一种音叉型微机电陀螺的制作方法

文档序号:11822373阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种音叉型微机电陀螺,其特征在于:包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分,在布局上呈左右对称布置,并且左部分或右部分呈上下对称布置,左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分。

2.如权利要求1所述的一种音叉型微机电陀螺,其特征在于:在左部分或右部分中,驱动部分呈框形,在最外侧,包括驱动质量块,U型外驱动梁,悬臂型外驱动梁,悬臂型内驱动梁,驱动动梳齿,驱动定梳齿,驱动锚接点和驱动定梳齿锚接点等,其中,U型外驱动梁、悬臂型外驱动梁、悬臂型内驱动梁均为X向自由度梁,可限制驱动部分在Y向的运动,其长宽比在15以上;驱动动梳齿、驱动定梳齿用于静电驱动或驱动检测,驱动力与梳齿相对交叠面积成正比、与齿间隙成反比;驱动锚点、驱动定梳齿锚点用于与底座进行固定,起支撑作用,一般为方形。

3.如权利要求1所述的一种音叉型微机电陀螺,其特征在于:在左部分或右部分中,检测部分呈框形,在最内侧,包括检测质量块,悬臂型检测梁,检测动梳齿,检测定梳齿和检测锚接点,其中,悬臂型检测梁为Y向自由度梁,可限制检测部分在X向的运动,其长宽比在15以上;检测动梳齿、检测定梳齿用于电容检测或检测反馈,检测定梳齿可局部或整体与底座进行固定,检测初始电容与梳齿相对交叠面积成正比、与齿间隙成反比,为提高灵敏度,应尽可能增大梳齿相对交叠面积,缩小齿间隙;检测锚点用于与底座进行固定,起支撑作用,一般为方形。

4.如权利要求1所述的一种音叉型微机电陀螺,其特征在于:在左部分或右部分中,驱动检测转接部分呈框形,位于驱动框与检测框之间,包括驱动检测转接质量块,驱动转接梁和检测转接梁等,其中,驱动检测转接质量块用于在驱动质量块和检测质量块之间实现输入传递,驱动检测转接质量块与检测质量块的质量比越大,输入传递效率越高;驱动转接梁为Y向自由度梁,用于同步驱动质量块和驱动检测转接质量块在X向的运动,同时隔离驱动检测转接质量块在检测质量块在Y向的运动,检测转接梁为X向自由度梁,用于同步驱动质量块和驱动检测转接质量块在X向的运动,同时隔离驱动检 测转接质量块在检测质量块在Y向的运动。

5.如权利要求1所述的一种音叉型微机电陀螺,其特征在于:在左部分或右部分中,双质量块耦合部分,主要包括外耦合连接梁和内耦合连接梁,其中,外侧耦合连接梁呈长条形,用于实现左右驱动质量块的能量耦合,其长宽比一般在以上;内耦合连接梁呈“工”字形,用于实现左右检测质量块的能量耦合,由5段直梁构成,每段直梁的长宽比一般在15以上。。

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