红外探测器的光谱响应度的测量系统和测量方法与流程

技术特征：

1.一种红外探测器的光谱响应度的测量系统，其特征在于，包括：

红外光谱仪，用于提供宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；

频谱仪，用于测量设置于宽谱红外光焦点位置处的待测红外探测器随频率f变化的电压信号S_DUT(f)；

其中，基于所述电压信号S_DUT(f)获取所述待测红外探测器随波数w变化的响应信号S_DUT(w)；

根据响应信号S_DUT(w)获得所述待测红外探测器的光谱响应度。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，根据电压信号S_DUT(f)和响应信号S_DUT(w)利用下面的式子1计算出所述待测红外探测器的光谱响应度R_DUT(w)，

[式子1]

R_DUT(w)＝S_DUT(w)/(S×PS(w))

其中，S表示所述待测红外探测器的光敏面积，PS(w)表示宽谱红外光在其焦点位置处的单位面积的光功率。

3.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：扫描探测器，用于获取宽谱红外光的焦点位置以及宽谱红外光在其焦点位置处的光斑面积；其中，所述扫描探测器的光敏面积小于宽谱红外光在其焦点位置处的光斑面积。

4.根据权利要求3所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：参考探测器，用于获取宽谱红外光在其焦点位置处的单位面积的光功率PS(w)；其中，所述参考探测器的光敏面积大于宽谱红外光在其焦点位置处的光斑面积。

5.根据权利要求1所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：前置放大器，设置于所述频谱仪与所述待测红外探测器之间对所述电压信号S_DUT(f)进行放大。

6.根据权利要求3所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：源表，用于向所述扫描探测器施加偏压并随着所述扫描探测器的移动测量回路中的电流值；其中，当所述源表测量的回路中的电流值最大时，所述扫描探测器位于宽谱红外光的焦点位置处。

7.根据权利要求4所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：三维平台，用于挂载各探测器且带动各探测器在宽谱红外光的焦点位置处做三维移动。

8.根据权利要求6或7所述的测量系统，其特征在于，所述测量装置还包括：电控系统，用于控制所述三维平台。

9.一种红外探测器的光谱响应度的测量方法，其特征在于，包括：

红外光谱仪产生宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；

利用扫描探测器获取宽谱红外光的焦点位置以及宽谱红外光在其焦点位置处的光斑面积；

将参考探测器放置于宽谱红外光的焦点位置处；

利用频谱仪测量所述参考探测器随频率f变化的电压信号S(f)；

根据所述电压信号S(f)获取所述参考探测器随波数w变化的响应信号S(w)；

根据所述响应信号S(w)以及宽谱红外光在其焦点位置处的光斑面积获取宽谱红外光其焦点位置处的单位面积的光功率PS(w)；

将待测红外探测器放置于宽谱红外光的焦点位置处；

利用所述频谱仪测量所述待测红外探测器随频率f变化的电压信号S_DUT(f)；

根据所述电压信号S_DUT(f)获取所述待测红外探测器随波数w变化的响应信号S_DUT(w)；

根据响应信号S_DUT(w)获得所述待测红外探测器的光谱响应度。

10.根据权利要求9所述的测量方法，其特征在于，根据响应信号S_DUT(w)利用下面的式子1计算出所述待测红外探测器的光谱响应度R_DUT(w)，

[式子1]

R_DUT(w)＝S_DUT(w)/(S×PS(w))

其中，S表示所述待测红外探测器的光敏面积。