一种低温样品腔的制作方法

文档序号:11986400阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低温样品腔,其特征在于:所述低温样品腔包括:为样品提供所需温度的低温冷头、容置所述低温冷头和样品的真空罩、容纳所述样品且使所述样品与所述低温冷头连接或分离的样品杆、推动所述样品杆和所述样品与所述低温冷头弹性连接的弹性装置。

2.根据权利要求1所述的低温样品腔,其特征在于:所述真空罩侧边设置真空罩法兰,所述样品杆穿过所述真空罩法兰,且通过密封圈与所述真空罩法兰连接。

3.根据权利要求2所述的低温样品腔,其特征在于:所述弹性装置包括顶盖,以及容置于所述顶盖中的弹性元件。

4.根据权利要求3所述的低温样品腔,其特征在于:所述弹性元件为弹簧、或波纹管。

5.根据权利要求3所述的低温样品腔,其特征在于:所述低温样品腔还包括置于低温冷头与真空罩法兰之间的阀门。

6.根据权利要求5所述的低温样品腔,其特征在于:所述阀门为球阀或挡板阀。

7.根据权利要求6所述的低温样品腔,其特征在于:所述真空罩设置真空抽嘴。

8.根据权利要求7所述的低温样品腔,其特征在于:所述阀门将所述真空罩内部分为第一真空腔和第二真空腔,且第一真空腔中设置第一真空抽嘴,第二真空腔中设置第二真空抽嘴。

9.根据权利要求3所述的低温样品腔,其特征在于:所述顶盖与所述真空罩法兰连接。

10.根据权利要求9所述的低温样品腔,其特征在于:所述顶盖与所述真空罩法兰通过螺钉连接,或通过卡箍连接。

11.根据权利要求10所述的低温样品腔,其特征在于:所述样品杆为金属实心杆。

12.根据权利要求11所述的低温样品腔,其特征在于:所述第一真空腔和第二真空腔中的真空度介于0Pa至105Pa之间。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1