[0022]此外，也可以以形成九列同心圆的方式将透孔群配置于圆盘上，在该情况下，使用各自具备三对电极端子的三个检查器来进行同样的检查。
[0023](5)被检查的片状电子部件为在相对的表面具备一对电极的部件。
[0024](6)被检查的片状电子部件为片状电容器。
[0025](7)被检查的电特性为静电电容。
[0026]此外，在上述本发明的检查方法中，上述“将两个以上的检查对象的片状电子部件配置于相互接近的位置”意味着“以包括被配置于相互接近的位置的至少两个片状电子部件的方式配置两个以上的检查对象的片状电子部件”。
[0027]另外，上述“相互接近的位置”意味着“在从与两个片状电子部件的每个电连接的相互独立的(不同的)检查器在相互重复的时段对每个片状电子部件施加电特性检查用的具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压的情况下，根据在一个片状电子部件中发生的电信号(电压、电流)发生的噪声混入到在另一个片状电子部件中发生的电信号(电压、电流)(在各个片状电子部件中发生的电信号之间发生干扰)位置”。
[0028]另外，本发明是一种片状电子部件的检查装置，包括:片状电子部件保持板，在板状材料上在相互接近的位置形成能够临时收容片状电子部件的两个以上的透孔而成；一对电极端子，被配置于与该片状电子部件保持板的各透孔的两开口部接近的位置；检查器，与该一对电极端子的每个电连接；以及控制器，以对各检查器供给与电能量和检查处理有关的信号的方式与各检查器电连接，所述片状电子部件的检查装置被使得能够:从各检查器经由电极端子对被收容于两个以上的透孔的片状电子部件的每个在规定的时段施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，本发明还在于以在该控制器具备以对被收容于片状电子部件保持板的两个以上的透孔的片状电子部件的每个施加检查用电压的时段相互不重复的方式进行控制的控制系统为特征的片状电子部件检查装置。
[0029]此外，在上述本发明的检查装置中，上述“两个以上的透孔形成于相互接近的位置”意味着“在两个以上的透孔收容的两个以上的检查对象的片状电子部件被配置于相互接近的位置那样的位置，形成上述两个以上的透孔”。
[0030]发明的效果
通过实施本发明的检查方法，能够使用两台或者更多的检查器以高速(短时间)且高精度检查大量片状电子部件的电特性。
[0031]通过使用本发明的检查装置，能够使用两台或者更多的检查器以高速(短时间)且高精度检查大量片状电子部件的电特性。
【专利附图】
【附图说明】
[0032]图1是示出作为检查对象的片状电子部件的一个例子的片状电容器的结构例子的立体图。
[0033]图2是示出能够为了实施本发明的检查方法而优选地使用的片状电子部件检查装置的结构例子的正面图。
[0034]图3是沿着周向方向示出图2的检查装置10的片状电子部件收容部31、片状电子部件保持板11的透孔群的配置以及被保持(收容)于各透孔的片状电子部件的举动的放大截面图。
[0035]图4是在把检查器的电极接近配置于保持(收容)在被配置为在片状电子部件保持板11的圆盘上在径向方向上延伸的透孔群的片状电子部件(19a、19b、19c、19d、19e、19f的合计六个)的每个的状态下示出图2的检查装置10的片状电子部件检查部32的放大截面图。
[0036]图5是示出由图2的检查装置10的片状电子部件排出部33排出检查过的片状电子部件的样子的放大截面图。
[0037]图6是概要地示出在图2的检查装置10中控制器15、检查器14a、14b以及保持(收容)在被配置为在片状电子部件保持板11的圆盘上在径向方向上延伸的透孔群的片状电子部件(19a、19b、19c、19d、19e、19f的合计六个)的电连接状态的框图。
[0038]图7是概要地示出与图6的框图对应的各部件间的电连接状态的电线路图。
[0039]图8是关于能够为了实施本发明的检查方法而使用的片状电子部件检查装置的基本结构，概要地示出其电连接状态的框图。
[0040]图9是示出在本发明的片状电子部件的检查方法中从各检查器对各片状电子部件施加检查用电压的时段的图。
[0041]图10是示出在以往的片状电子部件的检查方法中从各检查器对各片状电子部件施加检查用电压的时段的图。
【具体实施方式】
