技术总结
本发明提出了一种半导体气体传感器的气‑液界面加工方法包括以下步骤：配制前驱液；利用紫外光照射前驱溶液在溶液表面制备薄膜；用干净的玻璃片捞起表层的薄膜并转移到去离子水表面对薄膜进行洗涤；用陶瓷管将去离子水清洗过的薄膜捞起；将附有薄膜的陶瓷管焊接在气体传感器专用基座上，陶瓷管内通有加热电阻丝；将基座插在气敏测试系统上，对电阻丝施加电压，获得成分稳定的薄膜后即得到气体传感器。本发明实现了在传感器衬底上附着上气敏材料，改善了目前气体传感器加工过程中多步操作、高温加工、稳定性、重复加工及批量加工方面的缺陷，具有原料易得、过程简单、易于操作和批量生产的特点，具有良好气体响应和恢复性能以及优异的稳定性。
技术研发人员：孙丰强;陈颖
受保护的技术使用者：华南师范大学
技术研发日：2016.08.15
技术公布日：2019.08.20