一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法与流程

文档序号:16408410发布日期:2018-12-25 20:36阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种两束干涉仪出射平面波光束间角度偏差标定方法,包括以下步骤:(1)利用第一干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合第一平面;(2)调整平面反射镜位置,利用第二干涉仪对平面反射镜进行干涉测量,测量过程中通过调整平面反射镜的角度将干涉条纹调至零条纹;通过激光跟踪仪对平面反射镜面形进行测量,利用测量点拟合第二平面;(3)计算第一平面与第二平面出射平面波间的角度偏差。本发明实现对光学系统装调中涉及到的平面波角度标定,具有标定精度高、标定步骤简单的优点。

技术研发人员:闫力松;王辉华;李强;陈晓晨;史要涛;姜永亮;许伟才;王玉雷;胡海力
受保护的技术使用者:湖北航天技术研究院总体设计所
技术研发日:2016.09.13
技术公布日:2018.12.25

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