[0042]首先，一边参照随附附图一边说明能够为了实施本发明的片状电子部件的检查方法而使用的检查装置的构成例子。
[0043]图1是示出检查对象的片状电容器(片状电子部件的一个例子)的结构例子的立体图。图1的片状电容器19由如下构成:由电介质构成的电容器主体21 ;以及设置于该电容器主体21的两端的一对电极22a、22b。片状电容器19是作为电介质使用陶瓷的片状陶瓷电容器。电容器主体由陶瓷形成，其内部具备从电极22a、22b各自交替地且相互平行地延伸的多个电极层。本发明的片状电子部件的检查方法和检查装置的使用特别有效的片状电容器19等片状电子部件是宽度为0.3mm或者其以下而且长度为0.6mm或者其以下那样的极微小的片状电子部件。
[0044]图2是示出能够为了实施本发明的检查方法而使用的片状电子部件检查装置的结构例子的正面图。图3是沿着片状电子部件保持板11的周向方向示出图2的检查装置10的片状电子部件收容部31的放大截面图。图4是沿着片状电子部件保持板11的直径方向切断图2的检查装置10的片状电子部件检查部32的放大截面图。图5是沿着片状电子部件保持板11的直径方向切断图2的检查装置10的片状电子部件排出部33的放大截面图。图6是概要地示出图2的检查装置10的电连接状态的框图。并且图7是概要地示出图2的检查装置10的电连接状态的电线路图。
[0045]图2~图7示出的片状电子部件检查装置10由如下构成:片状电子部件保持板11，在板状材料上在相互接近的位置形成能够临时收容片状电子部件(例如片状电容器)的两个以上的透孔Ila而成；一对电极端子12a、12b，被配置于与片状电子部件保持板11的各透孔Ila的两开口部接近的位置；检查器14a、14b，与一对电极端子12a、12b的每个电连接；以及控制器15，以对各检查器供给与电能量和检查处理有关的信号的方式与各检查器电连接。
[0046]与控制器15对各检查器供给的电能量有关的信号为与各检查器对各片状电容器施加的检查用电压有关的信号，作为其代表例子，可举出指示开始施加检查用电压的信号。
[0047]与控制器15对各检查器供给的检查处理有关的信号为与由各检查器进行的各片状电容器的电特性的检查有关的信号，作为其代表例子，可举出指示开始检测通过从各检查器施加检查用电压而在各片状电容器中发生的电流的电流值的信号。
[0048]片状电子部件检查装置10构成为:从检查器14a、14b的每个经由电极端子12a、12b对收容于两个以上的透孔Ila的片状电子部件(例如图4示出的片状电容器19a、19b、19c、19d、19e、19f)的每个在规定的时段施加具有相互相同(或者大致相同)的频率的检查用电压，能够用各检查器检测通过施加其检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值。
[0049]在检查装置10中，例如作为片状电子部件的电特性的检查器14a、14b的每个，例如使用静电电容(电特性)的检查器。
[0050]而且，上述片状电子部件检查装置10具有如下特征:在所述控制器15具备以对收容于片状电子部件保持板11的两个以上的透孔Ila的片状电子部件的每个施加检查用电压的时段相互不重复的方式进行控制的控制系统15a。
[0051]上述“控制系统”意味着“记录有使得能够以对收容于片状电子部件保持板的两个以上的透孔的片状电容器的每个施加电压电的时段相互不重复的方式进行控制的程序的电子计算机”。
[0052]在图6和图7示出的片状电子部件检查装置10中，与一个检查器电连接的片状电子部件(片状电容器)为三个。在检查器14a经由切换器23a电连接有三个片状电容器19a、19b、19c。而且，在检查器14b经由切换器23b电连接有三个片状电容器19d、19e、19f。
[0053]而且，上述控制器15所具备的控制系统以从各检查器对各片状电子部件(片状电容器)施加检查用电压的时段全部相互不重复的方式控制各检查器控制。。
[0054]图8是关于能够为了实施本发明的检查方法而优选地使用的片状电子部件检查装置的基本结构，概要地示出其电连接状态的框图。
[0055]除了与一个检查器电连接的片状电子部件(片状电容器)为一个以及控制器25的控制对象仅为各检查器(不包括上述切换器)以外，图8示出的片状电子部件检查装置80的结构与图6示出的片状电子部件检查装置的结构相同。
[0056]在检查器14a不使用上述那样的切换器而是电连接有一个片状电容器19a。而且在检查器14b不使用上述那样的切换器而是电连接有一个片状电容器1%。
