处理器以及检查装置制造方法

处理器以及检查装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种能够迅速并均匀地加热对象物的处理器以及检查装置。处理器具备：能够得到对保持IC元件（100）的保持单元（20）进行安装的安装状态的保持单元安装部亦即旋转部（97）；和对保持于保持单元（20）的IC元件（100）进行搬运的搬运机构（9）。旋转部（97）具有产生热的发热部（973）、和供被发热部（973）加热而用于加热IC元件（100）的流体Q通过的加热用流路（972）。
【专利说明】处理器以及检查装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及处理器以及检查装置。

【背景技术】
[0002] 以往，例如公知有检查1C元件等电子部件的电特性的（以下称作"电检查"）电子 部件试验装置(例如，参照专利文献1)。
[0003] 在专利文献1记载的电子部件试验装置中，在进行电检查时，有加热电子部件、即 在高温环境下进行该电检查的情况。作为该加热电子部件的结构，为具有设置于保持该电 子部件的吸附卡盘的腔室、和在腔室内配置的导热板的结构。向腔室流入在流入该腔室内 之前被预先加热的高温空气。而且，该高温空气直接吹到上述被保持的电子部件，来加热该 电子部件。另外，导热板被高温空气加热，用辐射热加热电子部件。
[0004] 然而，在具有这样的加热结构的电子部件试验装置中，因为高温空气在其下游侧 在流入腔室内之前被预先加热，所以在到达腔室的过程中慢慢冷却，其结果，有不能以所希 望的温度加热电子部件这一问题。
[0005] 专利文献1 :日本特开平3 - 137579号公报


【发明内容】

[0006] 本发明的目的在于提供一种能够迅速且均匀地加热对象物的处理器以及检查装 置。
[0007] 这样的目的通过下述的本发明来实现。
[0008] 本发明的处理器的特征在于，具有：
[0009] 保持单元安装部，其能够得到对保持搬运对象物的保持单元进行安装的安装状 态；以及
[0010] 搬运机构，其对保持于上述保持单元的上述搬运对象物进行搬运，
[0011] 上述保持单元安装部具有产生热的发热部、以及供被上述发热部加热并用于加热 上述搬运对象物的流体通过的流路。
[0012] 由此，能够迅速且均匀地加热对象物。
[0013] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述保持单元安装部具有与上述保持单元抵 接的抵接面，
[0014] 上述流路具有在上述抵接面开口、将上述流体向上述保持单元供给的供给口。
[0015] 由此，能够将被加热至所希望的温度的流体迅速地向保持单元供给。
[0016] 本发明的处理器中，优选构成为，在上述流路的中途具有屈曲或者弯曲的部分。
[0017] 由此，能够尽可能长地确保流体通过的路径长(通路长)，因此在流体通过流路的 期间能够充分加热该流体。
[0018] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述流路曲折形成。
[0019] 由此，能够尽可能长地确保流体通过的路径长(通路长)，因此在流体通过流路的 期间能够充分加热该流体。
[0020] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述保持单元安装部具有设置有上述流路和 上述发热部的主体部，
[0021] 上述发热部产生的热经由上述主体部传递至上述保持单元，而加热上述搬运对象 物。
[0022] 由此，由于被发热部加热的流体与传递至保持单元的热的叠加效果，能够更加迅 速并且均匀地加热对象物。
[0023] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述发热部为通过通电而产生热的部件。
[0024] 由此，能够容易进行发热部的工作和停止的控制，因此，能够在所希望的时机对在 流路流下的流体进行加热。
[0025] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述发热部由形成为棒状、并沿水平方向配置 的加热器构成。
[0026] 由此，能够在与流路尽可能靠近的部分具有多个发热部，因此在流体通过流路的 期间能够充分地加热该流体。另外，容易在垂直方向确保流路。
[0027] 在本发明的处理器中，优选构成为，具备热交换部，其配置于上述流路的上游侧， 在上述流体到达上述流路之前对上述流体进行加热或者冷却。
[0028] 由此，能够更加正确地进行流体的温度调整。
[0029] 在本发明的处理器中，优选构成为，具备：流体供给源，其将上述流体向上述流路 供给；以及
[0030] 切换部，其配置于上述流体供给源与上述流路之间，对来自上述流体供给源的上 述流体的供给和该供给的停止进行切换。
[0031] 由此，在保持单元不保持对象物的期间，也能够防止流体的供给持续进行之类的 流体的浪费。
[0032] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述切换部在上述保持单元保持上述对象物 的期间，切换为能够进行上述供给的状态。
[0033] 由此，在保持单元不保持对象物的期间，也能够防止流体的供给持续进行之类的 流体的浪费。
[0034] 在本发明的处理器中，优选构成为，上述流体是被压缩了的空气。
[0035] 由此，将被压缩了的空气作为流体进行供给，能够使之可靠地到达保持单元。
[0036] 本发明的处理器中，优选构成为，
[0037] 上述保持单元安装部具有与上述流路独立设置的第二流路，
[0038] 上述保持单元具有吸附部件，该吸附部件形成为具有内腔部的筒状，吸附并保持 上述对象物，
[0039] 上述内腔部经由上述第二流路与对上述内腔部进行抽吸的抽吸单元连接。
[0040] 由此，例如能够使处理器成为具备对被吸附部件保持的对象物进行搬运的搬运部 的装置。
[0041] 在本发明的处理器中，优选构成为，具备能够对载置上述搬运对象物的插口进行 设置的插口设置部，
[0042] 上述搬运机构构成为朝向还未载置上述搬运对象物的状态下的上述插口搬运上 述对象物。
[0043] 例如在设置于插口设置部的插口上能够进行针对对象物的检查的情况下，将被搬 运机构搬运来的对象物载置于插口，能够进行该检查。
[0044] 本发明的检查装置的特征在于具备本发明的处理器、和安装于上述保持单元安装 部的保持单元。
[0045] 由此，能够迅速并且均匀地加热对象物。

【专利附图】

【附图说明】
[0046] 图1是表示本发明的检查装置(处理器）的第一实施方式的概略俯视图。
