一种分光器及其光谱仪的制作方法

文档序号:12173401阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种分光器,其特征在于,其用以与一光传感器组成一光谱仪,该分光器包含:

一导模共振滤波器,其具有多个共振区,每一该共振区具有彼此相异的一滤波特性,以反射一待测光源中的一第一光线或透射该待测光源中的一第二光线至该光传感器,其中该第一光线与该第二光线的波长相异。

2.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,该多个共振区沿一方向排列且具有逐渐减少的一共振频率。

3.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,该滤波特性包含一透射效率矩阵T,其包含i乘上j的多个透射元素,其中i为该多个共振区的数量,j为不同波长的每一参考光的数量,每一该透射元素表示每一该共振区对应每一该参考光的波长所具有的透射效率。

4.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,更包含一光学组件,其设置于该导模共振滤波器的一入光侧,用以导引该待测光源至该多个共振区。

5.如权利要求4所述的分光器,其特征在于,该光学组件包含一准直透镜或一光纤。

6.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,更包含:

一壳体,其具有一狭缝或一针孔,且该导模共振滤波器与该狭缝或该针孔相对设置于该壳体;以及

一准直透镜,其设置于该导模共振滤波器以及该狭缝或该针孔之间。

7.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,更包含:

一第一光纤,其包含一第一入光口以及一第一出光口,该第一入光口用以导 引一外部光源通过该第一出光口至一待测样品,以产生该待测光源;以及

一第二光纤,其包含一第二入光口以及一第二出光口,该第二入光口用以导引该待测光源通过该第二出光口至该导模共振滤波器。

8.如权利要求7所述的分光器,其特征在于,更包含一隔离器,使该第一光纤的该第一出光口段与该第二光纤的该第二入光口段并入一光纤段。

9.如权利要求7所述的分光器,其特征在于,该导模共振滤波器与该第二出光口相连接。

10.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,该导模共振滤波器包含一光子晶体。

11.如权利要求1所述的分光器,其特征在于,该导模共振滤波器包含以一介电层设置于一透光层所形成的一波导光栅结构,其中该介电层的折射率大于该透光层的折射率。

12.如权利要求11所述的分光器,其特征在于,该介电层包含TiO2、SiNx、ZnO、ZrO2、Ta2O5、Nb2O5或HfO2

13.如权利要求11所述的分光器,其特征在于,该待测光源具有一特定偏振方向。

14.一种光谱仪,其特征在于,包含:

一分光器,其包含一导模共振滤波器具有多个共振区,每一该共振区具有彼此相异的一滤波特性,以反射一待测光源中的一第一光线或透射该待测光源中的一第二光线,其中该第一光线与该第二光线的波长相异;以及

一光传感器,其包含多个感光区分别对应于该多个共振区,其用以接收该第一光线或该第二光线以得到一光强度分布;以及

一运算单元,其依据该光强度分布以及该滤波特性,计算该待测光源的一光谱数据。

15.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该分光器的该多个共振区沿一方向排列且具有逐渐减少的一共振频率。

16.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,

该滤波特性包含一透射效率矩阵T,其包含i乘上j的多个透射元素,其中i为该多个共振区的数量,j为不同波长的每一参考光的数量,每一该透射元素表示每一该共振区对应每一该参考光的波长所具有的透射效率;

该光强度分布包含一光强度矩阵C,其包含i个光强度元素,其中i为该共振区的数量,每一该光强度元素表示与每一该共振区对应的每一该感光区感测该第一光线或该第二光线所得的光强度;以及

该光谱数据包含一频谱矩阵I,其包含j个频谱元素,其中j为不同波长的每一该参考光的数量,每一该频谱元素表示该待测光源中对应每一该参考光的波长所具有的分光强度;

其中,该透射效率矩阵的转置矩阵TT及该光强度矩阵C是由量测得知,该运算单元是依据一方程式C=I·(TT),以求得该频谱矩阵I。

17.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该分光器更包含一光学组件,其设置于该导模共振滤波器的一入光侧,用以导引该待测光源至该多个共振区。

18.如权利要求17所述的光谱仪,其特征在于,该光学组件包含一准直透镜或一光纤。

19.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该分光器更包含:

一壳体,其具有一狭缝或一针孔,且该导模共振滤波器与该狭缝或该针孔相对设置于该壳体;以及

一准直透镜,其设置于该导模共振滤波器以及该狭缝或该针孔之间。

20.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,更包含:

一第一光纤,其包含一第一入光口以及一第一出光口,该第一入光口用以导引一外部光源通过该第一出光口至一待测样品,以产生该待测光源;以及

一第二光纤,其包含一第二入光口以及一第二出光口,该第二入光口用以导引该待测光源通过该第二出光口至该导模共振滤波器。

21.如权利要求20所述的光谱仪,其特征在于,更包含一隔离器,使该第一光纤的该第一出光口段与该第二光纤的该第二入光口段并入一光纤段。

22.如权利要求20所述的光谱仪,其特征在于,该导模共振滤波器与该第二出光口相连接。

23.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该导模共振滤波器包含一光子晶体。

24.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该导模共振滤波器包含以一介电层设置于一透光层所形成的一波导光栅结构,其中该介电层的折射率大于该透光层的折射率。

25.如权利要求24所述的光谱仪,其特征在于,该介电层包含TiO2、SiNx、ZnO、ZrO2、Ta2O5、Nb2O5或HfO2

26.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该光传感器包含一感光耦合组件。

27.如权利要求14所述的光谱仪,其特征在于,该待测光源具有一特定偏振方向。

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