微加速度传感器结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种微加速度传感器结构，它包括支撑座，所述的支撑座的内壁上固定有上极板和下极板，所述的支撑座内设置有活动极板，所述的活动极板的两端均固定有弹性梁，所述的活动极板与上极板相平行，所述的支撑座上与弹性梁接触处设置有受力孔。其优点是：结构简单，加工工序简单，生产成本降低。
【专利说明】微加速度传感器结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及微电子领域，更具体的说是涉及一种微加速度传感器结构。
【背景技术】
[0002]加速度计是测量载体惯性加速度的仪器，其运用在很多方面。譬如航天航空领域。惯性导航和制导都是以加速度计敏感测量载体运动加速度为基础，因此加速度计的性能直接影响到整个系统的测量精度稳定性以及最终的导航精度。现有的加速度计其包括支撑体、上极板、下极板、导向槽、附加质量块、基座等，其结构复杂，使得加速度计在加工生产时其工序繁琐，使得加工成本和生产成本较高。
实用新型内容
[0003]本实用新型提供一种微加速度传感器结构，其结构简单，加工工序简单，生产成本降低。
[0004]为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]微加速度传感器结构，它包括支撑座，所述的支撑座的内壁上固定有上极板和下极板，所述的支撑座内设置有活动极板，所述的活动极板的两端均固定有弹性梁，所述的活动极板与上极板相平行，所述的支撑座上与弹性梁接触处设置有受力孔。
[0006]更进一步的技术方案是:
[0007]作为优选，所述的上极板、下极板和活动极板均连接在信号处理电路上。
[0008]作为优选，所述的上极板和下极板位于同一垂直面上。
[0009]作为优选，所述的上极板和下极板均有两个。
[0010]进一步的，所述的活动极板位于两个上极板之间。
[0011]作为优选，所述的受力孔的面积小于支撑座与弹性梁接触的面积。
[0012]作为优选，所述的活动极板与上极板之间的距离小于2毫米。
[0013]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:本实用新型在满足了现有的测量精度的同时，结构简单，使得加工的工序简单，节约了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0015]图1为本实用新型的结构示意图。
[0016]图中的标号为:1、支撑座；2、弹性梁；3、活动极板；4、上极板；5、下极板；6、受力孔。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。[0018][实施例]
[0019]如图1所示的微加速度传感器结构，它包括支撑座1，所述的支撑座I的内壁上固定有上极板4和下极板5，所述的支撑座I内设置有活动极板3，所述的活动极板3的两端均固定有弹性梁2，所述的活动极板3与上极板4相平行，所述的支撑座I上与弹性梁2接触处设置有受力孔6。
[0020]所述的上极板4、下极板5和活动极板3均连接在信号处理电路上。
[0021]为了便于信号处理电路对上极板4和下极板5上电容变化量的处理，所述的上极板4和下极板5位于同一垂直面上。
[0022]为了进一步的提高测量精度，所述的上极板4和下极板5均有两个。
[0023]所述的活动极板3位于两个上极板4之间。
[0024]为了使整个加速度计的结构更稳定，所述的受力孔6的面积小于支撑座I与弹性梁2接触的面积。
[0025]为了进一步的提高测量精度，所述的活动极板3与上极板4之间的距离小于2毫米。
[0026]本实施例的工作过程如下:
[0027]当竖直方向的加速度通过受力孔6作用于弹性梁2时，弹性梁2伸缩，活动极板3会上下移动，则活动极板3会与上极板4和下极板5产生一个差动变化的电容值，通过信号处理电路对变化的值进行处理，即可测得加速度。
[0028]本实用新型可满足现有的加速度计的测量精度，且其结构简单，相比于现有技术，减少了附加质量块、导向槽、基座等，不仅结构更加简单，而且其加工工序也更加简单，同时也节约了生产成本。
[0029]如上所述即为本实用新型的实施例。本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.微加速度传感器结构，它包括支撑座(1)，其特征在于:所述的支撑座(I)的内壁上固定有上极板(4)和下极板(5)，所述的支撑座(I)内设置有活动极板(3)，所述的活动极板(3)的两端均固定有弹性梁(2)，所述的活动极板(3)与上极板(4)相平行，所述的支撑座(I)上与弹性梁(2 )接触处设置有受力孔(6 )。
2.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的上极板(4)、下极板(5)和活动极板(3)均连接在信号处理电路上。
3.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的上极板(4)和下极板(5)位于同一垂直面上。
4.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的上极板(4)和下极板(5)均有两个。
5.根据权利要求4所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的活动极板(3)位于两个上极板(4)之间。
6.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的受力孔(6)的面积小于支撑座(I)与弹性梁(2)接触的面积。
7.根据权利要求1所述的微加速度传感器结构，其特征在于:所述的活动极板(3)与上极板(4)之间的距离小于2毫米。
【文档编号】G01P15/125GK203519642SQ201320654610
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】黄友华 申请人:成都市宏山科技有限公司