用于检查对象的系统的制作方法

文档序号:12560804阅读:186来源:国知局
用于检查对象的系统的制作方法与工艺

本申请要求2014年12月18日提交的美国临时专利申请62/093,486的优先权益,其以引用的方式并入本文。

技术领域

本实用新型涉及,但不限于光束调节器和用于检查对象的系统。



背景技术:

很多光学检查系统使用线扫描相机,以通过将相机或物品以垂直于扫描线的方向进行移动来创建被检查物品的图像。这样的系统还装有线照射设备,该线照射设备与相机一起移动并且照射正在被相机成像的物品的部分。

当被检查的物品不是平的时,例如,带有具有类似梯形轮廓的金属导体的PCB面板,或当寻找表面的不规则时,很多这样的系统利用多个照射源,例如,暗场(从侧面进行的倾斜照射)或明场(从上方进行的同轴照射)或二者,这取决于应用情况。

然而,与利用照射的圆对称同心圆环的区域扫描系统相比,线照射的角覆盖可以是本质上各向异性的。因此,例如,在只需要暗场照射的应用情况中(例如,发现表面的不规则),角覆盖可能是不完整的,特别是没有覆盖沿着线轴的所有表面点。

因此,期望的是在线扫描检查系统中实现明场照射和暗场照射的更各向同性的(接近圆对称)角覆盖,该更各向同向的角覆盖将更接近区域扫 描系统的角覆盖。



技术实现要素:

可以提供系统、方法和光束调节器(也称为调节器、分束器或调节模块)。

系统可以用于检查对象并且可以包括:相机、照射模块、物镜;照射模块,其可以配置为由跨越三个不同入射的角范围的第一光束、第二光束和第三光束来照射对象;物镜,其可以配置为:(a)接收第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射,并且(b)引导第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射朝向传感模块;其中传感模块可以配置为感测第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射;其中照射模块可以包括调节模块,该调节模块可以配置为执行以下至少一个:引入第一光束、第二光束和第三光束中的两个光束或多个光束的色差和偏振差中的至少一个差异;促使第一光束只以以下中的一个角度范围照射对象:(i)第一角区域,其可以包括法向照射角以及至多与法向照射成预定义角偏差;以及(ii)第二角区域,其围绕第一角区域的第二角区域;当投射在对象上时,通过与第一光束部分重叠的第四光束照射对象,以形成可以包括第一角区域的重叠区域。

调节模块可以包括菲涅耳光学组件,该菲涅耳光学组件可以从菲涅耳分束器和菲涅耳棱镜中选出。

调节模块可以包括分束器,该分束器配置为接收中间光束并且将中间光束分为第一光束和第四光束,从而导致第一光束和第四光束投射在第一角区域外的对象。

照射模块可以配置为,通过第四光束以可不同于第一光束入射的角范围的入射角范围来照射对象;其中物镜可以配置为接收第四光束的反射并且引导第四光束的反射朝向传感模块;其中传感模块可以配置为感测第四光束的反射。

分束器可以只包括可以定向为与中间光束的传播轴的法线成至少十 度的小平面。

分束器可以包括可以定向为相对于中间光束的传播轴不超过四十五度的角的多个小平面。

分束器可以包括可以定向为相对于中间光束的传播轴不超过二十度的角的多个小平面。

分束器可以配置为引入第一光束和第四光束之间的色差。

分束器可以配置为引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

分束器的奇数小平面和菲涅耳分束器的偶数小平面彼此在滤色特性和偏振特性中的至少一个方面不同。

调节模块可以包括分束器,该分束器可以配置为接收中间光束并且将中间光束分为第一光束和第四光束,从而导致当投射到对象上时,第一光束和第四光束部分地重叠第一光束,以形成可以包括第一角区域的重叠区域。

