气体传感器的制作方法

文档序号:11160397阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传感器(1),具有极限电流式的气体传感器元件(10),该极限电流式的气体传感器元件(10)具备:

有底筒状的杯型的固体电解质体(11);

基准电极(12),形成在该固体电解质体(11)的内侧面(11a);

测定电极(13),形成在上述固体电解质体(11)的外侧面(11b);以及

加热器(20),以使其顶端(22a)与上述固体电解质体(11)的内侧面(11a)相接的方式配置在上述固体电解质体(11)的内侧,并且具有对上述固体电解质体(11)进行加热的发热部(23),

上述极限电流式的气体传感器元件(10)构成为:通过在上述基准电极(12)与上述测定电极(13)之间施加规定的电压,输出依赖于被测定气体中的特定气体浓度的极限电流值,

上述气体传感器(1)的特征在于,

上述测定电极(13)的轴向(X)的长度为0.5mm~3.0mm,并且上述测定电极(13)限制于在轴向(X)上距上述固体电解质体(11)的顶端(11c)为0.5mm~7.5mm的范围。

2.如权利要求1记载的气体传感器(1),其特征在于,

在上述固体电解质体(11)的外侧,设有至少将上述测定电极(13)覆盖的由多孔质体构成的扩散电阻层(30)。

3.如权利要求2记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)在上述测定电极(13)上的厚度(M1)为400μm~700μm。

4.如权利要求2记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)在上述测定电极(13)上的厚度(M1)为450μm~600μm。

5.如权利要求2~4中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)的气孔率是2.0%~8.0%。

6.如权利要求2~4中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)的气孔率是4.5%~5.5%。

7.如权利要求2~6中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)跨上述测定电极(13)的外侧面和上述固体电解质体(11)的外侧面(11b)而形成,并且,在将上述扩散电阻层(30)在上述测定电极(13)上的厚度设为M1、将上述扩散电阻层(30)在上述固体电解质体(11)的外侧面(11b)上的厚度设为M2时,M2/M1的值为1.35以下。

8.如权利要求2~6中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述扩散电阻层(30)跨上述测定电极(13)的外侧面和上述固体电解质体(11)的外侧面(11b)而形成,并且,在将上述扩散电阻层(30)在上述测定电极(13)上的厚度设为M1、将上述扩散电阻层(30)在上述固体电解质体(11)的外侧面(11b)上的厚度设为M2时,M2/M1的值为1.25以下。

9.如权利要求2~8中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

在上述扩散电阻层(30)的外侧面(30a),形成有气孔率比上述扩散电阻层(30)高的多孔质的保护层(40)。

10.如权利要求9记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述保护层(40)的至少一部分包含铂。

11.如权利要求1~10中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述测定电极(13)限制在上述固体电解质体(11)的外侧面(11b)中的与上述发热部(23)对置的区域内。

12.如权利要求1~11中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述加热器(20)中的与上述固体电解质体(11)的内侧面(11a)接触的顶端(22a)位于在轴向(X)上距上述固体电解质体(11)的顶端(11c)为1.5mm~2.0mm的范围。

13.如权利要求1~12中的任一项记载的气体传感器(1),其特征在于,

上述发热部(23)的长度(L1)在轴向(X)上为3.0mm~7.0mm,并且,上述发热部(23)限制于在轴向(X)上距上述加热器(20)的顶端(22a)为0.25mm~9.0mm的范围内。

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