摇摆式传感器组件的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种摇摆式传感器组件，包括支架和传感器振子，支架上设有销轴，传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动，所述支架上还连接有通气管，所述通气管能对传感器振子吹气。所述通气管上设有控制阀，控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。该摇摆式传感器组件使传感器振子不容易粘连、保证传感器振子的回复力。
【专利说明】摇摆式传感器组件
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示面板制造领域，具体涉及一种摇摆式传感器组件。
【背景技术】
[0002]在液晶面板的制造过程中，其中用于制造液晶面板的玻璃基板在湿制程中会通过一至多个药液腔室，药液腔室内为强酸或强碱溶液。玻璃基板在通过湿制程中的腔室时通过摇摆式传感器来传递基板的信息给下一道工序，即玻璃基板经过摇摆式传感器时压弯腔室内的摇摆式传感器振子使振子摆动一个角度，玻璃基板与传感器振子分离后，振子复位从而传递信号给下一道工序，下一道工序做好接收玻璃基板的准备。但由于摇摆式传感器工作在药液环境中，若传感器振子较长时间不使用，药液风干容易造成振子粘连和/或回复力不够，玻璃基板经过摇摆式传感器后，振子不能弯曲和复位，不会发送信号给下一道工序的接收器。下一道工序接收器未接到信号，不能接收玻璃基板，导致玻璃基板长时间浸泡在强酸或强碱环境中，造成产品报废，从而降低产品良率。而且一旦摇摆式传感器出现故障而无法正常传递信号，需要关闭设备进行检修，造成设备稼动率降低。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是，提供一种使传感器振子不容易粘连、保证传感器振子的回复力的摇摆式传感器组件。
[0004]本发明的技术解决方案是，提供一种具有以下结构的摇摆式传感器组件，包括支架和传感器振子，支架上设有销轴，传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动，所述支架上还连接有通气管，所述通气管能对传感器振子吹气。
[0005]与现有技术相比，本发明的摇摆式传感器组件具有以下优点:通过通气管能对传感器振子吹气，从而即便是在传感器振子长时间不使用出现药液风干粘连或回复力不够的情况下，通气管吹出的气体能给予传感器振子以动力，使传感器振子脱离粘连状态，具有足够的回复力，保证振子能复位。因而，在玻璃基板通过时能比较灵敏地反应玻璃基板的状态，保证信号传送正常，减少宕机和检修，提高产品良率和设备稼动率。
[0006]在一个实施例中，所述通气管上设有控制阀。通过控制阀来控制通气管的开启和关闭，从而能控制什么时候来开启吹气管吹气，以及吹气时间的长短。
[0007]在一个优选的实施例中，所述控制阀为电磁控制阀。使用电磁控制阀来控制通气管的开启和关闭，电磁控制阀相比手动控制阀方便进行远程控制和远程操作，容易实现自动化控制。
[0008]在优选的实施例中，所述通气管为氟塑料管。氟塑料管耐强酸和强碱，在强酸或强碱的环境中不容易被腐蚀。进一步优选氟塑料管为四氟乙烯(全氟烷氧基树脂PFA)管，PFA管能在强酸和强碱环境下使用，而且固定在支架上时不容易移动。
[0009]在一个实施例中，所述通气管的内径为4?10mm。在本实施例中优选内径为5mm的通气管。在现有技术中称作细管，经过该通气管的气体的体积量较少，不会影响腔室内的压力。
[0010]在优选的实施例中，所述通气管内通入的气体为洁净干燥压缩空气。洁净干燥压缩空气是指，大气经压缩机压缩后除湿，再经过滤器或活性炭吸附去除粉尘及炭氢化合物以供给无尘室。通入的洁净干燥压缩空气量少、干净无污染，不容易对玻璃基板造成影响。
[0011]在进一步优选的实施例中，控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。保证洁净干燥压缩空气的供应。
[0012]在一个实施例中，传感器振子电连接有控制器，控制器上设有用于控制电磁控制阀的开启与关闭的按钮。通过控制器上的按钮来对控制阀进行控制，尤其是传感器较长时间没使用，通过按钮直接控制对传感器振子进行吹扫以保证摇摆式传感器的灵敏度。
[0013]在一个实施例中，通气管的管口距离传感器振子10?60mm。在这个距离内，通气管内通气量稍大一些或者稍小一些都能吹到传感器振子以保证传感器振子的灵敏度，而且传感器振子在摇摆时不会碰撞到通气管。
[0014]在优选的实施例中，通气管的管口距离传感器振子30mm。30mm是经过测试效果最好的距离，通气管吹气时对粘连的传感器振子起到有效的作用。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1所示是本发明的摇摆式传感器组件在玻璃基板经过时正常弯曲的一种具体实施例。
[0016]图2所示是图1中的摇摆式传感器组件在玻璃基板经过时由于粘连不能正常弯曲和复位的结构示意图。
[0017]图3所示是图1中的摆式传感器组件中的支架与传感器阵子连接的一种具体结构。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