调节模块可以配置为引入第一光束和第四光束之间的色差。

调节模块可以配置为引入(a)第一和第二光束以及(b)第三和第四光束之间的色差。

调节模块可以配置为引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

重叠区域可以用白光照射对象。

分束器可以只包括定向为与中间光束的传播轴的法向成至少五度的小平面。

调节模块可以包括分束器,该分束器配置为接收中间光束并且将中间光束分为第一光束、第四光束和第五光束,从而因此导致第一光束、第四光束和第五光束在不同角范围投射对象。

第一光束可以在第一角范围内投射到对象上,并且其中第四光束和第五光束在第一角范围之外投射在对象上。

调节模块可以配置为引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

调节模块可以配置为引入第一光束和第四光束之间的色差。

调节模块可以包括多个三重相邻小平面,其中每个三重相邻小平面可以包括:可以与中间光束的传播轴成法向的第一小平面、相对于第一小平面具有正方向的第二小平面以及相对于第一小平面具有负方向的第三小平面。

第一小平面可以包覆有第一滤色片,第二小平面可以包覆有第二滤色片以及第三小平面可以包覆有第三滤色片;其中第一滤色片、第二滤色片和第三滤色片中的至少两个滤色片在光谱方面可以彼此不同。

第一滤色片可以不同于第二滤色片和第三滤色片,并且第二滤色片和第三滤色片具有相同的光谱。

第一滤色片、第二滤色片和第三滤色片在光谱方面可以彼此不同。

第一小平面可以包覆有第一偏振器,第二小平面可以包覆有第二偏振器以及第三小平面可以包覆有第三偏振器;其中第一偏振器、第二偏振器和第三偏振器中的至少两个偏振器在偏振方面可以彼此不同。

预定义的角偏差可以超过二十度。

预定义角的偏差可以超过十度。

方法可以用于检查对象并且可以包括通过跨越三个不同的入射角范围的第一光束、第二光束和第三光束来照射对象;通过物镜接收第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射;并且通过物镜引导第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射朝向传感模块;通过传感模块感测第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射;其中照射可以包括,通过调节模块执行以下至少一个:引入第一光束、第二光束和第三光束中的两个光束或多个光束之间的色差和偏振差中的至少一个差异;促使第一光束以以下中的仅一个角范围来照射对象:(i)可以包括法向照射角并且至多与法向照射成预定义角偏差的第一角区域;以及(ii)围绕第一角区域的第二角区域;以及当投射在对象时,通过部分地重叠第一光束的第四光束照射对象以形成可以包括第一角区域的重叠区域。

调节模块可以包括菲涅耳光学组件,其可以从菲涅耳分束器和菲涅耳 棱镜中选出。

调节模块可以包括分束器;其中方法可以包括,通过分束器接收中间光束,并且将中间光束分为第一光束和第四光束,从而导致第一光束和第四光束在第一角区域外投射在对象上。

方法可以包括,通过第四光束以可不同于第一光束的入射角范围的入射角范围来照射对象;通过物镜接收第四光束的反射并且引导第四光束的反射朝向传感模块;并且通过传感模块感测第四光束的反射。

分束器可以只包括可以定向成与中间光束的传播轴的法向成至少十度的小平面。

分束器可以包括可以定向成相对于中间光束的传播轴不超过四十五度的角的多个小平面。

分束器可以包括可以定向成相对于中间光束的传播轴不超过二十度的角的多个小平面。

方法可以包括通过分束器引入第一光束和第四光束之间的色差。

方法可以包括通过分束器引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

在方法中,其中分束器的奇数小平面和菲涅耳分束器的偶数小平面彼此可以在滤色特性和偏振特性中的至少一个方面不同。

调节模块可以包括分束器;其中方法可以包括通过分束器接收中间光束;通过分数器将中间光束分为第一光束和第四光束,从而导致当投射在对象上时,第一光束和第四光束部分地重叠第一光束以形成可以包括第一角区域的重叠区域。

方法可以包括,通过调节模块引入第一光束和第四光束之间的色差。

方法可以包括,通过调节模块引入(a)第一光束和第二光束以及(b)第三光束和第四光束之间的色差。

方法可以包括,通过调节模块引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

重叠区域用白光照射对象。

分束器可以只包括被定向成与中间光束的传播轴的法向成至少五度的小平面。

调节模块可以包括分束器;其中方法可以包括,通过分束器接收中间光束,并且将中间光束分为第一光束、第四光束和第五光束,从而导致第一光束、第四光束和第五光束在不同角范围投射在对象上。

