技术总结
一种低成本且针对功率传感器的受光强度具有充分的测定精度的激光用功率传感器。功率传感器具有接收监视光的传感器基板和使被传感器基板接收到的监视光的强度衰减的滤光器。滤光器由激光的透过率为零的材料形成，在照射监视光的照射范围内具有多个贯通开口部。多个开口部的开口面积的总和为滤光器上的监视光的照射范围的面积的50％以上，照射到滤光器的激光中的、通过了开口部的激光被传感器基板直接接收。
技术研发人员：前田道德
受保护的技术使用者：发那科株式会社
文档号码：201610993231
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.05.24