[0057]像这样，片状电子部件检查装置也可以具有与一个(各个)检查器电连接的片状电子部件为一个的结构。但是，为了减少使用的检查器的数量由此降低检查装置的制造成本，优选的是与一个检查器电连接的片状电子部件为两个以上。
[0058]接着，使用图2~图7示出的检查装置10，而且以进行图1示出的片状电容器19的检查的情况为代表例子来说明本发明的片状电子部件的检查方法。
[0059]本发明的片状电子部件的检查方法是包括以下的检查方法:把根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式分别制造的两个以上的检查对象的片状电子部件配置于相互接近的位置(具体地，例如在圆盘状片状电子保持板的径向方向上配置于直线上的、图4、图6以及图7示出的片状电容器19a、19b、19c、19d、19e、19f)，在以检查器14a检查片状电容器19a、19b、19c、检查器14b检查片状电容器19d、19e、19f的方式把相互独立的检查器14a、14b与各片状电容器电连接之后，从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，能够用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，由此检查检查对象的各片状电子部件的电特性。
[0060]而且，本发明的片状电子部件的检查方法具有如下特征:在相互不重复的时段实施从各检查器对各片状电子部件(片状电容器)的检查用电压的施加。
[0061]图9是示出在本发明的片状电子部件的检查方法中从各检查器对各片状电容器(片状电子部件)施加检查用电压的期间的图。记入于图9的横轴表示时间。以下，一边参照图7和图9 一边进行说明。
[0062]检查器14a在从时间tn至时间t 12为止的期间P n对片状电容器19a施加检查用电压。另外，同样地，检查器14a在从时间t21至时间122为止的期间P21对片状电容器19b施加检查用电压。而且，同样地，检查器14a在从时间t31至时间132为止的期间P 31对片状电容器19c施加检查用电压。
[0063]检查器14b在从时间t41至时间142为止的期间P 41对片状电容器19d施加检查用电压。另外，同样地，检查器14b在从时间t51至时间152为止的期间P 51对片状电容器19e施加检查用电压。而且，同样地，检查器14b在从时间t61至时间162为止的期间P 61对片状电容器19f施加检查用电压。
[0064]而且，在上述期间Pll中，从检查器14a对片状电容器19a施加检查用电压，用检查器14a检测通过施加该检查用电压而在片状电容器19a中发生的电流值，由此对检查对象的片状电容器19a的电特性(在使用上述检查装置10的情况下为静电电容)进行检查。
[0065]同样地，在上述期间P21、P31、P41, P51, P61的每个中，对检查片状电容器19b、19c、19d、19e、19f的每个的电特性(静电电容)进行检查。
[0066]如图9所示，在本发明的片状电子部件的检查方法中，在相互不重复的时段实施从检查器14a、14b的每个向各片状电容器的检查用电压的施加。
[0067]因此，不会有例如根据在期间P41中在被施加有检查用电压的片状电容器19d中发生的电信号(电压、电流)而发生的噪声混入到在期间P11中在被施加有检查用电压的另外的片状电容器19a中发生的电信号(电压、电流)、即不会有在各个片状电容器发生的电信号相互干扰。
[0068]因而，通过实施本发明的片状电子部件的检查方法，从而能够使用两台以上的检查器以高速(短时间)且高精度来检查大量片状电子部件的电特性(例如片状电容器的静电电容)。
[0069]优选的是在本发明的片状电子部件的检查方法(或者检查装置)中被检查的电子部件为在相对的表面具备一对电极的部件。
[0070]作为被检查的电子部件的代表例子，可举出片状电容器、片状电阻器(包括片状变阻器)以及片状电感器。特别优选的是被检查的电子部件为片状电容器。
[0071]在本发明的片状电子部件的检查方法(或者检查装置)中被检查的电子部件的电特性意味着能够根据施加到片状电子部件的检查用电压(交变电压)的电压值以及通过施加该检查用电压而在片状电子部件中发生的电流(交流电流)的电流值来决定的电特性。