第一光束可以在第一角范围内投射在对象上,并且其中第四光束和第五光束在第一角范围之外投射在对象上。

方法可以包括,通过调节模块引入第一光束和第四光束之间的偏振差。

调节模块可以配置为引入第一光束和第四光束之间的色差。

调节模块可以包括多个三重相邻小平面,其中每个三重相邻小平面可以包括:可以与中间光束的传播轴成法向的第一小平面、相对于第一小平面具有正方向的第二小平面以及相对于第一小平面具有负方向的第三小平面。

第一小平面可以包覆有第一滤色片,第二小平面可以包覆有第二滤色片以及第三小平面可以包覆有第三滤色片,其中第一滤色片、第二滤色片和第三滤色片中的至少两个滤色片在光谱方面可以彼此不同。

第一滤色片可以不同于第二滤色片和第三滤色片并且第二滤色片和第三滤色片具有相同的光谱。

第一滤色片、第二滤色片和第三滤色片可以在光谱方面彼此不同。

第一小平面可以包覆有第一偏振器,第二小平面可以包覆有第二偏振器以及第三小平面可以包覆有第三偏振器;其中第一偏振器、第二偏振器和第三偏振器中的至少两个偏振器在偏振方面可以彼此不同。

预定义的角偏差可以超过二十度。

预定义的角偏差可以超过十度。

可以提供一种光束调节器,其包括多个三重小平面;其中每个三重小平面包括(a)与输入光束的输入轴可以成法向并且可包覆有红滤色片的第一 小平面,(b)可包覆有绿滤色片的第二小平面和第三小平面;其中每个三重小平面的第二小平面和第三小平面可以定向成在该三重小平面的第一小平面的正向角和负向角方向上;其中每个三重小平面中的第二小平面和第三小平面可以不与输入轴成法向。

可以提供一种光束调节器,其可包括多个三重小平面;其中每个三重小平面包括(a)可与输入光束的输入轴成法向并且可包覆有红滤色片的第一小平面,(b)可包覆有绿滤色片的第二小平面,以及(c)可包覆有蓝滤色片的第三小平面;其中每个三重小平面中的第二小平面和第三小平面可以定向在到该三重小平面中的第一小平面的正向角和负向角方向上;并且其中每个三重小平面的第二小平面和第三小平面可与输入轴不成法向。

可以提供一种光束调节器,该光束调节器可以包括多对小平面;其中多对小平面中的小平面可以不与输入光束的输入轴成法向;其中每对小平面中的小平面可以定向成相对于输入轴的法向的小角方向上;其中每对小平面可以包括可包覆有品红滤色片的第一小平面和可包覆有绿滤色片的第二小平面。

附图说明

根据以下结合附图进行的详细描述,将会更全面地理解和领会本公开,其中:

图1示出了根据本公开的实施例的检查系统;

图2示出了在球面对象上形成的现有技术的照射图案;

图3示出了根据本公开的实施例的图1中的系统的菲涅耳分束器;

图4A示出了根据本公开实施例的菲涅耳分束器的横断面视图;

图4B示出了当使用根据本公开实施例的图4A中的菲涅耳分束器时在球面对象上形成的照射图案;

图5A示出了根据本公开实施例的菲涅耳分束器的横断面视图;

图5B示出了当使用根据本公开实施例的图5A中的菲涅耳分束器时在 球面对象上形成的照射图案;

图6A示出了根据本公开实施例的菲涅耳分束器的横断面视图;

图6B示出了当使用根据本公开实施例的图6A中的菲涅耳分束器时在球面对象上形成的照射图案;

图7A示出了根据本公开实施例的菲涅耳分束器的横断面视图;

图7B示出了当使用根据本公开实施例的图7A中的菲涅耳分束器时在球面对象上形成的照射图案;

