新型真空微漏检测方法
【专利摘要】本发明公开了一种新型真空微漏检测方法，包括以下步骤：将被测真空器件连接在真空排气台上，启动真空排气台，使被检测真空器件内的大气压力达到10Pa以下；用注射器吸取浓度为98%酒精，并将浓度为98%酒精滴在被检测真空器件的任意部位上，如被检测真空器件内的大气压力迅速升高，则说明检测的部位是微露点。达到提高工作效率，节约资源并保护环境的目的。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明涉及物理测试领域，具体地，涉及一种新型真空微漏检测方法。 新型真空微漏检测方法
【背景技术】
[0002] 目前，真空检漏方法是高频高压法和利用检漏仪来检测。高频高压方法只能测试 10 Pa-1. OPa，范围很小。检漏仪不能在排气台上直接检漏，必须把真空器件拿下来，才能检 漏，现有技术不能在排气台上直接进行高真空检漏，从而存在检测效率低，浪费资源并污染 环境的问题。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于，针对上述问题，提出一种新型真空微漏检测方法，以实现提高 工作效率，节约资源并保护环境的优点。
[0004] 为实现上述目的，本发明采用的技术方案是： 一种新型真空微漏检测方法，包括以下步骤： 将被测真空器件连接在真空排气台上，启动真空排气台，使被检测真空器件内的大气 压力达到l〇Pa以下； 用注射器吸取浓度为98%酒精，并将浓度为98%酒精滴在被检测真空器件的任意部位 上，如被检测真空器件内的大气压力迅速升高，则说明检测的部位是微露点。
[0005] 优选的，上述浓度为98%酒精为工业酒精。
[0006] 优选的，所述被测真空器件的真空度范围为10 Pa至1.0 :x: 1CT13 Pa。
[0007] 优选的，上述吸取浓度为98%酒精的体积为3?5ml。
[0008] 本发明的技术方案具有以下有益效果： 本发明的技术方案，在真空排气台上，通过对被检测真空器件内的大气压力进行控制， 并使用高浓度酒精，对被检测真空器件内进行检测，因在真空排气台上直接检测，从而达到 了提高工作效率，节约资源并保护环境的目的。
[0009] 下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
【专利附图】
【附图说明】
[0010] 图1为本发明实施例所述的新型真空微漏检测方法的检测工具示意图； 图2为本发明实施例所述的新型真空微漏检测方法中真空排气台上被测真空器件的 真空值示意图. 结合附图，本发明实施例中附图标记如下： 1-被测真空器件；2-注射器；3-酒精。
【具体实施方式】 toon] 以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实 施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
[0012] 一种新型真空微漏检测方法，需要使用的检测设备如图1所示被测真空器件1，注 射器2和浓度为98%酒精3以及真空排气台。
[0013] 检测方法，具体包括，将被测真空器件1连接在真空排气台上，启动真空排气台， 使被检测真空器件1内的大气压力达到10Pa以下； 用注射器2吸取浓度为98%酒精3,并将浓度为98%酒精3滴在被检测真空器件1的任 意部位上，如被检测真空器件1内的大气压力迅速升高，则说明检测的部位是微露点。被检 测真空器件1内的大气压力通过图2所示的真空值读取，如果真空读数有大幅度增加，说明 被测点微漏；如真空读数无明显变化，说明被测点不漏。本发明的技术方案也可用于查找缺 陷真空器械的漏点以便于修复。
[0014] 其具体检测过程为，将被测真空器件1连接在真空排气台上，启动真空排气台，并 监控被测真空器件1内的真空值读数。用注射器2吸入适量的酒精3推动注射器，将酒精 3滴在被测真空器件上，同时观测真空值。
[0015] 优选的，浓度为98%酒精3为工业酒精，价格低廉且购买方便。
[0016] 优选的，被测真空器件1的真空度范围为10 Pa至1.〇 ;< 1〇43 Pa。
[0017] 优选的，吸取浓度为98%酒精的体积为3?5ml。
[0018] 注射器2可选各种型号玻璃注射器，也可选其他材质的注射器，方便购买，并可重 复使用。
[0019] 吸取的98%酒精的体积可为3 ml、3. 5 ml、4 ml、4. 5 ml和5 ml,也可以吸取体积 为 5. lml、5. 2 ml、5. 3 ml、5. 4 ml 以及 5. 5 ml 的酒精。
[0020] 使用本发明技术方案可以检测被检测真空器件的任何部位。
[0021] 最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明， 尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可 以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。 凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的 保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种新型真空微漏检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 将被测真空器件连接在真空排气台上，启动真空排气台，使被检测真空器件内的大气 压力达到l〇Pa以下； 用注射器吸取浓度为98%酒精，并将浓度为98%酒精滴在被检测真空器件的任意部位 上，如被检测真空器件内的大气压力迅速升高，则说明检测的部位是微露点。
2. 根据权利要求1所述的新型真空微漏检测方法，其特征在于，上述浓度为98%酒精为 工业酒精。
3. 根据权利要求1或2所述的新型真空微漏检测方法，其特征在于，所述被测真空器件 的真空度范围为10 Pa至1.0 xl〇_13 Pa。
4. 根据权利要求1或2所述的新型真空微漏检测方法，其特征在于，上述吸取浓度为 98%酒精的体积为3?5ml。
【文档编号】G01M3/26GK104142216SQ201410377213
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年8月4日 优先权日:2014年8月4日
【发明者】刘骏, 吴爱军, 王刘成 申请人:无锡日联科技有限公司