[0072]作为像这样的电特性的代表例子，可举出静电电容(电容)、电感、阻抗、导纳等。
[0073]此外，上述的测定对象的片状电子部件的种类与要测定的电特性并不是必须一对一地对应。例如，还能够关于上述的片状电容器以外的片状电子部件(详细地，关于被表示于片状电容器以外的片状电子部件的等效电线路的电容器)，对其静电电容进行测定。例如还能够对片状变阻器的静电电容进行测定。
[0074]作为检查对象的两个以上的片状电子部件，使用以示出规定的相同电特性的方式按照相同标准制造的片状电子部件。
[0075]因而，虽然很多情况下上述的检查对象的两个以上的片状电子部件为同一制造批次的片状电子部件，但是也可以是在这样的同一制造批次的片状电子部件混合有其它批次的片状电子部件的片状电子部件。但是，这两个制造批次的片状电子部件是以示出相互相同电特性的方式按照相同标准制造的片状电子部件(通常，是以作为相互相同的产品而销售为目的而制造的片状电子部件)。
[0076]通过将两个以上的检查对象的片状电子部件例如收容于检查装置10的片状电子部件保持板11的两个以上的透孔Ila的每个，从而能够配置于相互接近的位置。
[0077]如前述那样，上述“将两个以上的检查对象的片状电子部件配置于相互接近的位置”意味着“以包括被配置于相互接近的位置上的至少两个片状电子部件的方式配置两个以上的检查对象的片状电子部件”。
[0078]优选的是上述“相互接近的位置”为“两个检查对象的片状电子部件的距离成为10mm以下的位置”，更优选的是“两个检查对象的片状电子部件的距离成为50mm以下的位置”，特别优选的是“两个检查对象的片状电子部件的距离成为30mm以下的位置”。更优选的是在任意的方式中两个检查对象的片状电子部件的距离均为Imm以上。
[0079]从相互独立的(不同的)检查器14a、14b的每个对两个以上的检查对象的片状电子部件给予检查用电压。如果没有使用相互独立的检查器(使用一台检查器)，则不产生如上前述那样用各检查器检测的各片状电容器的电信号相互干扰这种问题(本发明的解决课题)。
[0080]从各检查器对两个以上的检查对象的片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压。
[0081]对两个以上的检查对象的片状电子部件施加的检查用电压大致相互相同意味着每个检查用电压的频率为比其中的最低的频率高且在1.1倍以下的、优选的是在1.05倍以下的频率。
[0082]此外，如所述图7和图9所示，片状电子部件检查装置10在期间P11中能够对片状电容器19a施加检查用电压，因此控制器15进行以下那样的控制。
[0083]首先，控制器15在时间h对切换器23a供给指示为闭合与片状电容器19a连接的开闭器24a(设为电导通状态)、打开开闭器24b、24c (设为非电导通状态)的信号。接着，控制器15在时间tn对检查器14a供给指示开始施加检查用电压的信号(与电能量有关的信号)以及指示开始检测在片状电容器19a中发生的电流的电流值的信号(与检查处理有关的信号)。
[0084]另外，控制器15在时间h对切换器23b供给指示为闭合与片状电容器19d电连接的开闭器24d(设为电导通状态)、打开开闭器24e、24f (设为非电导通状态)的信号。接着，控制器15在时间t41对检查器14b供给指示开始施加检查用电压的信号以及指示开始检测在片状电容器19d中发生的电流的电流值的信号。
[0085]此外，在相互不重复的时段实施期间P11中从检查器14a对片状电容器19a施加检查用电压以及期间P41中从检查器14b对片状电容器19d施加检查用电压，因此在从结束对片状电容器19a施加检查用电压的时间t12起经过期间D之后的时间t41，开始对片状电容器19d施加检查用电压。
[0086]而且，同样地，设为能够对片状电容器19d、片状电容器1%、片状电容器19e、片状电容器19c以及片状电容器19f施加检查用电压，因此控制器15进行与上述控制相同的控制。
[0087]此外，期间51是在将上述信号供给到切换器23a之后闭合开闭器24a为止所需的期间(以下称为“开闭器动作期间”)。即，开闭器24a在时间tn闭合，而且成为电导通状态。同样地，期间S2、S3、S4、S5、Sj别为开闭器24b、24c、24d、24e、24f的开闭器动作期间。