图8A示出了根据本公开实施例的菲涅耳分束器的横断面视图;

图8B示出了当使用根据本公开实施例的图8A中的菲涅耳分束器时在球面对象上形成的照射图案;

图9示出了根据本公开的实施例的方法;

图10示出了根据本公开的实施例的照射路径;以及

图11示出了根据本公开的实施例的源的角范围和已调节的角范围之间的关系。

具体实施方式

因为实现本公开的装置,多半而言,由本领域技术人员所熟知的电子组件和电路组成,出于对本公开的基本概念的理解和领会并且为了不与本公开的教导模糊和混乱,将不再有必要以比以上所说明的内容更详细的任何方式来解释电路。

在以下说明书中,将参考本公开的实施例的具体的示例来对本公开进行描述。然而,将明显的是,可以在其中做出各种修改和改变而不背离如在随附权利要求中所阐述的本公开的更广的精神和范围。

在一些现有技术的系统中,只有暗场的线照射是各向异性的并且特别是没有覆盖所有的方向。

根据本公开的实施例,提供了一种系统,其展示暗场照射的改进的、 近似各向同性的角覆盖。

这通过具有菲涅耳分束器或棱镜或放置在明场照射源之后相似的调节器来实现,使得法向角和小角中的光线被抑制,只剩下斜角的光线,结合暗场照射源,创建覆盖大部分照射方向的近似暗场照射环。例如,见图4A和图4B。

在一些现有技术的系统中,只有明场的线照射是各向异性的,特别是包括不需要的倾斜光照角。

根据本公开的实施例,提供了一种系统,其展示了只覆盖法向光照角和小光照角的、更集中和更纯净的明场照射。

这可以通过菲涅耳分束器或棱镜或放置在明场照射源之后的相似的调节器来实现,使得斜角中的光线被抑制,只剩下法向角和小角光线,创建集中的明场照射光斑。例如,见图8A和图8B。

根据本公开的实施例,提供了一种系统,其展示了带有具有一种颜色的法向角和小角以及具有第二颜色的斜角的彩色照射的更好的、接近各向同性的分离。

这通过菲涅耳分束器或棱镜或放置在明场照射源之后的相似的调节器实现,使得用一种颜色过滤法向角和小角中的光线,以及用第二颜色过滤斜角光线;以及与第二颜色相似颜色的滤色片被应用到暗场照射源,创建第一颜色的集中明场光斑和第二颜色的近似暗场环。例如,见图5A和图5B。

根据本公开的实施例,提供了一种系统,其展示了带有具有一种颜色的法向角和小角以及具有两种其它颜色中任何一种颜色的斜角的彩色照射的更好的、接近各向同性的分离,这取决于斜角的方向。

这通过菲涅耳分束器或棱镜或放置在明场照射源之后的相似的调节器来实现,使得用一种颜色过滤法向角和小角中的光线,用第二颜色过滤沿着扫描线的一个方向上的斜角光线,以及用第三颜色过滤沿着扫描线的相反方向上的斜角光线;以及与那些第二颜色和第三颜色相似颜色的滤色片分别被应用到暗场照射源,创建第一颜色的集中明场光斑和近似暗场环, 其中一半具有第二颜色而另一半具有第三颜色。例如,见图6A和图6B。调节器(诸如,菲涅耳调节器)可以被放置为延伸出附图的页面之外。

图1示出了根据本公开的实施例的线扫描检查系统。

系统包括:

