技术总结
本申请公开了一种氦氖激光器纳米测尺系统，包括可动测杆、含猫眼组折叠腔的氦氖激光器以及数据采集处理单元，氦氖激光器包括猫眼组反射镜、猫眼组腔镜、应力双折射元件、激光增益管、增透窗片和凹面输出腔镜，数据采集处理单元包括偏振分光镜、两个光电探测器、光电转换及放大电路、信号处理电路和显示装置。本申请猫眼组腔镜与凹面输出腔镜为氦氖激光器的谐振腔的两腔镜，这两个腔镜静止固定，不受可动测杆的影响，系统稳定性高；谐振腔采用猫眼组反射镜和猫眼组腔镜构成的折叠腔，猫眼组反射镜每移动λ，激光谐振腔的腔长改变2Nλ，系统的分辨率提高相应的2N倍(N为猫眼组反射镜所包含的猫眼逆向器的个数)。
技术研发人员：邓勇;陈康
受保护的技术使用者：南通大学
文档号码：201610896610
技术研发日：2016.10.13
技术公布日：2017.03.15