技术总结
本发明涉及一种基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法，包括：光源以及沿光源依次设置的光束扩束系统、线偏振起偏器、被测光学元件、成像系统、CCD探测器、处理计算机，被测光学元件和CCD探测器分别位于成像系统的物平面和像平面上，CCD探测器输出端与处理计算机输入端相连。本发明提出的基于偏振成像的光学元件损伤检测装置及方法，采用线偏振光照明光学元件，由偏振CCD探测器接收光学元件损伤点的散射光S与直接透射光T，获取相互正交的线偏振图像，并利用正交偏振图像的差异来滤除直接透射光，实现了对光学元件损伤点图像的增强，解决了光学元件成像检测方法存在图像分辨率与边缘定位精度、大尺寸损伤信息等难以兼顾的测量难题。
技术研发人员：赵发财;孙权社;王少水;王国权;郑祥亮;韩忠
受保护的技术使用者：中国电子科技集团公司第四十一研究所
文档号码：201610768406
技术研发日：2016.08.22
技术公布日：2017.02.22