[0047] 图2是从图1中的箭头A方向观察的图(侧视图）。
[0048] 图3是图1所示的检查装置的检查用机械手所具有的第一手单元的概略立体图。
[0049] 图4是图3中的B - B线剖视图。
[0050] 图5是图4中的C - C线剖视图。
[0051] 图6是图5中的由点划线围起的区域[D]的放大详细图。
[0052] 图7是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0053] 图8是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0054] 图9是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0055] 图10是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0056] 图11是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0057] 图12是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0058] 图13是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0059] 图14是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0060] 图15是对图1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0061] 图16是本发明的检查装置(处理器(第二实施方式)）的检查用机械手所具有的第 一手单元的横剖视图。

【具体实施方式】
[0062] 以下，基于附图所示的优选的实施方式对本发明的处理器以及检查装置详细地进 行说明。
[0063] 第一实施方式
[0064] 图1是表示本发明的检查装置(处理器）的第一实施方式的概略俯视图，图2是从 图1中的箭头A方向观察的图(侧视图)，图3是图1所示的检查装置的检查用机械手所具 有的第一手单元的概略立体图，图4是图3中的B - B线剖视图，图5是图4中的C 一 C线 剖视图，图6是图4中的由点划线围起的区域[D]的放大详细图，图7?图15是分别对图 1所示的检查装置的电子部件的检查顺序进行说明的俯视图。
[0065] 此外，以下为了说明方便，如图1所示，将相互正交的3轴设为X轴(第一轴)、Y轴 (第二轴）以及Ζ轴(第三轴)。另外，将与X轴平行的方向称作"X方向（第一方向）"，将与Υ 轴平行的方向称作"Υ方向(第二方向）"，将与Ζ轴平行的方向称作"Ζ方向(第三方向）"。另 夕卜，在X方向、Υ方向以及Ζ方向的各方向中，将箭头所朝向的方向称作" + "，将其相反方向 称作"一"。另外，将+ Z方向称作"上"或者"上方"，将一 Z方向称作"下"或者"下方"。
[0066] 图1、图7?图15所示的检查装置1是用于检查(试验)作为检查对象物(搬运对象 物）的例如 IC (Integrated Circuit)兀件、LCD (Liquid Crystal Display)、CIS (Contact Image Sensor)等试验部件（电子部件）的电特性的装置。此外，以下为了说明方便，作为试 验部件，以使用1C元件100的情况为代表进行说明。另外，将对1C元件100的电特性的检 查称作"电检查"。
[0067] 如图4、图5所示，1C元件100具有第一封装件100a、和安装于第一封装件100a上 的第二封装件100b，是一般被称为"PoP (Package on Package)兀件"的1C芯片。
[0068] 第一封装件100a在其上表面(表侧的面）100c配置有多个电极(未图不)，在下表 面(背侧的面)l〇〇d也配置有多个电极100e。而且，在进行电检查时，检测侧(检查用插口 6 侦D的电极从1C元件100的两面侧与各电极接触，进行该电检查。
[0069] 第二封装件100b在其上表面(表侧的面）100f例如印刷有产品编号(未图示)。另 夕卜，在第二封装件l〇〇b的下表面(背侧的面）100g配置有经由设置于第一封装件100a的导 体柱(未图示）而与电极l〇〇e电连接的多个电极(未图示)。
[0070] 此外，在电检查中，有加热1C元件100、即在高温环境下进行检查的情况。以下对 加热该1C元件100的结构进行说明。
[0071] 检查装置1具有供给托盘2、回收托盘3、第一往复装置4、第二往复装置5、作为检 查部的检查用插口（插口）6、供给机械手7、回收机械手8、检查用机械手(搬运机构）9、保持 单元20、显示装置(显示部）800、以及进行上述各部的控制的控制装置(控制部）10。
[0072] 在这样的检查装置1中，由上述各部中的除了检查用插口 6和保持单元20的结 构，即、供给托盘2、回收托盘3、第一往复装置4、第二往复装置5、供给机械手7、回收机械手 8、检查用机械手9、显示装置800、控制装置10构成执行1C元件100的搬运的处理器(本发 明的处理器)。此外，本发明的处理器的结构并不局限于此，也可以根据需要，省略上述各部 中的至少一个，也可以附加其他的结构(例如加热板、腔室)。
[0073] 此外，检查用插口 6和保持单元20各自根据检查对象物的种类进行更换，是所谓 的"替换套件"。在本实施方式中，检查用插口 6和保持单元20分别适于作为PoP元件的1C 元件100。
[0074] 另外，检查装置1具有供上述各部安装的台座11、和以收容上述各部的方式覆盖 于台座11的未图示的安全罩，在该安全罩的内侧（以下称作"区域S")配置有第一往复装置 4、第二往复装置5、检查用插口 6、供给机械手7、回收机械手8、检查用机械手9，并且以能够 向区域S的内外移动的方式配置有供给托盘2以及回收托盘3。
[0075] 以下，依次详细对上述各部进行说明。
[0076] 供给托盘2是用于将进行检查的1C元件100从区域S外搬运至区域S内的托盘。 如图1所示，供给托盘2形成为板状，在其上表面沿X方向以及Y方向行列状地形成有用于 保持1C元件100的多个凹处21。
[0077] 这样的供给托盘2载置于未图示的工作台，该未图示的工作台在以横跨区域S的 内外的方式沿Y方向延伸的导轨23上移动。而且，上述工作台通过例如以线性马达为驱动 源的未图示的驱动机构移动，从而供给托盘2能够沿导轨23在土Y方向上往复移动。因此， 能够反复进行以下动作，即、将收容有1C元件100的供给托盘2载置于位于区域S外的工 作台、使供给托盘2与工作台一起移动至区域S内、从供给托盘2将全部1C元件100摘除、 之后再次使供给托盘2与工作台一起向区域S外移动。
