带温度补偿的压力传感器校准方法
【专利摘要】本发明公开了一种扩散硅压阻式传感器的校准方法，该方法通过在测量常温和其他几个温度点下压力传感器的零度漂移值和灵敏度漂移值，并将常温下不同压力及其对应的AD值存储于该压力传感器的压力参数表中，然后通过曲线拟合法得到压力传感器在其工作的全温度范围内的零度漂移值和灵敏度漂移值，通过计算，可以将任一温度下传感器压力AD值转换为常温下的AD值，最后对照上述参数表，进而得到补偿后的压力测量值；该方法直接利用了重要参数——压力传感器的零度漂移和灵敏度漂移，校正后的压力传感器精度高，操作简单。
【专利说明】带温度补偿的压力传感器校准方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及压力传感器的校准方法，具体指一种带有温度补偿的压力传感器校准方法。
【背景技术】
[0002]扩散硅压阻式传感器已广泛应用于压力计、流量计等压力检测仪器仪表领域。扩散硅压力传感器的特性会随着温度的变化而变化，影响传感器感知压力的精准度，所以实际使用中需要通过对压力传感器进行校准，从而提高其精准度。影响扩散硅压阻式传感器特性的关键因素是零点漂移和灵敏度漂移。但是，现有的带温度补偿的压力传感器的校准方法还没有直接利用零点漂移和灵敏度漂移来对压力传感器进行温度补偿。直接利用特定温度点的零点漂移值和灵敏度漂移值对压力传感器进行温度补偿，是一种新的温度补偿方法，其方法简单，温度范围广，压力检测精度较高。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足，提供一种利用传感器的零点漂移和灵敏度漂移，通过温度补偿的方式校准传感器的方法。
[0004]为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案:
[0005]一种带温度补偿的压力传感器校准方法，通过利用所述传感器的零点漂移值和灵敏度漂移值进行传感器校准，其操作包括以下步骤:
[0006]步骤1:在常温Ttl下，由压力源向压力传感器提供一组压力值Pc^P1J2.....Pm，并
记录对应压力下压力传感器的AD值，AD0, AD1, AD2,...ADm，对应关系如下表一:
[0007]表-1
[0008]
【权利要求】
1.一种带温度补偿的压力传感器校准方法，包括以下步骤: 步骤1:在常温Ttl下，由压力源向压力传感器提供一组压力值PrPpP2.....Pm，并记录对应压力下压力传感器的AD值，AD。、AD1JDy..ADm，对应关系如下表一: 表一
2.根据权利要求1所述的带温度补偿的压力传感器校准方法，其特征在于，压力测试点从70K~800K压力范围内选取8个压力点。
3.根据权利要求1所述的带温度补偿的压力传感器校准方法，其特征在于，所述的全温度范围为压力传感器能够工作的温度范围，该温度范围为_30°C~70°C。
4.根据权利要求1或2所述的带温度补偿的压力传感器校准方法，其特征在于，还包括一个在不同温度下测试压力传感器压力值的验证步骤。
【文档编号】G01L27/00GK103837300SQ201410102679
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2014年3月19日 优先权日:2014年3月19日
【发明者】刘勋 申请人:成都千嘉科技有限公司