技术总结
本发明提供一种基于量程拓展的谐振式应变结构、应变传感器及制备方法，所述基于量程拓展的谐振式应变结构包括：双端固支音叉及量程拓展梁；所述量程拓展梁位于所述双端固支音叉的两端，且与所述双端固支音叉的两端相连接。本发明中，量程拓展梁可以降低双端固支音叉的应变量，从而实现谐振式应变传感器量程的拓展；通过设计量程拓展梁与双端固支音叉的尺寸，可以设定双端固支音叉上的应变与实际应变的比例；整个结构为一体化结构，制作工艺简单，便于实现工业化。
技术研发人员：杨恒;王小飞;豆传国;孙珂;吴燕红;李昕欣
受保护的技术使用者：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
文档号码：201510954769
技术研发日：2015.12.17
技术公布日：2017.06.27