一种带应力集中的压力传感器的制作方法

文档序号:11944947阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,包括:

外壳(1),所述外壳(1)两端封堵的筒状结构,所述外壳(1)上开设有安装孔(11)和抽气孔(12);

金属膜(2),所述金属膜(2)设置在所述安装孔(11)内且其周侧边沿与所述安装孔(11)的内壁固定相连;所述金属膜(2)上开设有应力集中槽(21);

FBG光纤(3),所述FBG光纤(3)固定在所述金属膜(2)的外侧。

2.根据权利要求1所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述金属膜(2)的周侧边沿与所述安装孔(11)的内壁焊接固定或粘合固定。

3.根据权利要求1或2所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述金属膜(2)的内侧和外侧均开设有至少一个应力集中槽(21)。

4.根据权利要求3所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述FBG光纤(3)位于开设在金属膜(2)外侧的应力集中槽(21)的上方。

5.根据权利要求4所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述金属膜(2)的外表面上开设有光纤安装通槽,所述光纤安装通槽的两端为敞口结构,所述应力集中槽(21)开设在所述光纤安装通槽的槽底上,所述FBG光纤(3)穿过所述光纤安装通槽且固定在所述槽底上。

6.根据权利要求5所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述FBG光纤(3)通过胶黏剂粘贴在所述光纤安装通槽的槽底上。

7.根据权利要求6所述一种带应力集中的压力传感器,其特征在于,所述胶黏剂为环氧树脂。

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