[0078] 回收托盘3是用于收容电检查结束的1C元件100、并将其从区域S内搬运至区域 S外的托盘。如图1所示，回收托盘3形成为板状，在其上表面，在X方向以及Y方向行列状 地形成有用于保持1C元件100的多个凹处31。
[0079] 这样的回收托盘3载置于未图示的工作台，该未图示的工作台在以横跨区域S的 内外的方式沿Y方向延伸的导轨33上移动。而且，上述工作台通过例如以线性马达为驱动 源的未图示的驱动机构移动，从而回收托盘3能够沿导轨33在土Y方向上往复移动。因 此，在区域S内，能够反复进行以下动作，S卩、将检查完毕的1C元件100收容于回收托盘3、 使回收托盘3向区域S外移动、将工作台上的回收托盘3更换为空的托盘、之后再次使回收 托盘3向区域S内移动。
[0080] 这样的回收托盘3相对于上述的供给托盘2在+ X方向上分离设置，在供给托盘 2与回收托盘3之间，配置有第一往复装置4、第二往复装置5以及检查用插口 6。
[0081] 第一往复装置4是用于将被供给托盘2搬运至区域S内的1C元件100进一步搬 运至检查用插口 6的附近，并进一步将被检查用插口 6进行了电检查的检查完毕的1C元件 100搬运至回收托盘3的附近的装置。
[0082] 如图1所示，第一往复装置4具有基座部件41、和固定于基座部件41的两个托盘 42、43。这两个托盘42、43沿X方向并列设置。另外，在托盘42、43的上表面，用于保持1C 元件100的四个凹处421、431分别形成为在X方向两列、在Y方向两行的行列状。
[0083] 托盘42、43中的位于供给托盘2侧的托盘42是用于转移收容于供给托盘2的1C 元件100并进行收容的托盘，位于回收托盘3侧的托盘43是用于收容在检查用插口 6的电 特性的检查结束的1C元件100的托盘。即，托盘42是用于收容未检查的1C元件100的托 盘，托盘43是用于收容检查完毕的1C元件100的托盘。
[0084] 对于这样的第一往复装置4而言，基座部件41支承于沿X方向延伸的导轨44,通 过例如以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构而能够沿导轨44在±X方向往复移动。 而且，能够成为如下状态：第一往复装置4向一 X方向侧移动、托盘42相对于供给托盘2而 在+ Y方向侧并列、并且托盘43相对于检查用插口 6而在+ Y方向侧并列的状态(参照图 1、图7、图8、图11、图12、图14、图15);第一往复装置4向+X方向侧移动、托盘43相对于 回收托盘3而在+ Y方向侧并列、并且托盘42相对于检查用插口 6而在+ Y方向侧并列的 状态(参照图9、图10、图13)。
[0085] 第二往复装置5具有与上述的第一往复装置4相同的功能以及结构。即，第二往 复装置5是用于将被供给托盘2搬运至区域S内的1C元件100进一步搬运至检查用插口 6的附近，并且进一步将被检查用插口 6进行了检查的检查完毕的1C元件100搬运至回收 托盘3的附近的装置。
[0086] 如图1所示，第二往复装置5具有基座部件51、和固定于基座部件51的两个托盘 52、53。这两个托盘52、53沿X方向并列设置。另外，在托盘52、53的上表面，用于保持1C 元件100的四个凹处521、531分别形成为在X方向两列、Y方向两行的行列状。
[0087] 托盘52、53中的位于供给托盘2侧的托盘52是用于转移收容于供给托盘2的1C 元件100并进行收容的托盘，位于回收托盘3侧的托盘43是用于收容在检查用插口 6的电 特性的检查结束的1C元件100的托盘。即，托盘52是用于收容未检查的1C元件100的托 盘，托盘53是用于收容检查完毕的1C元件100的托盘。
[0088] 对于这样的第二往复装置5而言，基座部件51支承于沿X方向延伸的导轨54,通 过例如以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构而能够沿导轨54在±X方向往复移动。 由此，能够成为如下状态：第二往复装置5向一 X方向侧移动、托盘52相对于供给托盘2而 在+ Y方向侧并列、并且托盘53相对于检查用插口 6而在一 Y方向侧并列的状态(参照图 7、图8、图12?图14);第二往复装置5向+ X方向侧移动，托盘53相对于回收托盘3而 在+ Y方向侧并列、并且托盘52相对于检查用插口 6而在一 Y方向侧并列的状态(参照图 1、图9?图11、图15)。
[0089] 此外，第二往复装置5相对于上述的第一往复装置4在一 Y方向分离设置，在第一 往复装置4与第二往复装置5之间，配置有检查用插口 6。
[0090] 如图1所示，检查用插口 6能够自由装卸地在位于处理器的区域S的大致中央部 的插口设置部设置，是在该设置状态下用于检查1C元件100的电特性的插口。检查用插口 6是俯视为正方形的板状的部件。
[0091] 该检查用插口 6具有四个检查用独立插口（载置部)61，该检查用独立插口 61由能 够一个一个地收纳(能够载置)四个1C元件100的凹部构成。在本实施方式中，四个检查用 独立插口 61形成为X方向两列、Y方向两行的行列状。
[0092] 在各检查用独立插口 61设置有多个探针(未图示)。若在检查用独立插口 61收纳、 配置1C元件100,则各探针与该1C元件100所具有的上述的电极（电极100e)接触。由此， 成为1C元件100与控制装置10经由探针而电连接的状态，S卩，成为能够进行1C元件100 的电特性的检查(试验）的状态。
[0093] 此外，四个检查用独立插口 61的排列间距与形成于各托盘42、43、52、53的四个凹 处的排列间距几乎相等。由此，能够顺利地进行托盘42、43、52、53与检查用独立插口61之 间的1C元件100的搬运。
[0094] 供给机械手7是将收容于供给托盘2的1C元件100搬运至托盘42、52的机械手。
[0095] 供给机械手7具有：支承于台座11的支承框架72 ;支承于支承框架72、且相对于 支承框架72而能够在土Y方向往复移动的移动框架73 ;支承于移动框架73、且相对于移动 框架73而能够在±X轴方向往复移动的手单元支承部74 ;支承于手单元支承部74的四个 手单元75。
[0096] 在支承框架72形成有沿Y方向延伸的导轨721，移动框架73沿该导轨721在Y方 向往复移动。另外，在移动框架73形成有沿X方向延伸的未图示的导轨，手单元支承部74 沿该导轨在X方向往复移动。此外，移动框架73相对于支承框架72的移动、手单元支承部 74相对于移动框架73的移动例如通过以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构来进行。
