技术总结
本发明涉及流量传感器以及MEMS技术领域，具体为一种基于MEMS技术的无线无源流量传感器。一种基于MEMS技术的无线无源流量传感器，包括一个呈空心筒状结构的无线无源流量传感器敏感单元；所述的无线无源流量传感器敏感单元包括呈空心筒状结构的基于MEMS技术的敏感单元、嵌套固定在基于MEMS技术的敏感单元的外部的呈空心筒状结构的敏感单元基底以及构成无线无源流量传感器敏感单元的两个端口的一对环状的电极。本发明作为一种基于MEMS技术的新型流量传感器，由于其结构简单，受管道口径影响较小，可以实现自供能，所以可被应用于各种环境的管道流量监测系统，尤其是在野外管道监测，微流系统流量监测等传统流量传感器受限的极限环境系统中。
技术研发人员：冀健龙;霍远樑;李朋伟;胡杰;桑胜波;张文栋
受保护的技术使用者：太原理工大学
文档号码：201610500974
技术研发日：2016.06.30
技术公布日：2016.12.07