a.明场(BF)照射源5,用于生成BF光束。

b.分束器6。

c.物镜4。

d.暗场(DF)源71、72,用于生成DF光束。

e.调节器8,其位于BF照射源5和分束器6之间并且用于调节BF光束以提供一个或多个调节的BF光束。

f.DF滤色片或偏振器91和92,其位于DF照射源71和72与对象2之间,用于改变DF光束的颜色和/或偏振,以提供以斜角投射在物品上的两个调节的DF光束。

g.相机3。

h.用于控制系统的控制器142。

i.图像处理器141,用于从相机3接收检测信号和处理检测信号。

j.用于支撑和/或移动对象2的桌子1。

相机3可以是偏光相机。相应地,相机3可以包括分析器或可调节滤色片。因此,相机3可以接收不同偏振的光并且可以在不同偏振的组件之间进行区分。

物镜4被放置在相机3和分束器6之间。分束器6被放置在对象2和物镜4之间。

通过分束器6将一个或多个调节的BF光束引导为投射在对象上。

一个或多个调节的BF光束中的每一个的反射和调节的DF光束中的每一个的反射通过分束器6以及通过物镜4并且投射在相机3上。

调节器8和DF滤色片或偏振器91和92形成调节模块。

当在实践中校准照射系统时,按照通常所做的,通过照射和成像发光的金属球面的半圆顶来产生角覆盖图,见图2。

图中的中心对应于法向光和反射(即,从上方)。其他区域(131和132)表示距中心越来越倾斜的各个角。

图2示出了通过扫描球形发光表面而获得的现有技术的覆盖图11。在覆盖图11中可以观察到三个加长的明波瓣(bright lobe)。中心的一个12对应于BF,顶部和底部的131、132对应于两个DF源。

图1的调节器8可以使用称为菲涅耳分束器的小棱镜的菲涅耳阵列来实现,其不同的面包覆有具有不同偏振薄层的不同颜色的滤色材料,这取决于期望的结果。每个面使光偏斜不同的角范围,因此产生关于不同入射角的不同颜色的或不同偏振的光线。

图3示出了根据本公开的实施例的调节器8的示例。调节器8是具有多个小平面的菲涅耳分束器。这些小平面中没有一个与传播轴(表示为输入轴11)正交。

图4A是抑制法向角和小角的调节器18的横断面视图。

进入的光线(沿着输入轴18传播)首先撞击调节器18的锯齿形侧,而后经过调节器18的平滑侧离开。

图4B示出了通过将这样的调节器应用到BF源而产生的角覆盖。图4B示出了具有四个波瓣21、22、23和24的覆盖图20。这些波瓣没有覆盖该覆盖图20的中心,对应于法向角和小角的抑制。

图5A示出了用一个红色(R)给小角涂色并且用第二绿色(G)给斜角涂色的调节器30。

调节器30包括多个三重小平面。每个三重小平面包括到与输入轴11正交的并且包覆有红滤色片32的第一小平面以及包覆有绿滤色片31的第二小平面和第三小平面。第二小平面和第三小平面被定向为相对于第一小平面的正向角和负向角上并且这两个小平面都不与输入轴11正交。

图5B是当使用该调节器30并且用相同的第二颜色G涂色时,产生的 覆盖图40。覆盖图40包括四个绿(G)波瓣41、42、44和45,其中这些波瓣不覆盖该覆盖图40的中心,对应于法向角和小角的抑制。覆盖图40还包括红(R)色波瓣43-在其中心。

图6A示出了用一个颜色R给小角涂色并且用第二颜色G和第三颜色B给斜角涂色的调节器50。

调节器50包括多个三重小平面。每个三重小平面包括与输入轴11正交的并且包覆有红滤色片52的第一小平面、包覆有绿滤色片51的第二小平面和包覆有蓝滤色片53的第三小平面。第二小平面和第三小平面被定向为在相对于第一小平面的正向角和负向角上并且这两个小平面都与输入轴11不正交。

图6B示出了当使用该调节器和分别使用相同的第二颜色G和第三颜色B给DF源涂色时产生的覆盖图60。

图6B的覆盖图60包括顶部绿(G)波瓣61、底部蓝波瓣(B)65、左边绿波瓣62、右边蓝薄板64和中心红波瓣63。

图7A出了用一种颜色R对左侧的角涂色并且用第二颜色G对右侧的角涂色使得两个角范围之间由重叠部分的调节器70。

调节器70包括多对小平面。小平面与输入轴11并不正交并且在相对于与输入轴11的法线成较小的角处。每对包括包覆有品红(M)滤色片73的第一小平面和包覆有绿(G)滤色片71的第二小平面。