[0097] 四个手单元75以在X方向以及Y方向分别两个两个并列的方式配置为行列状。各 手单元75具有保持1C元件100的保持部、和使该保持部沿Z方向升降的升降装置。保持 部例如由吸附嘴构成，能够吸附保持1C元件100。另外，升降装置例如能够是利用以线性马 达为驱动源的驱动机构的装置。
[0098] 这样的供给机械手7如下那样地将1C元件100从供给托盘2搬运至托盘42。首 先，使手单元75位于供给托盘2上。接下来，使各手单元75的保持部下降，用保持部对收 容于供给托盘2的1C元件100进行保持。接下来，在使各保持部上升之后，使各手单元75 移动至托盘42上。接下来，使各手单元75的保持部下降，而将1C元件100配置于托盘42 的凹处421内。接下来，通过解除各保持部的吸附状态，并且使各保持部上升，来释放1C元 件100。由此，1C元件100从供给托盘2向托盘42的搬运结束。此外，1C元件100从供给 托盘2向托盘52的搬运也能够同样地进行。
[0099] 检查用机械手9是在安装有保持单元20的图4所示的状态（以下称作"安装状 态"）下对检查用插口 6进行供给动作和除去动作的机械手。
[0100] 供给动作是用安装状态的保持单元20对收容于托盘42、52的未检查的1C元件 100进行保持，向检查用插口 6的未载置1C元件100的状态、即空的状态的检查用独立插口 61进行搬运、供给的动作。通过该供给动作能够在检查用插口 6上进行电检查。
[0101] 除去动作是用安装状态的保持单元20对电检查结束的1C元件100进行保持，从 检查用插口 6的检查用独立插口 61除去，并向托盘43、53搬运的动作。
[0102] 另外，检查用机械手9在将1C元件100从托盘42、52向检查用插口 6搬运时，能 够进行1C元件100相对于检查用插口 6 (检查用独立插口 61)的定位，并且，在将1C元件 100配置于检查用插口 6进行电特性的检查时，能够将1C元件100按压于检查用插口 6的 探针，对1C元件100施加规定的检查压。
[0103] 如图1、图2所示，检查用机械手9具有：固定设置于台座11的第一框架911 ;支承 于第一框架911、且相对于第一框架911而能够在Y方向往复移动的第二框架912 ;支承于 第二框架912、且相对于第二框架912而能够在Z方向升降的第一手单元支承部913以及第 二手单元支承部914 ;支承于第一手单元支承部913的四个第一手单元92 ;以及支承于第 二手单元支承部914的四个第二手单元93。
[0104] 在第一框架911形成有沿Y方向延伸的导轨911a，第二框架912沿该导轨911a在 土Y方向往复移动。另外，在第二框架912形成有沿Z方向延伸的导轨912a、912b，第一手 单元支承部913沿导轨912a在土Z方向往复移动，第二手单元支承部914沿导轨912b在 ±Z方向往复移动。
[0105] 第一手单元支承部913、第二手单元支承部914均支承于第二框架912,从而虽然 在X方向以及Y方向上一体地移动，但是在Z方向上能够分别独立地移动。第二框架912 相对于第一框架911的移动、各手单元支承部913、914相对于第二框架912的移动例如通 过以线性马达为驱动源的未图示的驱动机构来进行。
[0106] 四个第一手单元92在第一手单元支承部913的下侧以在X方向以及Y方向分别两 个两个并列的方式配置为行列状。另外，四个第一手单元92的配设间距与形成于托盘42、 43的四个凹处421、431以及设置于检查用插口 6的四个检查用独立插口 61的配设间距大 致相等。
[0107] 这样，由于将第一手单元92配置为与凹处421以及检查用独立插口 61的排列对 应，从而能够更顺利地进行托盘42、43与检查用插口 6之间的1C元件100的搬运。
[0108] 同样地，四个第二手单元93是在第二往复装置5的各托盘52、53与检查用插口 6 之间搬运1C元件100的装置。另外，也是在将未检查的1C元件100从托盘52向检查用插 口 6搬运时进行1C元件100相对于检查用插口 6的定位的装置。
[0109] 四个第二手单元93在第二手单元支承部914的下侧，以在X方向以及Y方向分别 两个两个并列的方式配置为行列状。这四个第二手单元93的配置、配设间距与上述的四个 第一手单元92相同。这样，通过将第二手单元93配置为与凹处521以及检查用独立插口 61的排列对应，能够更顺利地进行托盘52、53与检查用插口 6之间的1C元件100的搬运。 [0110] 以下，对第一手单元92以及第二手单元93的结构进行说明，因为各手单元92、93 是相互相同的结构，以下，以一个第一手单元92为代表进行说明，省略其他的第一手单元 92以及各第二手单元93的说明。
[0111] 如图3所示，第一手单元92具有：支承、固定于第一手单元支承部913的支承部 94 ;支承于支承部94、且相对于支承部94而能够在±X方向往复移动的第一移动部95 ;支 承于第一移动部95、且相对于第一移动部95而能够在土Y方向往复移动的第二移动部96 ; 以及支承于第二移动部96、且相对于第二移动部96能够绕Z轴旋转的旋转部97。旋转部 97也作为能够自由装卸地安装保持单元20的保持单元安装部起作用。另外，在支承部94 设置有元件标记941,该元件标记941用于进行由安装状态的保持单元20保持的1C元件 100相对于检查用独立插口 61的定位。
[0112] 另外，第一手单兀92具有：使第一移动部95相对于支承部94沿±X方向往复移 动的未图不的第一驱动机构；使第二移动部96相对于第一移动部95沿土Y方向往复移动 的未图示的第二驱动机构；以及使旋转部97相对于第二移动部96绕Z轴旋转的第三驱动 机构。这些第一、第二、第三驱动机构例如以线性马达为驱动源，根据其他需要，能够附加用 于使马达的旋转运动变换为直动运动的齿条、小齿轮等结构。
[0113] 回收机械手8形成为与供给机械手7相同的结构。即，回收机械手8具有：支承于 台座11、且形成有导轨821的支承框架82 ;支承于支承框架82、且相对于支承框架82而能 够沿Y方向往复移动的移动框架83 ;支承于移动框架83、且相对于移动框架83而能够沿X 方向往复移动的手单元支承部84 ;以及支承于手单元支承部84的多个手单元85。因为这 些各部的结构与供给机械手7的对应的各部的结构相同，所以省略其说明。
[0114] 这样的回收机械手8如下那样地将1C元件100从托盘43向回收托盘3搬运。首 先，使手单元85位于托盘43上。接下来，使各手单元85的保持部下降，而用保持部对收容 于托盘43的1C元件100进行保持。接下来，使各保持部上升之后，使各手单元85移动至 回收托盘3上。接下来，使各手单元85的保持部下降，而将1C元件100配置于回收托盘3 的凹处31内。接下来，通过解除各保持部的吸附状态，并且使各保持部上升，来释放1C元 件100。由此，1C元件100从托盘43向回收托盘3的搬运结束。此外，1C元件100从托盘 53向回收托盘3的搬运也能够同样地进行。