[0088]而且，在本发明的片状电子部件的检查方法中，优选的是在上述各检查器结束对各片状电子部件(例如片状电容器)施加检查用电压之后，在根据上述检查用电压的电压值以及施加上述检查用电压来检测出的上述片状电子部件的电流的电流值来决定该片状电子部件的电特性之前，开始从与上述不同的检查器对与上述不同的片状电子部件施加检查用电压。由此，与用一台检查器来依次检查两个以上的片状电子部件的情况相比，为了对全部检查对象的片状电子部件进行检查所需的时间变短。
[0089]如图7和图9所示，在使用上述片状电子部件检查装置10的情况下，检查器14a例如在时间tn对片状电容器19a开始施加检查用电压，而且在时间t 12结束检查用电压的施加。接着，检查器14a根据上述检查用电压的电压值以及通过施加该检查用电压而在片状电容器19a中发生的电流的电流值，在时间t13决定片状电容器的静电电容(电特性)。
[0090]像这样，检查器14a在上述时间tn与时间t 13之间的期间P 12(以下称为“电特性检查期间”)，通常在时间t12与时间t 13之间的期间，根据上述电压值和电流值，例如通过数据处理(运算处理)决定静电电容。此外，期间P22、P32、P42、P52、P62分别为片状电容器1%、19c、19d、19e、19f的电特性检查期间。
[0091]而且，如上述那样，检查器14a在时间t12结束对片状电容器19a施加检查用电压之后在时间t13根据上述电压值和电流值决定电容器的静电电容(电特性)之前，具体地，在时间t41开始从与上述不同的检查器14b对与上述不同的片状电容器19d施加检查用电压。
[0092]S卩，优选的是结束对片状电容器19a施加检查用电压的时间t12与开始对下一个片状电容器19d施加检查用电压的时间t41之间的期间D比上述时间112与检查器14a决定片状电容器19a的静电电容的时间t13之间的期间短。
[0093]同样地，上述检查器14b在时间t42结束对片状电容器19d施加检查用电压之后在时间t43决定片状电容器19d的静电电容之前，具体地在时间t21，开始从与上述不同的检查器14a对与上述不同的片状电容器19b施加检查用电压。而且，之后也通过相同的过程，开始对片状电容器19e、片状电容器19c以及片状电容器19f施加检查用电压。
[0094]图10是示出在以往的片状电子部件的检查方法中在检查合计六个片状电子部件19a、19b、19c、19d、19e、19f的情况下从各检查器对各片状电容器(片状电子部件)施加检查用电压的时段的图。记入于图10的横轴表示时间。
[0095]检查器14a在从时间tn至时间112为止的期间P n，对片状电容器19a施加检查用电压。另外，同样地，检查器14a在从时间t21至时间122为止的期间P21对片状电容器19b施加检查用电压。而且，同样地，检查器14a在从时间t31至时间132为止的期间P 31对片状电容器19c施加检查用电压。
[0096]检查器14b在从时间t41至时间142为止的期间P 41对片状电容器19d施加检查用电压。另外，同样地，检查器14b在从时间t51至时间152为止的期间P 51对片状电容器19e施加检查用电压。而且，同样地，检查器14b在从时间t61至时间162为止的期间P 61对片状电容器19f施加检查用电压。
[0097]在使用图10说明的以往的片状电子部件的检查方法中，使用两个以上的检查器的目的是，在相互重复的时段对两个片状电容器(片状电子部件)施加检查用电压，两个两个地同时检查片状电容器的静电电容，由此使检查时间变短。
[0098]例如，通过在相互重复的时段实施在期间P11中从检查器14a对片状电容器19a施加检查用电压以及在期间P41中从检查器14b对片状电容器19d施加检查用电压，从而实现以高速(短时间)进行的检查。
[0099]但是，如前述那样，例如，根据在期间P41中在被施加了检查用电压的片状电容器19d中发生的电信号(电压、电流)而发生的噪声混入到在期间P11中在被施加了检查用电压的片状电容器19a中发生的电信号(电压、电流)。另外，根据在片状电容器19a中发生的电信号而发生的噪声也混入到在片状电容器19d中发生的电信号。即在每个片状电容器中发生的电信号相互干扰。同样地，在片状电容器19b、19e中发生的电信号也还相互干扰，另外在片状电容器19c、19f中发生的电信号也还相互干扰。