[0019]如图1所示为本发明的摇摆式传感器组件的一种具体实施例。在该实施例中，该摇摆式传感器组件包括支架1、传感器振子2和控制器3，所述传感器振子2与控制器3电连接，支架I上设有销轴4，传感器振子2连接在销轴4上并能绕销轴4往复摆动(如图3所示)，所述支架I上还连接有通气管5，所述通气管5能对传感器振子2吹气。
[0020]所述通气管5 —般采用内径为4?10_、耐腐蚀的软管，通气管5的出口端即吹气端安装固定在支架I上。在本实施例中，通气管5采用的是PFA (全氟烷氧基树脂)管，PFA管不仅耐强酸、强碱腐蚀，而且安装后不容易移动，从而能保证吹气端一直对着传感器阵子
2,保证吹气质量,优选通气管5的内径为5_。
[0021]所述通气管5的进口端连接有电磁控制阀6。电磁控制阀6的进口经管子7连接到洁净干燥压缩空气的供应端8。电磁控制阀6开启时，所述供应端8经电磁控制阀6、通气管5向传感器振子2吹送洁净干燥压缩空气。
[0022]在本实施例中，控制器3优选为触摸式控制器，控制器3的触摸屏上设有用于控制电磁控制阀6的开启与关闭的按钮3.1。在需要进行吹气时，通过按钮3.1来启动电磁控制阀6，从而进行吹气，吹气结束后，通过按钮3.1来关闭电磁控制阀6，从而不需要到电磁控制阀6的安装位置去操作电磁控制阀6，可实现远程控制，更方便。
[0023]在安装通气管5时，根据不同的通气管5的内径，一般要求通气管5安装后其管口即吹气端距离传感器振子2的距离为10?60mm，在这个范围内，能保证通气管5内的洁净干燥压缩空气能吹到传感器阵子2上。
[0024]在本实施例中，经过测试试验，内径为5mm的通气管5的管口与传感器振子2的距离为30mm时，吹气量大一些或者小一些都能使传感器振子2较快地复位。即在这个距离内能保证吹气时使得粘连和/或回复力不够的传感器振子2较快地复位，在玻璃基板9经过时，传感器振子2能正常传递信号给下一道工序。同时，又能保证传感器振子2在往复摆动时不会碰撞到通气管5。
[0025]在图1中，所述传感器阵子2在经过通气管5吹气，工作正常，玻璃基板9经过时能正常弯曲，玻璃基板9脱离传感器阵子2后，传感器阵子2能正常复位发送信号给下一道工序。
[0026]在图2中，所述传感器阵子2由于药液风干等原因造成传感器阵子2粘连或者销轴4阻力过大导致传感器阵子2的回复力不够，在玻璃基板9经过时不能正常弯曲，玻璃基板9与传感器阵子2脱离后，传感器阵子2不能发送信号。导致玻璃基板9长时间浸泡在强酸或强碱的腔室内被腐蚀。
[0027]虽然已经结合具体实施例对本发明进行了描述，然而可以理解，在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进或替换。尤其是，只要不存在结构上的冲突，各实施例中的特征均可相互结合起来，所形成的组合式特征仍属于本发明的范围内。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
【权利要求】
1.一种摇摆式传感器组件，包括支架和传感器振子，支架上设有销轴，传感器振子连接在销轴上并能绕销轴摆动，所述支架上还连接有通气管，所述通气管能对传感器振子吹气。
2.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述通气管上设有控制阀。
3.根据权利要求2所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述控制阀为电磁控制阀。
4.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述通气管为氟塑料管。
5.根据权利要求4所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述通气管为全氟烷氧基树脂管。
6.根据权利要求1?5中任一项所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述通气管的内径为4?10mm。
7.根据权利要求6所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，所述通气管内通入的气体为洁净干燥压缩空气。
8.根据权利要求7所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，控制阀的进口经管子连接洁净干燥压缩空气的供应端。
9.根据权利要求3或7所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，传感器振子电连接有控制器，控制器上设有用于控制电磁控制阀的开启与关闭的按钮。
10.根据权利要求1所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，通气管的管口距离传感器振子10?60mm。
11.根据权利要求10所述的摇摆式传感器组件，其特征在于，通气管的管口距离传感器振子30mm。
【文档编号】G01D3/036GK103674072SQ201310656638
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年12月6日 优先权日:2013年12月6日
【发明者】李嘉 申请人:深圳市华星光电技术有限公司