气体传感器的制作方法

技术总结
本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

技术研发人员：A.德赫;J.胡贝尔;F.约斯特;S.科尔布;H.托伊斯;W.魏德迈尔;J.韦伦施泰因
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司;弗劳恩霍弗实用研究促进协会
文档号码：201610174975
技术研发日：2016.03.25
技术公布日：2016.11.23