[0100]因而，在以往的片状电子部件的检查方法中，能够使用两台或者更多的检查器以高速(短时间)检查两个以上的片状电容器的电特性。例如图10所示，在时间h与时间之间的期间(时间)能够检查六个片状电容器。然而，如上述那样，由于在各片状电容器中发生的电信号相互干扰，因此每个片状电容器的电特性的检查精度降低。
[0101]与此相对，在本发明的片状电子部件的检查方法中，如图9所示，例如在时间h与时间t2之间的期间(时间)检查六个片状电容器。因而，与上述以往的片状电子部件的检查方法相比，在本发明的片状电子部件的检查方法中检查所需的时间变长(时间t2>时间tj。然而，在本发明的片状电子部件的检查方法中，由于在相互不重复的时段实施对检查对象的片状电容器施加检查用电压，因此，如上述那样，在各片状电容器中发生的电信号相互不干扰。因此，通过实施本发明的检查方法，虽然与上述以往的片状电子部件的检查方法相比检查时间稍微变长，但是能够使用两台以上的检查器以高速(短时间)且高精度检查大量片状电容器(片状电子部件)的电特性。
[0102]以下，详细说明为了实施本发明的片状电子部件的检查方法而使用的检查装置(本发明的片状电子部件的检查装置)的结构以及优选实施方式。
[0103]虽然图2示出的片状电子部件检查装置10所具备的片状电子部件保持板11的形状没有特别限制，但是通常设定为圆盘状的形状。
[0104]片状电子部件保持板11的两个以上的透孔Ila被配置于在片状电子部件保持板的表面在多个同心圆上把该同心圆均等分割的位置。
[0105]在片状电子部件检查装置10中，对在片状电子部件保持板11的中心与周缘之间在直径方向上排列的合计六个透孔所收容的六个片状电子部件的每个进行片状电容器的电特性的检查。优选的是在片状电子部件保持板11的中心与周缘之间在直径方向上排列的透孔的数量处于2~20个的范围内，更优选的是处于4~12个的范围内。
[0106]将片状电子部件保持板11例如经由基板45以及中心轴42可旋转地设置(固定)于基台41，通过使配设于其背面侧的旋转驱动装置43进行动作，从而经中心轴42周围间歇性地旋转。此外，片状电子部件保持板11 “间歇性地旋转”意味着按把在片状电子部件保持板11的旋转方向(旋转的周向方向)上相互邻接的两个透孔的每个与片状电子部件保持板11的旋转中心位置连结的两条直线所形成的角度(锐角)的每个来进行旋转。
[0107]在片状电子部件保持板11的透孔的每个中，为了对检查对象的片状电容器(片状电子部件)的电特性进行检查，在片状电子部件收容部31中临时收容检查对象的片状电容器(片状电子部件)。
[0108]如图3所示，在片状电子部件收容部31中，在上述片状电子部件保持板11的前方侧(在图3中左侧)配设有片状电子部件保持盖44。在片状电子部件保持板11的后方侧(在图3中右侧)配设有基板45。在基板45形成有分别在片状电子部件保持板11 一侧的表面开口的多个气体排出通路45a。每个气体排出通路与气体排出装置(代表例子为真空泵)46连接。当使气体排出装置46进行动作时，从气体排出通路45a排出气体，片状电子部件保持板11与基板45之间的间隙成为被减压的状态(成为比大气压小的压力)。
[0109]而且，使片状电子部件保持板11 一边在记入于图3的箭头49所示的方向上间歇性地进行旋转一边通过片状电子部件供给装置(图2:47)对片状电子部件保持盖44的内侧供给片状电容器19，使气体排出装置46进行动作而使片状电子部件保持板11与基板45之间的间隙为减压状态。由此，在片状电子部件保持板11的每个透孔Ila临时收容片状电容器。此外，由于片状电子部件保持板11与基板45之间的间隙处于被减压的状态，因此即使在片状电子部件保持板11所收容的片状电容器19移动至在图3中比最上部的气体排出通路45a更靠上方的位置的情况下，片状电容器19也不会从透孔Ila出来而落下。
[0110]通过上述的片状电子部件保持板11的间歇性的旋转移动，从而片状电子部件保持板的透孔所收容的片状电容器被送到图2和图4示出的片状电子部件检查装置10的片状电子部件检查部32。
[0111]如图4所示，为了将各片状电容器与其电特性的检查器电连接，在与片状电子部件保持板的各透孔Ila的两开口部接近的位置配置有一对电极端子12a、12b。
[0112]将电极端子12a经由在其周围配设的电绝缘性的筒体51固定于基板45。例如以形成一个平滑的平面的方式对电极端子12a和基板45的片状电子部件保持板11 一侧的表面实施研磨加工。
