1.一种键合线寄生参数测试提取方法,其特征在于:包括如下步骤:
第一、制作PCB板一和PCB板二;所述PCB板一上设置有50Ω传输线一;所述PCB板二上设置有50Ω传输线二和地线,在50Ω传输线二的右端附近放置被测器件;采用键合工艺用键合线将被测器件的射频输出端与50Ω传输线二的右端连接,分别用键合线二、三将射频输出端两旁的接地端与PCB板二的地线连接;
第二、校准微波探针测试系统:利用校准基片和矢量网络分析仪对微波探针测试台进行校准;
第三、测试S参数:
将PCB板二以抽真空方式吸附在微波探针台上,用微波探针测试台测试已连接键合线的射频输出端的S参数;
分别测试50Ω传输线一的左、右两端的S参数;
第四、将测试点转换为面单元结构:
在50Ω传输线二的左端取端口测试点三(C),在50Ω传输线一的左端取端口测试点一(A),将端口测试点一(A)和端口测试点三(C)设置为同一垂直平面上的参考点,其所在的平面为测试参考平面;
在50Ω传输线二的右端取端口测试点四(E),该端口测试点四(E)为被测器件的射频输出端与50Ω传输线二的键合点,在50Ω传输线一的右端取端口测试点二(B),端口测试点二(B)和端口测试点四(E)为同一垂直平面上的点,其所在的平面为测试平面一;
再在被测器件上取测试点五(D),该测试点五(D)为被测器件的射频输出端与50Ω传输线二的键合点,测试点五(D)所在的平面为测试平面二,测试平面二与测试平面一平行;
第五、得到键合线的S参数
其中,S11Δ为端口测试点四的反射系数,S22Δ为测试点五的反射系数,S12Δ为测试点五到端口测试点四的反向传输系数,S21Δ为端口测试点四到测试点五的正向传输系数;S11A为端口测试点一的反射系数,S22A为端口测试点二的反射系数,S12A为端口测试点二到端口测试点一的反向传输系数,S21A为端口测试点一到端口测试点二的正向传输系数;S11B为端口测试点三的反射系数,S22B为测试点五的反射系数,S12B为测试点五到端口测试点三的反向传输系数,S21B为端口测试点三到测试点五的正向传输系数;
第六、测试验证
将PCB板二连接到矢量网络分析仪进行测试,在整理测试数据时:
如果PCB板二上的被测器件为接收机,将端口测试点四到测试点五的正向传输系数S21Δ代入到测试数据中,对PCB板二的正向传输系数进行计算补偿,得到PCB板二上被测器件的实际增益或衰减P;计算公式为:
P=PT21-(S21Δ/2)
其中,PT21为PCB板二用矢量网络分析仪测得的PCB板二的正向传输系数值,S21Δ为端口测试点四到测试点五的正向传输系数;
如果PCB板二上的被测器件为发射机,将测试点五到端口测试点四的反向传输系数S12Δ代入到测试数据中,对PCB板二的反向传输系数进行计算补偿,得到PCB板二上被测器件的实际增益或衰减P;计算公式如公式:
P=PT12-(S12Δ/2)
其中,PT12为PCB板二用矢量网络分析仪测得的PCB板二的反向传输系数值,S12Δ为测试点五到端口测试点四的反向传输系数。