[0115] 这里，在收容于托盘43 (或者托盘53)的检查完毕的1C元件100之中，有存在不 能发挥规定的电特性的不合格产品的情况。因此，例如，也可以准备两个回收托盘3,将一个 回收托盘3作为用于收容满足规定的电特性的合格产品的托盘来使用，将另一个回收托盘 3作为用于回收上述不合格产品的托盘来使用。另外，在使用一个回收托盘3的情况下，也 可以将规定的凹处31作为用于收容上述不合格产品的凹处来利用。由此，能够明确地区别 合格产品与不合格产品。
[0116] 显示装置800配置于成为检查装置1 (处理器）的前面侧的一 Y方向侧。该显示 装置800例如具有液晶监视器，例如能够显示电检查的结果、剩余检查的结果等。该液晶监 视器具有触摸面板功能，也作为进行对检查装置1的动作的设定的操作部来使用。
[0117] 控制装置10具有驱动控制部102、检查控制部101、以及存储部103。
[0118] 驱动控制部102例如控制供给托盘2、回收托盘3、第一往复装置4以及第二往复 装置5的移动、供给机械手7、回收机械手8、检查用机械手9等的机械式的驱动。
[0119] 另外的检查控制部101基于存储于存储部103内的程序，进行配置于检查用插口 6的1C元件100的电特性的检查。
[0120] 此外，在检查装置1中，内置于该检查装置1的CPU (Central Processing Unit) 发挥作为检查控制部101、驱动控制部102的功能。
[0121] 存储部103具有存储(记录)程序、数据等能够由上述CPU读取的存储介质(记录介 质）。该存储介质例如由 HD (Hard Disk)、CD - ROM (Compact Disc Read - Only Memory) 等磁性、光学记录介质、或半导体存储器构成。
[0122] 接下来，参照图7?图15对检查装置1的工作状态进行说明。
[0123] 首先，如图7所示，将在各凹处21收容有1C元件100的供给托盘2向区域S内搬 运，并且使第一往复装置4、第二往复装置5向一 X方向侧移动，从而成为托盘42、52分别相 对于供给托盘2而在十Y方向侧并列的状态。
[0124] 接下来，如图8所示，通过供给机械手7将收容于供给托盘2的1C元件100移至 托盘42、52,将1C元件100收容于托盘42、52的各凹处421、521。
[0125] 接下来，如图9所示，使第一往复装置4、第二往复装置5均向+ X方向侧移动，从 而成为托盘42相对于检查用插口 6而在+ Y方向侧并列、托盘52相对于检查用插口 6而 在一 Y方向侧并列的状态。
[0126] 接下来，如图10所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914 一体地 向+ Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于托盘42的正上方、并且第二手单元支 承部914位于检查用插口 6的正上方的状态。其后，由各第一手单元92对收容于托盘42 的1C元件100进行保持。
[0127] 接下来，如图11所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914 一体地 向一 Y方向侧移动，成为第一手单元支承部913位于检查用插口 6的正上方(检查用原点位 置)、并且第二手单元支承部914位于托盘52的正上方的状态。
[0128] 与这样的第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动并行，也进行下面 的作业。首先，使第一往复装置4向一 X方向侧移动，成为托盘43相对于检查用插口 6而 在+Y方向并列的状态、并且托盘42相对于供给托盘2而在+Y方向并列的状态。接下来， 用供给机械手7将收容于供给托盘2的1C元件100转移到托盘42,从而在托盘42的各凹 处421收容1C元件100。
[0129] 接下来，使第一手单元支承部913下降，将由各第一手单元92保持的1C元件100 配置于检查用插口 6的各检查用独立插口 61内。即，进行供给动作。此时，各第一手单元 92以规定的检查压(压力）将1C元件100按压于检查用独立插口 61。由此，成为1C元件 100的电极与设置于检查用独立插口 61的探针电连接的状态，在该状态下，由控制装置10 的检查控制部101对各检查用独立插口 61内的1C元件100实施电特性的检查。
[0130] 而且，若电检查结束，则使第一手单元支承部913上升，将由各第一手单元92保持 的1C元件100从检查用独立插口 61取出。即，进行除去动作。
[0131] 与这样的作业(对1C元件100进行的电检查)并行，支承于第二手单元支承部914 的各第二手单元93对收容于托盘52的1C元件100进行保持，将1C元件100从托盘52取 出。
[0132] 接下来，如图12所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914向+ Y方 向侧移动，成为第一手单元支承部913位于第一往复装置4的托盘43的正上方、并且第二 手单元支承部914位于检查用插口 6的正上方(检查用原点位置）的状态。
[0133] 与这样的第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动并行，也进行下面 的作业。首先，使第二往复装置5向一 X方向侧移动，从而成为托盘53相对于检查用插口 6 而在一 Y方向并列的状态，并且成为托盘52相对于供给托盘2而在+ Y方向并列的状态。 接下来，用供给机械手7将收容于供给托盘2的1C元件100转移至托盘52,从而在托盘52 的各凹处521收容1C元件100。
[0134] 接下来，如图13所示，使第二手单元支承部914下降，将由各第二手单元93保持 的1C元件100配置于检查用插口 6的各检查用独立插口 61内。即，进行供给动作。而且， 由检查控制部101对各检查用独立插口 61内的1C元件100实施电特性的检查。
[0135] 而且，若电检查结束，则使第二手单元支承部914上升，将由第二手单元93保持的 1C元件100从检查用独立插口 61取出。即，进行除去动作。
[0136] 与这样的作业并行地进行下面的作业。首先，将各第一手单元92所保持的检查完 毕的1C元件100收容于托盘43的各凹处431。接下来，使第一往复装置4向+ X方向侧 移动，成为托盘42相对于检查用插口 6而在+ Y方向并列并且位于各第一手单元92的正 下方的状态，并且成为托盘43相对于回收托盘3而在+ Y方向并列的状态。接下来，各第 一手单元92对收容于托盘42的1C元件100进行保持，并且由回收机械手8将收容于托盘 43的检查完毕的1C元件100转移至回收托盘3。
