一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器的制作方法

文档序号:11102930阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于设有光子晶体T型波导、4个L3型微腔和4个线型波导;

所述光子晶体T型波导的输入端用于射入光源,光子晶体T型波导的输出端分别与4个L3型微腔耦合,4个L3型微腔具有不同的谐振频率,并分别产生4个不同的谐振波峰,4个L3型微腔的不同谐振频率的光耦合进入对应的4个线型波导中,4个线型波导通过探测器接收到4个不同的谐振波峰的透射谱。

2.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述光子晶体T型波导采用四方晶格介质柱光子晶体T型波导。

3.如权利要求1或2所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述光子晶体中的背景介质为空气。

4.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述介质柱的材料采用硅。

5.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述光子晶体中,晶格常数a为400nm,介质柱的半径r=0.3a。

6.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述介质柱的相对介电常数为11.9。

7.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于背景介质空气的折射率为1.00。

8.如权利要求1所述一种介质柱型光子晶体波导与微腔耦合的温度传感器,其特征在于所述4个L3型微腔是改变临近L3型微腔的两个介质柱的半径而形成的,半径分别为r’=0.3a,0.26a,0.18a,0.16a。

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