[0113]电极端子12b被固定于电极端子支承板53。电极端子支承板53被固定于直线运动驱动装置(图2:54)。
[0114]使上述直线运动驱动装置进行动作，使电极端子支承板53移动至片状电子部件保持板11 一侧，由此由电极端子支承板53支承的各电极端子12b也还移动至片状电子部件保持板11 一侧。由此，各片状电容器被夹持在电极端子12a、12b之间。因而，各片状电容器的电极22a与电极端子12a电连接，而且电极22b与电极端子12b电连接。由此，各片状电容器经由一对电极端子12a、12b与各检查器电连接。
[0115]此外，与配置有一对电极端子的片状电子部件保持板的各透孔的两开口部“接近的位置”意味着在各透孔收容有片状电子部件时各电极端子与各片状电子部件电连接的位置，或者在设为各电极端子可移动的结构的情况下通过使各电极端子移动而由此能够与各片状电子部件电连接的位置。
[0116]而且，在片状电子部件检查部32中，按在片状电子部件保持板11的直径方向上排列成一列的六个片状电容器19a、19b、19c、19d、19e、19f的每个，来按照上述的本发明的检查方法对其电特性进行检查。
[0117]图7示出的片状电子部件检查装置10所具备的检查器14a、14b为静电电容的检查器。检查器14a、14b分别具备电源55、电压计56以及电流计57。在电源55中发生的检查用电压被经由切换器23a或者切换器23b施加到各片状电容器。通过电压计56测定检查用电压的电压值。通过电流计57对通过给予检查用电压而在各片状电容器中发生的电流的电流值进行测定。为了以高精度测定上述电压值和电流值，在各检查器具备放大器58和电阻器59。
[0118]此外，在图2示出的片状电子部件检查装置的片状电子部件检查部32的周向方向上，还能够进一步配设与另外的检查器(与上述检查器14a、14b不同的检查电特性的检查器)电连接的一对电极端子。
[0119]通过片状电子部件保持板11的间歇性的旋转移动将检查了电特性的片状电容器送到图2和图5示出的片状电子部件检查装置10的片状电子部件排出部33。
[0120]如图5所示，在片状电子部件排出部33，在上述片状电子部件保持板11的前方侧(在图5中下侧)配设形成有多个透孔61a的管支承盖61。管支承盖61的透孔61a的每个与构成片状电容器(例如片状电容器19a)的通路的管62连接。但是，在图2中，仅记入了与管支承盖61的透孔61a的每个连接的管62中的一部分管。
[0121]另外，在配置于片状电子部件保持板11的后方侧(在图5中上侧)的基板45形成有分别形在片状电子部件保持板11 一侧的表面开口的多个气体供给通路45b。每个气体供给通路45b与加压气体供给装置63连接。
[0122]当使加压气体供给装置63进行动作时，对气体供给通路45b供给加压气体，例如对收容于片状电子部件保持板11的透孔Ila的片状电容器19a喷射加压气体。由此，将片状电容器排出至管62。
[0123]例如，上述片状电容器19a通过形成于图2示出的管支承盖61的多个透孔61a中处于最外周侧的合计十个透孔61a。该十个透孔61a分别经由管62与片状电子部件收容容器64连接。
[0124]因而，上述片状电容器19a经由与上述管支承盖61的十个透孔61a连接的合计十根管62中的任一个而被收容于与检查的电特性相应的片状电子部件收容容器64。
[0125]附图标记说曰月
10:片状电子部件检查装置；11:片状电子部件保持板；lla:透孔；12a、12b:电极端子;14a、14b:检查器；15:控制器；15a 控制系统;19、19a、19b、19c、19d、19e、19f:片状电容器；21:电容器主体;22a、22b:电极；23a、23b:切换器；24a、24b、24c、24d、24e、24f:开闭器；25:控制器；31:片状电子部件收容部；32:片状电子部件检查部；33:片状电子部件排出部；41:基台；42:中心轴；43:旋转驱动装置；44:片状电子部件保持盖；45:基板；45a:气体排出通路；45b:气体供给通路；46:气体排出装置；47:片状电子部件供给装置(送料器)；49:示出片状电子部件保持板的旋转方向的箭头；51:筒体；52:电极支承板；53:电极端子支承板；54:直线运动驱动装置；55:电源；56:电压计；57:电流计；58:放大器；59:电阻器；61:管支承盖；61a:透孔；62:管；63:加压气体供给装置；64:片状电子部件收容容器；80:片状电子部件检查装置。
