技术总结
本发明公开一种红外探测器的光谱响应度的测量系统，其包括：红外光谱仪，用于提供宽谱红外光并对宽谱红外光进行聚焦；频谱仪，用于测量设置于宽谱红外光焦点位置处的待测红外探测器随频率f变化的电压信号SDUT(f)；其中，基于所述电压信号SDUT(f)获取所述待测红外探测器随波数w变化的响应信号SDUT(w)；根据响应信号SDUT(w)获得所述待测红外探测器的光谱响应度。本发明还公开一种红外探测器的光谱响应度的测量方法。本发明采用微纳加工技术制备的微台面探测器具有微米级的台面尺寸，空间分辨率高，结合三维平台的面扫描方法能更准确、直观的测量红外光源在焦点位置处的光强分布。
技术研发人员：熊敏;董旭;周桃飞;时文华
受保护的技术使用者：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
文档号码：201510313510
技术研发日：2015.06.09
技术公布日：2017.01.04