[0137] 接下来，如图14所示，使第一手单元支承部913、第二手单元支承部914向一 Y方 向侧移动，成为第一手单元支承部913位于检查用插口 6的正上方(检查用原点位置)、并且 第二手单元支承部914位于托盘52的正上方的状态。
[0138] 与这样的第一手单元支承部913、第二手单元支承部914的移动并行，也进行下面 的作业。首先，使第一往复装置4向一 X方向侧移动，成为托盘43相对于检查用插口 6而 在+ Y方向并列的状态，并且成为托盘42相对于供给托盘2而在+ Y方向并列的状态。接 下来，由供给机械手7将收容于供给托盘2的1C元件100转移至托盘42,从而在托盘42的 各凹处421收容1C元件100。
[0139] 接下来，如图15所示，使第一手单元支承部913下降，将由各第一手单元92保持 的1C元件100配置于检查用插口 6的各检查用独立插口 61内。而且，由检查控制部101对 各检查用独立插口 61内的1C元件100实施电特性的检查。若该检查结束，则使第一手单 元支承部913上升，将由各第一手单元92保持的1C元件100从检查用独立插口 61取出。
[0140] 与这样的作业并行地进行下面的作业。首先，将各第二手单元93所保持的检查完 毕的1C元件100收容于托盘53的各凹处531。接下来，使第二往复装置5向+X方向侧移 动，成为托盘52相对于检查用插口 6而在一 Y方向并列并且位于第二手单元93的正下方 的状态，并且成为托盘53相对于回收托盘3而在+ Y方向并列的状态。接下来，各第二手 单元93对收容于托盘52的1C元件100进行保持，并且由回收机械手8将收容于托盘53 的检查完毕的1C元件100转移至回收托盘3。
[0141] 之后，反复进行图12?图15所示的动作。此外，在该反复进行的中途，若将收容 于供给托盘2的全部1C元件100转移至第一往复装置4,则供给托盘2向区域S外移动。 而且，向供给托盘2供给新的1C元件100、或与已经收容有1C元件100的其他的供给托盘 2交换，之后使供给托盘2再次向区域S内移动。同样，在反复进行的中途，若在回收托盘3 的全部凹处31都收容1C元件100,则回收托盘3向区域S外移动。而且，将收容于回收托 盘3的1C元件100除去、或将回收托盘3更换为其他的空的回收托盘3,之后使回收托盘3 再次移动至区域S内。
[0142] 根据以上这样的方法，能够高效地对1C元件100进行电检查。具体而言，检查用 机械手9具有第一手单元92和第二手单元93,例如，在第一手单元92(第二手单元93也一 样）所保持的1C元件100在检查用插口 6进行电检查的状态下，与此并行，第二手单元93 将电检查结束的1C元件100收容于托盘53,并且保持接下来成为检查对象的1C元件100 而待机。这样，通过使用两个手单元分别进行不同的作业，能够减少不必要的时间，从而能 够高效地进行1C元件100的电检查。
[0143] 而且，如上述那样，在电检查中，有加热1C元件100进行该检查的情况。对该加热 1C元件100的结构进行说明。
[0144] 如图4所示，检查用机械手9的旋转部97具有其主体部971、加热用流路972、以 及发热部(发热体）973,这些部件作为加热1C元件100的加热单元(加热部）起作用。
[0145] 主体部971是设置加热用流路972和发热部973的部分，具有上下重叠的第一板 部件974和第二板部件975。在第一板部件974与第二板部件975之间，介插有衬垫(未图 示)，以该介插状态接合了第一板部件974与第二板部件975。作为该接合方法，没有特别限 定，例如，能够例举通过内六角螺栓的紧固方法等。
[0146] 第一板部件974和第二板部件975由导热性比较高的材料（以下称作"导热性材 料"）构成。作为导热性材料没有特别限定，例如能够使用铝以及其合金、不锈钢等金属材 料。
[0147] 如图4所示，在第一板部件974的下表面974a形成有槽974b。另外，在第二板部 件975形成有从其上表面975a贯穿至下表面975b的、即在厚度方向贯穿的贯穿孔975c。 而且，槽974b与贯穿孔975c连通，作为供流体Q通过的加热用流路972起作用。
[0148] 如图5所示，加热用流路972的中途、即由槽974b构成的部分在多个位置屈曲（或 者弯曲)，整体曲折。由此，能够尽可能地确保流体Q通过的路径长(通路长)。而且，在加热 用流路972的上方附近沿水平方向配置有发热部973,在俯视(参照图5)情况下发热部973 在多个位置与加热用流路972交叉。由此，流体Q在通过上述曲折的加热用流路972的期 间被充分加热，并且在向保持单元20供给之前维持该加热状态，S卩、防止冷却。
[0149] 如图4所示，第二板部件975的下表面975b成为在安装状态下与保持单元20的上 表面(抵接面205)抵接的抵接面。在该下表面975b开口的加热用流路972 (贯穿孔975c) 的开口部作为将流体Q向保持单元20供给的供给口 972a起作用。由此，能够将被加热至 所希望的温度的流体Q迅速地向保持单元20供给。
[0150] 另外，如图5所示，加热用流路972 (槽974b)在第一板部件974的侧面974c开 口，延长流路98a从该开口部974d向上游侧延长设置。该延长流路98a例如由具有挠性的 管构成。
[0151] 而且，在延长流路98a的最上游端，经由该延长流路98a气密性地连接有将流体Q 向加热用流路972供给的作为流体供给源的泵991。作为泵991没有特别限定，例如，能够 使用离心泵等非容积式泵、旋转泵等容积式泵。由此，能够将被压缩的空气作为流体Q供 给，并能够可靠地使之到达保持单元20。
[0152] 在延长流路98a的中途、即在泵991与加热用流路972之间，配置有作为对从泵 991供给流体Q与停止供给进行切换的切换部的电磁阀992。由此，进行切换以使在保持单 元20保持1C元件100的期间，进行流体Q的供给(参照图4、图6)，并且在保持单元20未 保持1C元件100的期间，停止流体Q的供给。因而，在保持单元20未保持1C元件100的 期间，也能够防止持续进行流体Q的供给这样的流体Q的浪费。
[0153] 此外，保持单元20是否保持1C元件100的判断例如使用设置于旋转部97的接近 传感器来进行。
[0154] 另外，如图4所不，在第一板部件974上，在其上表面974e与槽974b之间的部分， 沿X轴方向形成有凹部974f。在该凹部974f能够插入、设置发热部973。
