1.一种激光用功率传感器,其特征在于,具备:
受光构件,其用于接收激光;以及
光强度衰减构件,其用于使被所述受光构件接收的激光的强度衰减,
其中,所述光强度衰减构件由激光的透过率为零的材料形成,并且具有多个开口部,所述多个开口部的开口面积的总和为所述激光的照射面积的50%以上,
所述受光构件构成为接收照射到所述光强度衰减构件的激光中的、通过了所述光强度衰减构件的所述多个开口部的激光。
2.根据权利要求1所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述多个开口部的各个开口部彼此为同一形状且同一尺寸,并在所述激光的照射范围内配置成等间隔。
3.根据权利要求1所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述多个开口部的各个开口部彼此为同一形状且同一尺寸,并在所述激光的照射范围内配置成放射状。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述多个开口部的各个开口部的形状为长方形或正方形。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
相邻的所述多个开口部之间的最短距离为所述光强度衰减构件的厚度的一半。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述光强度衰减构件的材料为激光的吸收率比激光的反射率大的材料。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述光强度衰减构件的材料为施加了镀黑镍或黑铬处理的无氧铜。
8.根据权利要求1~7中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述光强度衰减构件构成为相对于所述受光构件或在所述受光构件与所述光强度衰减构件之间配置的间隔件能够装卸。
9.根据权利要求1~8中的任一项所述的激光用功率传感器,其特征在于,
具有沿着所述受光构件或所述光强度衰减构件的外缘配置的冷却部。
10.根据权利要求9所述的激光用功率传感器,其特征在于,
所述冷却部构成为同时冷却所述受光构件和所述光强度衰减构件这两方。