技术特征：
技术总结
本发明涉及一种探针卡，包含一母板、一中介体、一设于母板的子板对应区上方且有电子元件的子板及一设有探针的探针头，母板上表面的电性接点区分出一第一测试区、位于子板对应区与第一测试区之间的一第二测试区及位于子板对应区内的一中介体连接区，电性接点包含分别位于所述三区的第一、二测试接点及中介体连接点，子板下表面设有中介体连接点，中介体连接母板及子板的中介体连接点，部分第一、二测试接点及部分探针与子板电性连接，各探针与第一或第二测试接点电性连接；由此，所述探针卡可符合高频测试需求，且可随不同测试需求更换子板，以节省成本。
技术研发人员：张嘉泰
受保护的技术使用者：旺矽科技股份有限公司
技术研发日：2016.12.20
技术公布日：2017.08.04