[0155] 发热部973内置于检查装置1，与供给电力的电源单元12电连接，是通过通电来产 生热的部件。在本实施方式中，该发热部973由形成为棒状的棒加热器构成。由此，能够容 易地进行发热部973的接通/断开控制、即工作和停止的控制，因此，能够在所期望的时机 对在加热用流路972流下的流体Q进行加热。
[0156] 此外，旋转部97具有在第二板部件975上与加热用流路972独立设置的抽吸用流 路(第二流路）976。抽吸用流路976在第二板部件975的下表面975b开口，该开口部作为 对保持单元20内进行抽吸的抽吸口 976a起作用。另外，抽吸用流路976在第二板部件975 的侧面975e也开口，从该开口部976b延长设置有延长流路98b。该延长流路98b例如由具 有挠性的管构成。
[0157] 而且，在延长流路98b气密性地连接有作为抽吸单元的喷射泵993。此外，作为抽 吸结构并不限定于使用喷射泵993,例如也能够使用真空泵。
[0158] 如图4、图6所示，保持单元20具有单元主体201、和安装于单元主体201的吸附 部件202。如上述那样，该保持单元20构成为相对于旋转部97能够装卸。作为该装卸方法 没有特别限定，例如能够例举内六角螺栓的紧固方法。
[0159] 单元主体201的前端部为具有同心配置的第一筒状部201a、第二筒状部201b、第 三筒状部201c的三重管构造。在第三筒状部201c的前端部安装有吸附部件202。
[0160] 第一筒状部201a与第二筒状部201b之间的间隙成为供流体Q流下的第一流路 203a。第二筒状部201b与第三筒状部201c之间的间隙成为供流体Q流下的第二流路203b。
[0161] 单元主体201的基端部形成为块状，具有在安装状态下与旋转部97的972a抵接 的抵接面205。另外，在单元主体201的基端部设置有与第一流路203a、第二流路203b连 通并将流体Q向第一流路203a、第二流路203b分配的分配流路204(参照图4)。该分配流 路204具有在抵接面205开口的开口部，该开口部成为在安装状态下与加热用流路972的 供给口 972a连接的连接口 204a。由此，在安装状态下加热用流路972经由分配流路204与 第一流路203a以及第二流路203b连通。
[0162] 此外，在抵接面205以包围连接口 204a的方式设有环状的衬垫206a。由此，能够 可靠地防止在安装状态下流体Q从加热用流路972的供给口 972a与分配流路204的连接 口 204a的边界部漏出。
[0163] 另外，第三筒状部201c的内腔部成为具有在抵接面205开口的开口部203d的第 三流路203c。而且，在安装状态下，抽吸用流路976的抽吸口 976a与第三流路203c的开 口部203d连接。由此，在安装状态下抽吸用流路976与形成为筒状的吸附部件202的内腔 部202a经由第三流路203c连通。而且，由于喷射泵993的工作，内腔部202a被抽吸而成 为减压状态(负压状态)，因此，用吸附部件202吸附1C元件100的上表面100f，能够保持该 1C元件100。在该状态下通过使检查用机械手9工作，能够搬运1C元件100。
[0164] 吸附部件202由弹性材料构成。例如在长期间使用该吸附部件202而该吸附部件 202劣化的情况下，能够将该劣化的吸附部件202从单元主体201取下，更换成未使用的吸 附部件202。
[0165] 如图5所示，在吸附有1C元件100的状态下，第一封装件100a的上表面100c与 第一筒状部201a的前端面201e抵接，第二封装件100b的上表面100f与第二筒状部201b 的前端面201f抵接。
[0166] 在第一筒状部201a的前端面201e，形成有沿X轴方向延伸的至少一条槽201g。 另外，在第二筒状部201b的前端面201f也形成有沿X轴方向延伸的至少一条槽201h。而 且，在第一流路203a流下的流体Q从槽201g排出，在第二流路203b流下的流体Q依次通 过槽201h、第一流路203a而从槽201h排出。由此，1C元件100被流体Q按压，从而防止该 1C元件100非本意地从保持单元20脱离。
[0167] 通过以上构成的旋转部97和安装于该旋转部97的状态下的保持单元20进行电 检查时，能够加热1C元件100。
[0168] 如图4所示，流体Q通过旋转部97的加热用流路972,在该通过过程中被发热部 973加热。该被加热了的流体Q的温度几乎不下降，能够以保持原样不变的状态流入保持单 元20的分配流路204,即向保持单元20供给。而且，流体Q分为向第一流路203a流动的流 体、和向第二流路203b流动的流体。在第一流路203a流下的流体Q能够吹向1C元件100 的第一封装件l〇〇a而能够优先加热该第一封装件100a。在第二流路203b流下的流体Q能 够吹向1C元件100的第二封装件100b而能够优先加热该第二封装件100b。
[0169] 另外，从发热部973发出的热经由旋转部97的由金属材料构成的主体部971传递 至保持单元20。利用该传递的热来在第一筒状部201a中加热1C元件100的第一封装件 l〇〇a，并在第二筒状部201b中加热1C元件100的第二封装件100b。
[0170] 这样，对于1C元件100,由于被加热的流体Q带来的加热与导热带来的加热的叠加 效果，能够迅速并且均匀地进行加热。由此，能够在所希望的温度下进行电检查。
[0171] 另外，能够使在用保持单元20吸附1C元件100并举起的状态、和将1C元件100 和保持单元20 -起按压于检查用插口 6的状态下对1C元件100加热的程度几乎相同。
[0172] 另外，在旋转部97集中配置有用于加热的结构、S卩加热用流路972、发热部973。该 结构有助于将被加热了的流体Q几乎不变凉地向保持单元20供给。
[0173] 另外，通过在多个位置向1C元件100吹流体Q，能够与1C元件100的形状无关地 迅速并均匀地加热该1C元件100。
[0174] 第二实施方式
[0175] 图16是本发明的检查装置(处理器(第二实施方式)）的检查用机械手所具有的第 一手单元的横剖视图。
[0176] 以下，参照该附图对本发明的处理器以及检查装置的第二实施方式进行说明，以 与上述的实施方式的不同点为中心进行说明，对于相同的事项省略其说明。
[0177] 本实施方式除了还具备热交换部以外，与上述第一实施方式相同。
[0178] 如图16所示，在本实施方式中，在延长流路98a的中途配置有热交换部994和三 通阀995。
[0179] 热交换部994由加热部994a和冷却部994b构成。加热部994a是在流体Q到达加 热用流路972之前对该流体Q进行预备加热的部件，例如，能够使用与发热部973相同的部 件。冷却部994b是在流体Q到达加热用流路972之前对该流体Q进行冷却的部件，例如， 能够使用发挥涡流效应的涡流管。
