一种带自标定振动台的电容式加速度传感器的制作方法

文档序号:11516588阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种带自标定振动台的电容式加速度传感器。本发明把校准用振动台同传感器本身设计为一体,当传感器在现场工作前,可以实时的通过振动台对其敏感方向校准,以确认其敏感方向的工作性能,同时还设计了交叉轴驱动结构,实时测试得到其交叉轴特性,通过设计外围处理电路便可对传感器输出信号进行准确补偿,从而克服传感器在出厂后,其性能变化后不能实时获知的弊端。同时本发明集成了敏感振动台性能自测传感器,可以实现对振动台性能的准确测试,从而节省了额外安装测试传感器的成本,同时提高了振动台测试的精度。

技术研发人员:王耀田;董林玺;王高峰;王路文;汶飞;赵文生
受保护的技术使用者:杭州电子科技大学
技术研发日:2016.12.09
技术公布日:2017.08.18
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