1.一种硬度测试机,用于通过采用压头来加载预定测试力而在样品的表面上形成压痕,并且通过使用所述压痕来测量样品的硬度,所述硬度测试机包括:
照明器,其配置为在样品的表面上发射光,并且形成具有斑点的照明图案;以及
控制器,其配置为在当由所述照明器形成在样品的表面上的照明图案的斑点的位置被用作测试点时所述压头的顶点的垂线重叠所述测试点的状态下,通过使所述压头与样品接触来形成所述压痕。
2.根据权利要求1所述的硬度测试机,还包括:
样品放置平台,样品要被放置在其上;以及
位移部,其配置为在水平方向上位移所述样品放置平台,其中:
所述照明器包括平行于所述压头设置的单个光源,所述照明器还配置为大致平行于竖直方向发射光,并且
所述控制器还配置为通过使用所述位移部以在水平方向上位移所述样品放置平台,以使所述压头的顶点的垂线定位在样品的表面上的测试点。
3.根据权利要求2所述的硬度测试机,还包括:
存储器,其配置为储存所述压头的位置和形成有所述照明图案的斑点的位置的相对位置坐标,其中:
所述位移部包括配置为在水平面内沿两个方向往复位移所述样品放置平台的XY台,并且
所述控制器配置为基于储存在所述存储器中的相对位置坐标通过使用所述位移部来位移所述样品放置平台。
4.根据权利要求1所述的硬度测试机,还包括:
样品放置平台,样品要被放置在其上;以及
位移部,其配置为在水平方向上位移所述压头,其中:
所述照明器包括平行于所述压头设置的单个光源,所述照明器还配置为大致平行于竖直方向发射光,并且
所述控制器还配置为通过使用所述位移部以在水平方向上位移所述压头,以使所述压头的顶点的垂线定位在样品的表面上的测试点。
5.根据权利要求1所述的硬度测试机,其中:
所述照明器包括配置为在相互接近的方向上发射光的两个光源,
所述压头的顶点的垂线配置为定位在从所述两个光源发射的光相交的斑点,并且
所述控制器还配置为控制所述样品的高度位置,以允许从所述两个光源发射的光的交点和样品的表面重叠。
6.根据权利要求5所述的硬度测试机,其中,从所述两个光源发射的光是带状的。
7.根据权利要求1所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。
8.根据权利要求2所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。
9.根据权利要求3所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。
10.根据权利要求4所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。
11.根据权利要求5所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。
12.根据权利要求6所述的硬度测试机,其中,所述照明器包括配置为发射激光的光源。