一种带探针电气特性检查装置的制作方法

文档序号:11855620阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种带探针电气特性检查装置,其特征在于:包括第一气动线性滑台、第二气动线性滑台、第三气动线性滑台、第四气动线性滑台、第一探针、第二探针、第一探针座、第二探针座、探针座安装板、第一工件台、第二工件台、第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块、第一支架、第二支架、安装板、底座,其中第一支架和第二支架分别固定在底座上,安装板固定在第一支架和第二支架上,第一气动线性滑台固定在安装板上,第一气动线性滑台上安装有第一滑块,第一滑块上安装有第二气动线性滑台,第二气动线性滑台上安装有第二滑块,第二滑块上安装有探针座安装板,探针座安装板上安装有第一探针座和第二探针座,第一探针座和第二探针座上分别安装有第一探针和第二探针,在底座的另一端设置有第三气动线性滑台和第四气动线性滑台,在第三气动线性滑台和第四气动线性滑台上分别设置有第三滑块和第四滑块,第三滑块和第四滑块上分别安装有第一工件台和第二工件台。

2.根据权利要求1所述的一种带探针电气特性检查装置,其特征在于:第一探针座和第二探针座采用树脂材料。

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