图7B是当使用该调节器70和分别使用相同的第一颜色和第二颜色M、G给DF源涂色时产生的覆盖图。该方法有效地创建了类似于图5B的三色光图案,但只使用了两种滤色片颜色。

覆盖图80包括顶部品红(M)波瓣81、底部绿(G)波瓣85和两个部分重叠的波瓣(左边品红波瓣82和和右边绿波瓣84),这些波瓣(82和84)之间的重叠区域位于覆盖图80的中心83并且具有由两个滤色片颜色组合的第三颜色(例如,滤色片颜色品红和绿色将产生重叠区域中的白色)。白色(W)83来表示重叠区域。

图8B示出了具有一个波瓣25的覆盖图26。

可以提供几种BF调节器以及其与DF滤色片或偏振器的可选组合以实现只有BF、只有DF、双色和三色的各个接近各向同性的覆盖图案。有些已在上面进行了说明。

任何光调节可以是除了颜色的特性。例如,不同方向的偏振器可以被应用到BF调节器的小平面并且可选地DF源,当采用具有不同分析器方向的多个偏振图像诸如偏振相机或通过使用液晶光学调制器时,使得它们同样是可分离的。

调节可以应用到暗场照射源,使得实现更复杂的角覆盖图的创建。

可以提供使用以上所示出的系统检查被检查物品的方法。

图9示出了根据本公开的实施例的方法400。

方法400可以包括步骤410、420、430、440和450的顺序。

当扫描对象时,方法还可以包括重复步骤410、420、430、440和450。这可以包括引入照射模块和对象之间的相对运动。

步骤410可以包括通过跨越三个不同的入射角范围的第一光束、第二光束和第三光束来照射对象。

步骤410可以包括步骤411、412、413以及414中的至少一个。

步骤411可以包括引入第一光束、第二光束和第三光束中的两个光束或更多光束之间的色差和偏振差中的至少一个差异。例如,见图5B、图6B和图7B。

步骤412可以包括促使第一光束只在包括法向照射角和至多与法向照射的预定义的角偏差的第一角区域照射对象。例如,见图8B。

步骤413可以包括促使第一光束只在围绕第一角区域的第二角区域照射对象。例如,见图4B。

步骤414可以包括通过与第一光束部分重叠的第四光束照射对象,当投射在对象上时,形成包括第一角区域的重叠区域。例如,见图7A。

步骤420可以包括通过物镜接收第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射。

步骤430可以包括通过物镜引导第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射朝向传感模块。

步骤440可以包括通过传感模块感测第一光束的反射、第二光束的反射以及第三光束的反射。

步骤450可以包括处理检测信号。

图10示出了从照射源到物品的整个路径,以说明其如何与整个系统相关。在图10中(为了清晰的目的)分束器将从路径中省略,因为分束器仅仅折叠它而不改变行为。

应该注意的是,图10的照射线源和菲涅耳调节器应该比桌子上的物品的视场更长,以便于正确地提供角照射。

图11示出了菲涅耳调节器大体上保持该角范围,并且将光线分为两个宽波瓣,这两个宽波瓣可以重叠或可以不重叠,这取决于调节器的几何形状。

输入和输出角的范围的非限制示例。

为了简单起见,在上述的附图中只考虑了在法向角的光线(平行于光组件的光轴)。然而,应该注意的是,照射源在X轴的大的角范围输出光(例如,在正三十度和负三十度之间提供总的60°的角范围)。这是我们如何获得这样的宽波瓣,例如,图2中。

菲涅耳调节器的非限制示例。

完全透明的(没有颜色)的调节器的结构的实例在http://www.ntkj.co.jp/product_prism_en.html中被示出,这样的菲涅耳棱镜调节器(当然没有颜色)的制造商的实际产品目录。各个模型在每个微小的棱镜的几何形状上不同。

