基于MEMS技术的无线无源流量传感器的制作方法

文档序号:11944690阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于MEMS技术的无线无源流量传感器,其特征在于,包括一个呈空心筒状结构的无线无源流量传感器敏感单元;所述的无线无源流量传感器敏感单元包括呈空心筒状结构的基于MEMS技术的敏感单元(9)、嵌套固定在基于MEMS技术的敏感单元(9)的外部的呈空心筒状结构的敏感单元基底(5)以及构成无线无源流量传感器敏感单元的两个端口的一对环状的电极(1);所述电极(1)与相邻的基于MEMS技术的敏感单元(9)及敏感单元基底(5)的两端之间密封连接;电极(1)的内壁周圈固定有封装电极硅胶(8),电极(1)与基于MEMS技术的敏感单元(9)电连接,其中一个电极(1)作为高电压端,另一个电极作为低电压端;还包括电源管理模块(4)和无线信号传输模块(3);所述高电压端与电源管理模块(4)的输入端正极相连接,所述低电压端与电源管理模块(4)的输入端负极相连接;电源管理模块(4)的输出端正极与无线信号传输模块(3)的电源正极相连接,电源管理模块(4)的输出端负极与无线信号传输模块(3)的电源负极相连接;高电压端还与无线信号传输模块(3)的信号输入端相连接;基于MEMS技术的敏感单元(9)以及固定有封装电极硅胶(8)的电极(1)的内部空间构成流体通道(7)。

2.如权利要求1所述的基于MEMS技术的无线无源流量传感器,其特征在于,所述无线信号传输模块(3)和电源管理模块(4)集成在同一块电路板上并制成筒状结构密封嵌套装配于敏感单元基底(5)的外壁上;筒状结构电路板的两端均与电极(1)相连接;还包括一个空心筒状的外壳基座(2);所述装配有筒状结构电路板的无线无源流量传感器敏感单元嵌套固定于外壳基座(2)内部;筒状结构电路板一半为无线信号传输模块(3),另一半为电源管理模块(4);外壳基座(2)的两端口均固定有一个法兰(6);法兰(6)中心孔内径与流体通道(7)内径相同且法兰(6)中心孔内径与流体通道(7)的中心轴线共线;法兰(6)朝向电极(1)一侧的端面与电极(1)外侧边密封连接,法兰(6)中心孔内壁与封装电极硅胶(8)之间密封连接;无线信号传输模块(3)的工作天线嵌于外壳基座(2)中。

3.如权利要求1或2所述的基于MEMS技术的无线无源流量传感器,其特征在于,基于MEMS技术的敏感单元(9)采用疏水性SnO2纳米材料制成。

4.如权利要求2所述的基于MEMS技术的无线无源流量传感器,其特征在于,电极(1)宽度均为0.5cm,敏感单元基底(5)采用玻璃或者石英制成,长度为9cm,内径为1.5cm。

5.一种基于MEMS技术的无线无源流量传感器,其特征在于,包括多个呈空心筒状结构且顺次连接的无线无源流量传感器敏感单元;每个无线无源流量传感器敏感单元包括呈空心筒状结构的基于MEMS技术的敏感单元(9)、嵌套固定在基于MEMS技术的敏感单元(9)的外部的呈空心筒状结构的敏感单元基底(5)以及构成无线无源流量传感器敏感单元的两个端口的一对环状的电极(1);电极(1)的内壁周圈固定有封装电极硅胶(8),电极(1)与基于MEMS技术的敏感单元(9)电连接;基于MEMS技术的敏感单元(9)以及固定有封装电极硅胶(8)的电极(1)的内部空间构成流体通道(7);相邻无线无源流量传感器敏感单元的电极之间电连接;顺次连接后的多个无线无源流量传感器敏感单元的首尾两个电极(1)中,一个作为高电压端,另一个电极作为低电压端;还包括电源管理模块(4)和无线信号传输模块(3);所述高电压端与电源管理模块(4)的输入端正极相连接,所述低电压端与电源管理模块(4)的输入端负极相连接;电源管理模块(4)的输出端正极与无线信号传输模块(3)的电源正极相连接,电源管理模块(4)的输出端负极与无线信号传输模块(3)的电源负极相连接;高电压端还与无线信号传输模块(3)的信号输入端相连接;多个流体通道(7)相互贯通。

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