【权利要求】
1.一种片状电子部件的检查方法，对检查对象的各片状电子部件的电特性进行检查，包括以下工序:在把分别根据相同标准以示出规定的相同电特性的方式制造的两个以上的检查对象的片状电子部件相互接近地配置的状态下将该片状电子部件的每个与相互独立的检查器电连接；以及从各检查器对每个片状电子部件施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，所述片状电子部件的检查方法的特征在于，在相互不重复的时段进行从各检查器向各片状电子部件的检查用电压的施加。
2.根据权利要求1所述的片状电子部件的检查方法， 上述片状电子部件处于被保持于片状电子部件保持板的透孔群的状态，所述片状电子部件保持板具备在圆盘上以相互以间隔而形成四列以上的同心圆的方式配置的透孔群，在中心轴周围可旋转地轴支承于基台，但是各列的透孔处于从中心轴在半径方向上延伸的直线上，对片状电子部件的检查用电压的施加是针对处于从中心轴在半径方向上延伸的直线上的透孔群而在相互不重复的时段依次进行的。
3.根据权利要求2所述的片状电子部件的检查方法， 透孔群以形成六列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计三对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的三列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计三对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的三列透孔群的片状电子部件进行检查。
4.根据权利要求2所述的片状电子部件的检查方法， 透孔群以形成八列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计四对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的四列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计四对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的四列透孔群的片状电子部件进行检查。
5.根据权利要求2所述的片状电子部件的检查方法， 透孔群以形成十二列的同心圆的方式被配置于圆盘上，由具备合计四对电极端子的检查器A对被保持在接近于圆盘外周的四列透孔群的片状电子部件进行检查，由具备合计四对电极端子的检查器B对被保持在接近于圆盘的中心轴的四列透孔群的片状电子部件进行检查，而且由具备合计四对电极端子的检查器C对被保持在处于上述接近于外周侧的四列透孔群与接近于中心轴的四列透孔群之间的四列透孔群的片状电子部件进行检查。
6.根据权利要求1所述的片状电子部件的检查方法， 被检查的片状电子部件为在相对的表面具备一对电极的部件。
7.根据权利要求1所述的片状电子部件的检查方法， 被检查的片状电子部件为片状电容器。
8.根据权利要求2所述的片状电子部件的检查方法， 被检查的电特性为静电电容。
9.一种片状电子部件的检查装置，包括:片状电子部件保持板，在板状材料上在相互接近的位置形成能够临时收容片状电子部件的两个以上的透孔而成；一对电极端子，被配置于与该片状电子部件保持板的各透孔的两开口部接近的位置；检查器，与该一对电极端子的每个电连接；以及控制器，以对各检查器供给与电能量和检查处理有关的信号的方式与各检查器电连接，所述片状电子部件的检查装置被使得能够:从各检查器经由电极端子对被收容于两个以上的透孔的片状电子部件的每个在规定的时段施加具有相互相同或者大致相同的频率的检查用电压，用各检查器检测通过施加该检查用电压而在各片状电子部件中发生的电流值，其特征在于，在该控制器具备以对被收容于片状电子部件保持板的两个以上的透孔的片状电子部件的每个施加检查用电压的时段相互不重复的方式进行控制的控制系统。
【文档编号】G01R31/00GK104487855SQ201380032830
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2013年7月10日 优先权日:2012年7月10日
【发明者】林央人 申请人:慧萌高新科技有限公司