我们将棱镜顶部的角表示为顶角。上述制造商提供从40°到160°的一些选择。

现在,一些具体的示例使用可用的模型,全部假设在输入光中传播的60°(因为是在我们的系统中的使用光纤的真实情况)和关于调节器的塑料 材料的约1.5的折射率:

如在图4B中所描绘的第一个应用(分为在中间有间隙的两个分离的波瓣),我们计算90°的顶角将得到在中间14°的间隙。75°的顶角将得到33°的间隙。

如在图5B和图6B中所描绘的第二个应用(分为三个波瓣),顶角应该与上述相同,加上棱镜之间的水平部分,如在图5A和图6A中所描绘的。

对于图7B中所描绘的第三个应用(分为带有重叠部分的两个波瓣),我们计算130°的顶角将得到在中间24°的重叠部分。140°的顶角将得到32°的重叠部分。

限制角范围

在第四个应用中,我们提出使用将波瓣限制为窄光斑(图8A和图8B)的调节器。在这种情况下,需要不同种类的调节器,其限制光线而不是折射它们。这样的调节器称为微型格栅。它是具有将经过的光限制到沿着一个轴的某些角的特定结构的薄膜。它经常被用于隐私应用,诸如ATM监视器屏幕。

这样的3M产品的实例可以在这里找到:http://products3.3m.com/catal og/us/en001/electronics_mfg/vikuiti/node_RHGFSQGLQJbe/root_GST1T4S9 TCgv/vroot_S6Q2FD9X0Jge/gvel_ZF5G3RNK7Bgl/theme_us_vikuiti_3_0/co mmand_AbcPageHandler/output_html

此外,本领域的技术人员将意识到以上所描述的操作的功能之间的界限仅仅是说明性的。多个操作的功能可以组合成单个操作,和/或单个操作的功能可以分配在附加的操作中。此外,可选的实施例可以包括特定操作的多个实例,并且操作的顺序可以在各个其它的实施例中变化。

因此,应该理解的是本文所描绘的架构仅仅是示例性的,并且事实上,达到相同功能的许多其他架构也可以被实现。在理论上,但仍有明确的意义是,达到相同功能的组件的任何布置是有效地“相关”,使得达到期望的功能。因此,本文中达到特定功能所组合的任何两个组件可以视为彼此“相关”,使得达到期望的功能,而不考虑结构或中间组件。同样地,任何两个 如此相关的组件也可以被视为彼此“可操作地连接”或“可操作地耦合”以达到期望的功能。

然而,其它的修改、变型和改变也是可能的。因此,说明书和附图被视为是说明性的,而不是限制性意义上的理解。

词语“包括(comprising)”不是排除其它元素或接着在权利要求中的那些步骤的存在。应该理解的是,这样使用的术语在适合的环境中是可交换的,使得本文所描述本公开的实施例,例如,除了那些示出的方向或本文所描述的其他方向,能够在其他方向上进行操作。对术语“包括(comprising)”、“包括(comprises)”的任何引用也应该被解读为对术语“包括(consisting)”(排除其他元素的存在)和/或对术语“大体上包括(essentially consisting)”(排除其他材料或重要元素的存在)的引用。

此外,本文所使用的术语“一个(a)”或“一个(an)"被定义为一个或多于一个。还有,权利要求中的介绍性短语的使用,诸如“至少一个(at least one)”和“一个或多个(one or more)”不应该被解释为意味着通过不定冠词“一个(a)”或“一个(an)”介绍的其他要求保护的元素限定了将包含这样介绍的要求保护的元素的任何特定的权利要求为仅包一个这样元素的实例,甚至当相同的权利要求包括介绍性短语“一个或多个(one or more)”或“至少一个(at least one)”以及不定冠词诸如“一个(a)”或“一个(an)”。同样也适用于定冠词的使用。除非另有说明之外,术语诸如“第一(first)”和“第二(second)”被使用是为了任意地在这样的术语描述的元素之间进行区分。

因此,这样的术语并不旨在表明时间或这样的元素的其它优先顺序。在相互不同的权利要求中引用某些措施的纯粹事实并不指示这些措施的组合不能被有利地使用。

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