[0180] 三通阀995比热交换部994靠上游侧配置。该三通阀995能够切换为三个状态。 第一状态是来自泵991的流体Q朝向加热部994a侧的状态。第二状态是来自泵991的流 体Q朝向冷却部994b侧的状态。第三状态是均不朝向加热部994a侧以及冷却部994b侧 中任一方的状态，即、使来自泵991的流体Q的流动停止的状态。
[0181] 而且，例如在发热部973的加热不充分的情况下，将三通阀995设为第一状态，能 够由加热部994a加热流体Q。
[0182] 另外，例如在使发热部973不工作而进行电检查的情况下，优选将吹向1C元件100 的流体Q设定为比室温低。在该情况下，将三通阀995设为第二状态，能够由冷却部994b 冷却流体Q。
[0183] 以上，用图示的实施方式对本发明的处理器以及检查装置进行了说明，但是本发 明并不限定于此，构成处理器以及检查装置的各部能够与可以发挥相同的功能的任意的结 构置换。另外，也可以附加任意的构成物。
[0184] 另外，本发明的处理器以及检查装置也可以是将上述各实施方式中任意两个以上 的结构(特征）组合的装置。
[0185] 另外，加热用流路在上述各实施方式中曲折形成，但并不局限于此，例如，也可以 卷绕形成为螺旋状。
[0186] 作为发热部在上述各实施方式中为棒式加热器，但并不局限于此，例如，也可以是 线圈加热器、面式加热器。
[0187] 附图标记的说明：
[0188] 1…检查装置；11···台座；12···电源单元；2…供给托盘；21···凹处；23…导轨；3… 回收托盘；31···凹处；33…导轨；4…第一往复装置；41···基座部件；42、43…托盘；421、 431…凹处；44…导轨；5…第二往复装置；51···基座部件；52、53…托盘；521、531…凹处； 54…导轨；6…检查用插口（插口）；61…检查用独立插口（载置部）；7···供给机械手；72··· 支承框架；721…导轨；73···移动框架；74···手单兀支承部；75···手单兀；8…回收机械手； 82…支承框架；821…导轨；83···移动框架；84…手单兀支承部；85···手单兀；9…检查用机 械手(搬运机构）；911···第一框架；911a···导轨；912…第二框架；912a、912b…导轨；913··· 第一手单元支承部；914…第二手单元支承部；92···第一手单元；93···第二手单元；94··· 支承部；941…兀件标记；95···第一移动部；96···第二移动部；97···旋转部；971…主体部； 972…加热用流路(流路）；972a…供给口；973…发热部；974…第一板部件；974a…下表面； 974b…槽；974c…侧面；974d...开口部；974e…上表面；974f...凹部；975…第二板部件； 975a…上表面；975b…下表面；975c…贯通孔；975e…侧面；976…抽吸用流路（另一流路）； 976a…抽吸用流路；976b…开口部；98a，98b…延长流路；991…泵；992…电磁阀；993…喷 射泵；994…热交换部；994a···加热部；994b…冷却部；995…三通阀；10···控制装置(控制 部）检查控制部；102…驱动控制部；103…存储部；20…保持单元；201…单元主体； 201a…第一筒状部；201b…第二筒状部；201c…第三筒状部；201e、201f…前端面；201g、 201h…槽；202…吸附部件；202a...内腔部；203a…第一流路；203b…第二流路；203c…第三 流路；203d...开口部；204…分配流路；204a…连接口；205…抵接面；206a…填料；100…1C 兀件；100a···第一封装件；100b···第二封装件；100c···上表面(表侧的面）;100cl···下表面(背 侧的面）；l〇〇e…电极；100f…上表面(表侧的面）；100g…下表面(背侧的面）；800···显不装 置(显示部）；Q···流体；S…区域。
【权利要求】
1. 一种处理器，其特征在于，具有： 保持单元安装部，其能够得到保持搬运对象物的保持单元被安装的安装状态；以及 搬运机构，其对保持于上述保持单元的上述搬运对象物进行搬运， 上述保持单元安装部具有产生热的发热部、以及供被上述发热部加热并用于加热上述 搬运对象物的流体通过的流路。
2. 根据权利要求1所述的处理器，其中， 上述保持单元安装部具有与上述保持单元抵接的抵接面， 上述流路具有在上述抵接面开口并将上述流体向上述保持单元供给的供给口。
3. 根据权利要求1或者2所述的处理器，其中， 在上述流路的中途具有屈曲或者弯曲的部分。
4. 根据权利要求1?3的任一项所述的处理器，其中， 上述流路曲折形成。
5. 根据权利要求1?4的任一项所述的处理器，其中， 上述保持单元安装部具有设置有上述流路和上述发热部的主体部， 上述发热部产生的热经由上述主体部传递至上述保持单元而加热上述搬运对象物。
6. 根据权利要求1?5的任一项所述的处理器，其中， 上述发热部通过通电而产生热。
7. 根据权利要求6所述的处理器，其中， 上述发热部由形成为棒状并沿水平方向配置的加热器构成。
8. 权利要求1?7的任一项所述的处理器，其中， 具备热交换部，其配置于上述流路的上游侧，在上述流体到达上述流路之前对上述流 体进行加热或者冷却。
9. 根据权利要求1?8的任一项所述的处理器，其中，具备： 流体供给源，其将上述流体向上述流路供给；以及 切换部，其配置于上述流体供给源与上述流路之间，对来自上述流体供给源的上述流 体的供给和该供给的停止进行切换。
10. 根据权利要求9所述的处理器，其中， 上述切换部在上述保持单元保持上述对象物的期间，切换为能够进行上述供给的状 态。
11. 根据权利要求1?10的任一项所述的处理器，其中， 上述流体是被压缩了的空气。
12. 根据权利要求1?11的任一项所述的处理器，其中， 上述保持单元安装部具有与上述流路独立设置的第二流路， 上述保持单元具有吸附部件，该吸附部件形成为具有内腔部的筒状，吸附并保持上述 对象物， 上述内腔部经由上述第二流路与对上述内腔部进行抽吸的抽吸单元连接。
13. 根据权利要求1?12的任一项所述的处理器，其中， 具备能够设置对上述搬运对象物进行载置的插口的插口设置部， 上述搬运机构构成为朝向还未载置上述搬运对象物的状态下的上述插口搬运上述对 象物。
14. 一种检查装置，其特征在于，具备： 权利要求1?13的任一项所述的处理器；以及 安装于上述保持单元安装部的保持单元。
【文档编号】G01R31/00GK104122462SQ201410092900
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年3月13日 优先权日:2013年4月23日
【发明者】今井贵之, 宫本治彦, 高田冬生, 下岛聪兴 申请人:精工爱普生株式会社