技术总结
公开了使用多角度X射线反射散射测量(XRS)用于测量周期结构的方法和系统。例如，通过X射线反射散射测量以测量样本的方法包括，使入射X射线束撞击具有周期结构的样本以生成散射X射线束，入射X射线束同时提供多个入射角和多个方位角。该方法还包括收集散射X射线束中的至少部分。
技术研发人员：希瑟·A·波伊斯;戴维·A·雷德;布鲁诺·W·许勒尔;罗德尼·斯梅德特;杰弗里·T·范东
受保护的技术使用者：瑞沃拉公司
文档号码：201580015724
技术研发日：2015.01.16
技术公布日：2016.11.23